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    • 3. 发明专利
    • ビア充填基板並びにその製造方法及び前駆体
    • JP2017063109A
    • 2017-03-30
    • JP2015187367
    • 2015-09-24
    • 三ツ星ベルト株式会社
    • 豆崎 修林 耀広
    • H05K1/11H05K3/40
    • H05K1/11H05K3/40
    • 【課題】ボイドや隙間の発生を抑制できる気密性ビア充填基板を提供する。 【解決手段】孔部を有する絶縁性基板の孔部壁面に活性金属を含む金属膜を形成する金属膜形成工程、焼成前後の体積変化率が−10〜20%である導体ペーストを、金属膜を形成した孔部に充填する充填工程、導体ペーストが充填された絶縁性基板を焼成する焼成工程を経てビア充填基板を製造する。前記金属膜形成工程において、孔部壁面に、Ti、Zr、Nb、Ta、Cr、Mn及びAlからなる群より選択された少なくとも1種の活性金属又はこの活性金属を含む合金を含む活性金属層を形成してもよい。また、得られた活性金属層の上に、Mo、W、Ni、Pd及びPtからなる群より選択された少なくとも1種の金属又はこの金属を含む合金を含む非透過層をさらに形成してもよい。前記導体ペーストは、金属粒子及び有機ビヒクルを含み、前記金属粉末が、粒径1μm未満の金属小粒子と粒径1〜50μmの金属大粒子とを含み、かつ前記有機ビヒクルの割合が、ペースト全体に対して40体積%以下であってもよい。 【選択図】なし