会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 2. 发明专利
    • セラミック溶射皮膜被覆部材及び半導体製造装置用部材
    • 陶瓷喷涂膜的成员和半导体制造设备的会员
    • JP2015193872A
    • 2015-11-05
    • JP2014071466
    • 2014-03-31
    • トーカロ株式会社
    • 横田 博紀稲葉 光晴福士 達也大井手 雄平
    • C23C4/10C23C4/18
    • C23C4/10C23C28/042
    • 【課題】耐腐食性、電気絶縁性及び耐久性に優れるセラミック溶射皮膜被覆部材及び半導体製造装置用部材を提供する。 【解決手段】基材2上のセラミック溶射皮膜3の表面に高エネルギービームを照射して緻密化層4を形成したセラミック溶射皮膜被覆部材1である。緻密化層4の下に、積層状態で互いに分散した複数の溶射材料からなるクラック抑制層を存在させる。緻密化層4を深部方向に超えて進展してきたクラック6が複数の溶射材料の界面に達したとき、この界面を境に接している溶射材料同士のずれが生じさせ、クラック6の力を開放させると共にその方向を転換させてクラック6の進展を抑制する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供涂覆有陶瓷喷涂膜的构件,具有优异的耐腐蚀性,优异的电绝缘性能和优异的耐久性,以及用于半导体制造装置的构件。解决方案:涂覆有 陶瓷喷涂膜包括通过在基板2上的陶瓷喷涂膜3的表面上施加高能束而形成的致密化层4.提供包括以层叠状态彼此分散的多个喷涂材料的裂纹抑制层 在致密化层4下方。当在深度方向上传播超过致密层4的裂纹6到达多个涂层材料的边界时,引起接触边界的喷涂材料之间的位移,这抑制了裂纹6的传播 释放裂纹6的力并改变裂纹的方向。