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1. 发明专利

JP2014064027A Liquid injection head and liquid injection device, and actuator device 有权
标题翻译：液体注射头和液体注射装置和致动器装置
公开(公告)号：JP2014064027A
公开(公告)日：2014-04-10
申请号：JP2013241675
申请日：2013-11-22
申请人： Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
发明人： MIYAZAWA HIROSHI , ITO HIROSHI , MOROZUMI KOICHI , KATO JIRO
IPC分类号： H01L41/09 , B41J2/045 , B41J2/055 , H01L41/31 , H01L41/319
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid injection head and a liquid injection device, and an actuator device that can improve durability by making small a rate of variation in displacement quantity due to respective driving.SOLUTION: A liquid injection head includes: a flow passage formation substrate 10 where a pressure generation chamber 12 communicating a nozzle opening for injecting droplets is formed; and a piezoelectric element 300 including a first electrode 60, a piezoelectric layer 70 formed on the first electrode 60 and having a perovskite structure whose general formula is represented as ABO, and a second electrode 80 formed on the opposite side of the piezoelectric layer 70 from the first electrode 60. The piezoelectric layer 70 has a monoclinic system structure, and the angle between a direction of an electric field E generated between the first electrode 60 and second electrode 80 and a direction of polarization moment of the piezoelectric layer 70 is made larger than the angle between a direction of the electric field E and a direction of polarization moment of the piezoelectric layer 70 when the piezoelectric layer 70 has a maximum piezoelectric constant.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种液体注射头和液体注射装置，以及通过由于各自的驱动而使位移量的变化率变小而能够提高耐久性的致动器装置。解决方案：液体注入头包括：流体通道形成基板10，其中形成有连通用于喷射液滴的喷嘴开口的压力产生室12; 以及压电元件300，其包括第一电极60，形成在第一电极60上并具有通式表示为ABO的钙钛矿结构的压电层70和形成在压电层70的相对侧上的第二电极80 第一电极60.压电层70具有单斜系统结构，并且使在第一电极60和第二电极80之间产生的电场E的方向与压电层70的极化方向之间的角度变大比压电层70具有最大压电常数时电场E的方向与压电层70的极化方向的角度大。

