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    • 2. 发明专利
    • 露光方法および露光装置
    • 曝光方法和曝光装置
    • JP2015187907A
    • 2015-10-29
    • JP2015125205
    • 2015-06-23
    • パナソニックIPマネジメント株式会社
    • 大森 健志中村 健太朗井上 英明川西 努
    • G11B7/26G11B7/09G11B7/1263G11B7/1267G11B7/0045
    • 【課題】原盤の表面状態変化、或いは露光装置の光学系デバイス類の状態変化が発生した場合でも、その露光パワー及びフォーカス状態が変動しない、メンテナンス性に優れた光ディスク原盤の露光装置を提供する。 【解決手段】非点収差光学系223の4分割ディテクタ223c、即ち原盤121からの反射光でパワーコントロール及びフォーカス位置制御を実行する。またそのビームの偏光状態を一定に保つように光学系の所定の位置に偏光子228、232、233を設置することにより、高精度なパワーコントロールが可能になる。 【選択図】図8
    • 要解决的问题:即使当主盘的表面状态改变时或者当曝光设备的光学系统中的设备的状态变化时,提供具有能够稳定地保持曝光功率和聚焦状态的可维护性优异的光学母盘的曝光装置 变化。解决方案:功率控制和焦点位置控制通过使用像散光学系统223的4分辨检测器223c来实现:即通过使用来自主盘121的反射光。为了保持光束的恒定偏振状态 偏振器228,232和233设置在光学系统中的预定位置处。 有了这个,权力被精确控制。
    • 7. 发明专利
    • 三次元形状測定装置
    • 三维形状测量仪器
    • JP2015225011A
    • 2015-12-14
    • JP2014111032
    • 2014-05-29
    • パナソニックIPマネジメント株式会社
    • 荒木 貴久舟橋 隆憲川西 努竹内 博之
    • G01B5/20G01B5/012G01B21/20
    • G01B5/0011G01B11/005G01B11/007G01B5/0002
    • 【課題】熱膨張によるZ軸駆動軸(エアスライダ中空軸)の曲がりを抑制することができて、高精度な三次元形状測定が行える三次元形状測定装置を提供する。 【解決手段】エアスライダ外枠1と、上端のフォーカス光学系4と下端のプローブ部3とを結ぶ光路が形成される貫通穴6を有し、外枠内で軸方向移動可能なエアスライダ中空軸2と、フォーカス光学系とプローブ部と中空軸との合計の重心位置の高さから、中空軸の中心軸に対して対称に横方向の両側に突出した2つの支持アーム5と、各支持アームの中空軸近傍位置に、中空軸の中心軸に対して対称に配置され、外枠に対して中空軸を軸方向に駆動する駆動部7と、各支持アームにおいて、駆動部よりも中空軸から離れた位置でかつ中空軸の中心軸に対して対称に配置され、各支持アームを横方向に移動可能に支持する2つの支持部8とを備える。 【選択図】図3
    • 要解决的问题:提供一种能够抑制由于热膨胀引起的Z轴驱动轴(空气滑块空心轴)的弯曲并且以高精度测量三维形状的三维形状测量仪器。解决方案: 三维形状测量仪器包括:空气滑块外框架1; 具有通孔6的空气滑动器空心轴2,该通孔6在其上端连接有聚焦光学系统4的光路和位于其下端的探针部3,并且可在外框内轴向移动; 两个支撑臂5,它们相对于中空轴的中心轴对称地从整个聚焦光学系统,探针部分和中空轴的重心位置的高度突出; 驱动部件7,其相对于中空轴的中心轴对称地设置在相应支撑臂上的空心轴附近,并相对于外框架轴向地驱动中空轴; 以及两个支撑部件8,其布置在比驱动部件更远离空心轴的位置上,在相应的支撑臂上相对于空心轴的中心轴线对称并且支撑相应的支撑臂,以使它们可横向移动。