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1. 发明专利

JP6966698B2 撥水性保護膜形成用薬液有权
公开(公告)号：JP6966698B2
公开(公告)日：2021-11-17
申请号：JP2017245680
申请日：2017-12-22
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：奥村雄三 , 福井由季 , 深澤宏紀 , 公文創一
IPC分类号： C09K3/18 , H01L21/304

2. 发明专利

JP2017174870A ウェハの洗浄方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017174870A
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：JP2016056273
申请日：2016-03-18
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：奥村雄三 , 福井由季 , 高田朋宏 , 深澤宏紀 , 齋尾崇 , 公文創一
IPC分类号： H01L21/304
摘要：【課題】接液部材として塩化ビニル樹脂を含むウェハの洗浄装置を用いるウェハの洗浄において、塩化ビニル樹脂製の接液部材を劣化させ難く、安定した撥水性付与効果を発現することができるウェハの洗浄方法を提供する。【解決手段】下記一般式[1]で表されるシリル化剤を含む第1液と、酸を含む第2液と、三級アルコールを含む第3液とを混合して撥水性保護膜形成用薬液を調製する、調製工程、調製工程後に前記撥水性保護膜形成用薬液を前記凹凸パターンの少なくとも凹部に保持して、該凹部表面に撥水性保護膜を形成する、撥水性保護膜形成工程を有するウェハの洗浄方法。(R 1 ) a (H) 3−a Si−N(R 2 ) 2 [1] 【選択図】図3

3. 发明专利

JP6875630B2 ウェハの洗浄方法及び該洗浄方法に用いる薬液有权
公开(公告)号：JP6875630B2
公开(公告)日：2021-05-26
申请号：JP2016150067
申请日：2016-07-29
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：齋尾崇 , 奥村雄三 , 福井由季 , 深澤宏紀 , 高田朋宏 , 公文創一 , 阿部一之 , 渡辺翔太 , 井町昌義
IPC分类号： C09K3/18 , H01L21/304

4. 发明专利

JP2019123860A 撥水性保護膜形成用薬液、及びウェハの表面処理方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019123860A
公开(公告)日：2019-07-25
申请号：JP2018231703
申请日：2018-12-11
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：福井由季 , 照井貴陽 , 山田周平 , 奥村雄三 , 公文創一 , 塩田彩織 , 近藤克哉
IPC分类号： H01L21/304 , C07F7/08 , C07F7/10 , C09K3/18
摘要：【課題】撥水性付与効果を更に向上できる撥水性保護膜形成用薬液を提供すること。【解決手段】(I)下記一般式[1]で表されるアミノシラン化合物と (II)下記一般式[2]で表されるケイ素化合物と (III)非プロトン性溶剤とを有し、 (I)〜(III)の総量に対する(I)の含有量が0.02〜0.5質量%である、撥水性保護膜形成用薬液。 (R 1 ) a Si(H) b (NH 2 ) 4−a−b [1] (R 2 ) c Si(H) d X 4−c−d [2] 【選択図】図5

5. 发明专利

JP2017168710A ウェハの洗浄方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017168710A
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：JP2016053514
申请日：2016-03-17
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：奥村雄三 , 福井由季 , 高田朋宏 , 深澤宏紀 , 齋尾崇 , 公文創一
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/304
摘要：【課題】接液部材として塩化ビニル樹脂を含むウェハの洗浄装置を用いるウェハの洗浄において、長時間保管した撥水性保護膜形成用薬液を用いた場合であっても、上記塩化ビニル樹脂を劣化させることなく、ウェハ表面に安定した撥水性を付与することができるウェハの洗浄方法を提供する。【解決手段】シリル化剤を含む第1液と、三級アルコールを含む第2液とを混合して、撥水性保護膜形成用薬液を調製する調製工程、調製工程後に前記撥水性保護膜形成用薬液を凹凸パターンの少なくとも凹部に保持して、該凹部表面に撥水性保護膜を形成する撥水性保護膜形成工程、を有する。前記第1液中に含まれる非プロトン性溶媒及び前記第2液中の三級アルコールを含めた非水溶媒の総量に対する前記三級アルコールの量が80〜100質量%であり、前記第1液及び第2液の総量に対する前記シリル化剤の含有量が1〜20質量%とする。【選択図】図3

6. 发明专利

JP6703256B2 撥水性保護膜形成剤、撥水性保護膜形成用薬液、及びウェハの洗浄方法有权
公开(公告)号：JP6703256B2
公开(公告)日：2020-06-03
申请号：JP2016050763
申请日：2016-03-15
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：福井由季 , 齋尾崇 , 両川敦 , 成塚智 , 塩田彩織 , 渡辺翔太 , 佐々木真太朗 , 岩崎進
IPC分类号： H01L21/304

