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1. 发明专利

JP2018179971A 粒子測定装置および粒子測定方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018179971A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2018043634
申请日：2018-03-09
申请人：リオン株式会社 , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人：近藤郁 , 田渕拓哉 , 坂東和奈 , 加藤晴久 , 松浦有祐
IPC分类号： G01N21/05 , G01N15/02
摘要：【課題】粒径を精度良く測定する粒子測定装置および粒子測定方法を得る。【解決手段】フローセル1は、試料流体の流路1aを形成している。照射光学系3は、流路1aにおける試料流体に光源2からの光を照射する。撮像部4は、流路1a内の上述の光の光路上の検出領域における粒子からの散乱光を、流路1aの延長方向から撮像する。粒径特定部23は、撮像部4により所定のフレームレートで撮像された粒子の複数の静止画像に基づいてブラウン運動による粒子の2次元方向の移動量を特定し、2次元方向の移動量から粒子の粒径を特定する。【選択図】図1

2. 发明专利

JP6549747B2 粒子測定装置および粒子測定方法有权
公开(公告)号：JP6549747B2
公开(公告)日：2019-07-24
申请号：JP2018043634
申请日：2018-03-09
申请人：リオン株式会社 , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人：近藤郁 , 田渕拓哉 , 坂東和奈 , 加藤晴久 , 松浦有祐
IPC分类号： G01N21/05 , G01N15/02

3. 发明专利

JP2021105581A 粒子測定装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021105581A
公开(公告)日：2021-07-26
申请号：JP2019237757
申请日：2019-12-27
申请人：リオン株式会社
发明人：近藤郁 , 坂東和奈 , 田渕拓哉 , 近藤聡太
IPC分类号： G01N21/05 , G01N15/02
摘要：【課題】粒径分解能を向上させる技術の提供。【解決手段】先ず、エキスパンダ21が、光源10が出射した照射光L I をDOE22の要求を満たす形状に拡大し、平行光にしてDOE22に入射させる。次に、DOE22が、入射した照射光L I をその焦点位置における断面が細長い矩形状をなすフラットトップビームに整形する。DOE22における整形過程では高次回折光が生じるため、DOE22からは、整形された照射光L I が焦点に向かって出射するのに加え、高次回折光が放射状に発散する。DOE22と焦点との間に配置された3枚の異なるスリット板23〜25は、高次回折光を段階的に遮蔽しつつ整形された照射光L I を確実に通過させる。整形された照射光L I により形成される検出領域においては光の強度分布が略均一なため、粒子の拡散運動の追跡回数(フレーム画像の取得枚数)を粒子の通過位置に関わらず一定にすることができ、粒径分解能を向上できる。【選択図】図3

4. 发明专利

JP2020144088A 粒子計測方法及び検出液审中-公开
公开(公告)号：JP2020144088A
公开(公告)日：2020-09-10
申请号：JP2019043031
申请日：2019-03-08
申请人：キオクシア株式会社 , リオン株式会社
发明人：冨田寛 , 林秀和 , 塩原英志 , 近藤郁 , 田渕拓哉 , 坂東和奈 , 近藤聡太
IPC分类号： G01N15/14 , G01N15/02
摘要：【課題】粒子の検出感度の向上を図れる粒子計測方法を提供すること。【解決手段】実施形態の粒子計測方法では、サリチル酸メチルを含む検出液に光を照射する(ステップS2)。次に、上記検出液からの散乱光を光電変換により電気信号に変換する(ステップS3)。その後、上記電気信号に基づいて検出液中に含まれる粒子を計測する(ステップS4)。【選択図】図2

5. 发明专利

JP2021148483A 粒子測定装置及び粒子測定方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021148483A
公开(公告)日：2021-09-27
申请号：JP2020046243
申请日：2020-03-17
申请人：リオン株式会社
发明人：坂東和奈 , 近藤郁 , 田渕拓哉 , 近藤聡太
IPC分类号： G01N21/05 , G01N21/49 , G01N15/02
摘要：【課題】粒径を精度よく測定する技術の提供。【解決手段】粒子測定装置1においては、第1区間32における試料の流れに対向する位置に配置された集光光学系40に対し、試料に含まれる粒子が輸送される方向が特定されることを利用して、予め求めたデフォーカス位置に対する倍率の検量線からデフォーカスによる倍率変動に起因する粒子の移動量の誤差を補正する。検量線はY方向における距離の一次関数であると仮定することで、デフォーカスによる一定間隔における誤差を一定量として補正できる。具体的には、X方向及びZ方向の二次元の補正マップに、見かけ上の移動速度のX方向成分とZ方向成分を元にして求めた補正値が予め定義されており、観測された粒子の重心座標の位置に応じた補正値を適用して移動量が補正される。これにより、デフォーカスによる倍率の誤差が補正されるため、粒子の移動量をより正確に求めることができ、粒径の測定精度を向上できる。【選択図】図7

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