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    • 1. 发明专利
    • 半導体装置の製造方法
    • 半导体器件制造方法
    • JP2015035551A
    • 2015-02-19
    • JP2013166757
    • 2013-08-09
    • ルネサスエレクトロニクス株式会社Renesas Electronics Corp
    • YAMADA YUSUKESAKATA KENJINISHIYAMA TOMOHIROSHIMIZU YUJIMOTOHASHI NORIKAZUKIDA TAKESHI
    • H01L21/60H01L23/12
    • H01L2224/73204
    • 【課題】FO−WLP技術を採用した半導体装置の製造において、製造歩留りの向上を図る。【解決手段】支持体の主面に形成された複数のCuピラーCPと、半導体チップの主面に形成された複数のチップ電極との接合を以下の工程により行う。支持体の主面上に封止樹脂膜を貼り付けた後、はんだSOLの溶融温度よりも低い第1温度で、CuピラーCP上のはんだSOLとチップ電極上のめっき膜PLFとを接触させる。続いてCuピラーCPとチップ電極PEとの間に第1荷重を加えて、第1温度ではんだSOLとめっき膜PLFとを面接触させた後、CuピラーCPとチップ電極との間に第1荷重よりも低い第2荷重を加え、支持体および半導体チップを保持する。続いてCuピラーCPとチップ電極との間に第2荷重を加えて、はんだSOLの溶融温度以上の第2温度ではんだSOLを溶融する。【選択図】図28
    • 要解决的问题:提高采用FO-WLP(扇出晶片级封装)技术的半导体器件的制造中的制造成品率。解决方案:在半导体器件制造方法中,形成在多个Cu柱 支撑介质的主表面和形成在半导体芯片的主表面上的多个芯片电极按以下步骤进行:将包封树脂膜附着在载体介质的主表面上,随后将焊料SOL 铜柱CP和电镀膜PLF在低于焊料SOL的熔融温度的第一温度下在芯片电极上; 随后,在Cu柱和芯片电极PE之间施加第一负载以在焊料SOL和镀膜PLF之间形成表面,随后将第一负载施加到Cu柱CP和芯片之间的第二负载 电极PE固定支撑介质和半导体芯片; 并且随后将第二负载施加到Cu柱CP和芯片电极PE之间,并且在焊料SOL的熔化温度下以第二温度熔化焊料SOL。
    • 2. 发明专利
    • Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device
    • 半导体器件及制造半导体器件的方法
    • JP2014096506A
    • 2014-05-22
    • JP2012247848
    • 2012-11-09
    • Renesas Electronics Corpルネサスエレクトロニクス株式会社
    • MORI KENTAROMOTOHASHI NORIKAZUNISHIYAMA TOMOHIROKIDA TAKESHIYAMAUCHI AYA
    • H01L23/12H01L23/32H05K3/46
    • H01L2224/16225H01L2924/15311
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To allow for wiring body check before mounting a semiconductor chip.SOLUTION: A first terminal TER1 is located on a first surface SFC1 of a wiring body ITP, and connected to a solder bump BMP. A second terminal TER2 is located on a second surface SFC2 of the wiring body ITP, and connected to the first terminal TER1 via a first connection path CNC1. The first connection path CNC1 is provided in the wiring body ITP. A third terminal TER3 is located on the first surface SFC1 of the wiring body ITP, and electrically connected to the second terminal TER2. In the embodiment shown in Fig., the third terminal TER3 is connected to the second terminal TER2 via a second connection path CNC2. The second connection path CNC2 is provided in the wiring body ITP. The third terminal TER3 is not connected to the solder bump BMP. The third terminal TER3 is covered by an underfill resin UFR.
    • 要解决的问题:在安装半导体芯片之前允许布线体检查。解决方案:第一端子TER1位于布线体ITP的第一表面SFC1上,并连接到焊料凸块BMP。 第二端子TER2位于布线体ITP的第二表面SFC2上,并经由第一连接路径CNC1与第一端子TER1连接。 第一连接路径CNC1设置在配线体ITP中。 第三端子TER3位于布线体ITP的第一面SFC1上,与第二端子TER2电连接。 在图中所示的实施例中,第三终端TER3经由第二连接路径CNC2连接到第二终端TER2。 第二连接路径CNC2设置在配线体ITP中。 第三端子TER3未连接到焊料凸块BMP。 第三终端TER3由底部填充树脂UFR覆盖。