7. 发明专利

JP2018137426A 撥水性保護膜形成用薬液审中-公开
公开(公告)号：JP2018137426A
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：JP2017245680
申请日：2017-12-22
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：奥村雄三 , 福井由季 , 深澤宏紀 , 公文創一
IPC分类号： C09K3/18 , H01L21/304
摘要：【課題】接液部材として塩化ビニル樹脂を含むウェハの洗浄装置において、塩化ビニル樹脂の膨潤及び変色の抑制と、薬液中への固形物の析出を抑制できる撥水性保護膜形成用薬液を供給する。【解決手段】エーテル溶媒、及び炭化水素溶媒からなる群から選ばれる少なくとも1種の第1溶媒、グリコールエーテルからなる第2溶媒、下記一般式[1]で表されるシリル化剤及び下記一般式[2]及び又は下記一般式[3]で表される塩基を含む撥水性保護膜形成用薬液を、表面に微細な凹凸パターン2を有するウエハ1に供給し、凹部4の表面に保護膜を形成する。(R 1 ) a (H) b Si(OCOR 2 ) 4−a−b [1]、(R 3 ) c (H) d Si(X) 4−c−d [2]、〔(R 4 ) e (H) f Si〕 2 NH[3] 【選択図】図3

8. 发明专利

JP2017168554A 撥水性保護膜形成剤、撥水性保護膜形成用薬液、及びウェハの洗浄方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017168554A
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：JP2016050763
申请日：2016-03-15
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：福井由季 , 齋尾崇 , 両川敦 , 成塚智 , 塩田彩織 , 渡辺翔太 , 佐々木真太朗 , 岩崎進
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/304
摘要：【課題】シリコン元素を含むウェハの表面に撥水性保護膜を形成するための、新規の撥水性保護膜形成剤又は新規の撥水性保護膜形成用薬液、及び、該剤又は該薬液を用いるウェハの洗浄方法を提供すること。【解決手段】シリコン元素を含むウェハの表面に撥水性保護膜を形成するための撥水性保護膜形成剤であって、前記剤が、下記一般式[1]で表されるスルホンイミド誘導体、下記一般式[2]で表されるスルホンイミド誘導体、及び、下記一般式[3]で表されるスルホンメチド誘導体からなる群から選ばれる少なくとも1種のケイ素化合物である、撥水性保護膜形成剤。 ((R 1 −S(=O) 2 ) 2 N) a Si(H) b (R 2 ) 4−a−b [1] ((R 5 −S(=O) 2 ) 3 C) e Si(H) f (R 6 ) 4−e−f [3] 【選択図】図4

9. 发明专利

JP2016066785A ウェハの洗浄方法及び該洗浄方法に用いる薬液有权
标题翻译： WAFER CLEANING方法及其使用的化学溶液
公开(公告)号：JP2016066785A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2015169619
申请日：2015-08-28
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：齋尾崇 , 奥村雄三 , 福井由季 , 公文創一
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/02087 , C07C309/03 , C07F7/081 , H01L21/02057 , H01L21/0209 , H01L21/31138
摘要：【課題】接液部材として塩化ビニル樹脂を含むウェハの洗浄装置を用いるウェハの洗浄において、塩化ビニル樹脂を劣化させることなく、ウェハの凹凸パターン表面に撥水性保護膜を形成する、撥水性保護膜形成用薬液及び該薬液を用いるウェハの洗浄方法を提供する。【解決手段】下記一般式[1]で表されるモノアルコキシシラン、下記一般式[2]で表されるスルホン酸及び希釈溶媒を含み、希釈溶媒が、希釈溶媒の総量100質量%に対して80〜100質量%のアルコールを含む撥水性保護膜形成用薬液を凹凸パターンの少なくとも凹部に保持して、該凹部表面に撥水性保護膜を形成する。(R 1 ) a Si(H) 3−a (OR 2 )[1]、R 3 −S(=O) 2 OH[2] 【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于防水膜形成的化学溶液，其中可以在晶片的不均匀图案的表面上形成防水膜，而不会使用晶片在晶片清洗中降解氯乙烯树脂包括氯乙烯树脂作为接触液体的部件的清洁装置; 和使用该化学溶液的晶片清洗方法。解决方案：用于防水保护膜形成的化学溶液包括：由通式[1]表示的单烷氧基硅烷; 由通式[2]表示的磺酸; 和稀释溶剂。稀释溶剂包括80-100质量％的醇，总量为稀释溶剂的100％。用于防水保护膜形成的化学溶液至少保持在凹凸图案的凹部中，以在凹部的表面上形成防水保护膜。（R）Si（H）（OR）[1]，R-S（= O）OH [2]选择的图：图4

10. 发明专利

JP2021027304A 撥水性保護膜形成用薬液及びウェハの表面処理方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021027304A
公开(公告)日：2021-02-22
申请号：JP2019146936
申请日：2019-08-09
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：奥村雄三 , 近藤克哉 , 福井由季
IPC分类号： H01L21/304
摘要：【課題】新規組成の撥水性保護膜形成用薬液及び該薬液を用いる表面処理体の製造方法を提供する。【解決手段】シリコン元素を含むウェハの表面に撥水性保護膜を形成するための撥水性保護膜形成用薬液であって、所定の式で表されるグアニジン誘導体、所定の式で表されるアミジン誘導体からなる群から選ばれる少なくとも1種のケイ素化合物、所定の式で表される化合物、1H−テトラゾール、5−ベンジル−1H−テトラゾール、5−フェニル−1H−テトラゾール及びイソオキサゾールからなる群から選ばれる少なくとも1種の有機化合物及び有機溶媒を含む。【選択図】図4

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