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    • 3. 发明专利
    • ダイオード
    • 二极管
    • JP2017017309A
    • 2017-01-19
    • JP2016064131
    • 2016-03-28
    • ローム株式会社
    • 槇田 耕平小柴 照博
    • H01L21/329H01L29/866H01L29/861H01L29/868H01L29/47H01L29/872
    • 【課題】ツェナーダイオード領域を備えることで十分なロードダンプ耐量を持ちながら、従来に比べて、低い順方向電圧(低VF)および低い逆方向リーク電流(低IR)を実現することができるダイオードを提供すること。 【解決手段】1×10 16 cm −3 〜2.4×10 17 cm −3 の不純物濃度を有するエピタキシャル層4(n − 型層6)と、エピタキシャル層4に選択的に形成され、エピタキシャル層4との間にpn接合を形成するp + 型ツェナーダイオード領域14と、エピタキシャル層4上に配置され、エピタキシャル層4との間にショットキー接合を形成し、3ev〜6evの仕事関数を有するショットキーメタル12と、エピタキシャル層4のショットキー接合領域に選択的に形成された複数のp + 型領域34からなるJBS(Junction Barrier Schottky)構造33とを含む、ダイオード2を提供する。 【選択図】図2
    • A,而通过设置齐纳二极管区域保持足够的负载突降能力,与以往的相比,具有低正向电压(低VF)和低反向漏电流的二极管,可以实现(低IR) 提供。 和具有1×1016厘米-3〜2.4×外延层41017厘米-3(​​n型层6)的杂质浓度在外延层4被选择性地形成,PN外延层4之间 一个p +型齐纳二极管区域14以形成一个结,设置在所述外延层4上,以形成所述外延层4中,具有3EV〜6EV的功函数的肖特基金属12,外延层之间的肖特基结 4个枪变得形成的多个p +型区域34 JBS和(结势垒肖特基)结构33的选择性键结区域,提供了一个二极管2。 .The