2. 发明专利

JP2012151308A Liquid injection head, liquid injection apparatus, and piezoelectric element 有权
标题翻译：液体注射头，液体注射装置和压电元件
公开(公告)号：JP2012151308A
公开(公告)日：2012-08-09
申请号：JP2011009280
申请日：2011-01-19
申请人： Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
发明人： MIYAZAWA HIROSHI , YONEMURA TAKAYUKI , MOROZUMI KOICHI
IPC分类号： H01L41/09 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/135 , B41J2/14 , B41J2/145 , C04B35/00 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/39
CPC分类号： B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , H01L41/0805 , H01L41/1871 , H01L41/1878 , H01L41/318
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid injection head that reduces an environmental load and that suppresses a leak current by having high insulation properties, a liquid injection apparatus, and a piezoelectric element.SOLUTION: A liquid injection head comprises a pressure generating chamber 12 that communicates with a nozzle opening 21, and a piezoelectric element 300 that comprises a piezoelectric layer 70 and electrodes 60 and 80 provided in the piezoelectric layer 70. The piezoelectric layer 70, which is made of a complex oxide having a perovskite-type structure containing bismuth and iron, includes at least one kind of first dope element selected from the group consisting of magnesium and zinc, and a second dope element made of cerium.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种降低环境负荷并通过具有高绝缘性而抑制泄漏电流的液体注入头，液体注入装置和压电元件。解决方案：液体注射头包括与喷嘴开口21连通的压力产生室12和包括压电层70的压电元件300和设置在压电层70中的电极60和80.压电层70 由含有铋和铁的钙钛矿型结构的复合氧化物制成，包括选自镁和锌的第一掺杂元素和由铈制成的第二掺杂元素中的至少一种。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2010017984A Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and piezoelectric element 有权
标题翻译：液体喷射头，液体喷射装置和压电元件
公开(公告)号：JP2010017984A
公开(公告)日：2010-01-28
申请号：JP2008182384
申请日：2008-07-14
申请人： Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
发明人： MOROZUMI KOICHI , KATO JIRO , DENDA SATOSHI , ASAOKA ICHIRO
IPC分类号： B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/135 , B41J2/14 , B41J2/145 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/29 , H01L41/319
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2202/03
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid ejecting head with a piezoelectric element, which is improved in durability by preventing breakage of a piezoelectric layer, a liquid ejecting apparatus, and a piezoelectric element.
SOLUTION: The liquid ejecting head includes a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting a liquid, and a piezoelectric element 300 generating a pressure change in the pressure generating chamber. The piezoelectric element 300 includes a first electrode 60, a piezoelectric layer 70 provided above the first electrode 60, and a second electrode 80 provided above the piezoelectric layer 70 at a side opposite to the first electrode 60. The first electrode 60 has a diffusion-preventing layer 64 containing iridium oxide as a primary component, and the diffusion-preventing layer 64 has a stress relieving hole 64a that passes through in the thickness direction thereof and that is filled with a material other than iridium oxide.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：解决的问题：提供一种具有压电元件的液体喷射头，其通过防止压电层，液体喷射装置和压电元件的断裂而提高耐久性。解决方案：液体喷射头包括与用于喷射液体的喷嘴开口连通的压力产生室，以及在压力产生室中产生压力变化的压电元件300。压电元件300包括第一电极60，设置在第一电极60上方的压电层70，以及设置在压电层70的与第一电极60相对的一侧的第二电极80.第一电极60具有扩散 - 含有氧化铱作为主要组分的防止层64，并且防扩散层64具有在其厚度方向上穿过并且填充有氧化铱之外的材料的应力消除孔64a。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2015046618A 圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置审中-公开
标题翻译：压电元件，压电致动器，液体注射头和液体注入装置
公开(公告)号：JP2015046618A
公开(公告)日：2015-03-12
申请号：JP2014216150
申请日：2014-10-23
申请人：セイコーエプソン株式会社 , Seiko Epson Corp
发明人： MOROZUMI KOICHI , HARA HISAKI , KATO JIRO , DENDA SATOSHI
IPC分类号： H01L41/187 , B41J2/14 , H01L41/09
摘要：【課題】圧電体層の結晶が良質で、圧電特性の良好な圧電素子を提供すること。【解決手段】本発明にかかる圧電素子100は、第1導電層10と、第1導電層10に対向して配置された第2導電層20と、第1導電層10および第2導電層20の間に配置され、少なくとも鉛、ジルコニウム、チタンおよび酸素を含む複合酸化物によって形成された圧電体層30と、を含み、圧電体層30は、圧電体層30の第1導電層10側の端に配置された第1結晶層32と、第1結晶層32に連続し、第1結晶層32よりも第2導電層20側に配置された第2結晶層34と、を含み、圧電体層30の鉛の濃度は、第1結晶層32の第1導電層10側のほうが、第2結晶層34の第2導電層20側よりも低く、圧電体層30の酸素の濃度は、第1結晶層32の第1導電層10側のほうが、第2結晶層34の第2導電層20側よりも高い。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种具有优异的压电层晶体质量和优异的压电特性的压电元件。解决方案：根据本发明的压电元件100包括第一导电层10，第二导电层20，以及面对第一导电层10以及设置在第一导电层和第二导电层20之间并由至少包含铅，锆，钛和氧的复合氧化物制成的压电层30。压电层30包括设置在第一导电层10侧的压电层30的端部的第一晶体层32和与第一晶体层32连续并且靠近第二导电层20侧设置的第二晶体层34 第一导电层10侧的第一晶体层32的厚度比第二导电层20侧的第二晶体层34的压电层30的密度低，密度第一导电层10侧的第一晶体层32比第二导电层20侧的第二晶体层34中的压电层30的氧更高。

5. 发明专利

JP2014208470A 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子有权
标题翻译：液体喷射头，液体喷射装置和压电元件
公开(公告)号：JP2014208470A
公开(公告)日：2014-11-06
申请号：JP2014062392
申请日：2014-03-25
申请人：セイコーエプソン株式会社 , Seiko Epson Corp
发明人： ISSHIKI TETSUYA , KATO TATSU , MOROZUMI KOICHI
IPC分类号： B41J2/14
CPC分类号： B41J2/14
摘要：【課題】圧電体層の結晶を(100)面に優先配向させる配向制御層を有し、圧電素子の変位特性及び耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。【解決手段】第1電極60と、第1電極上に設けられた配向制御層65と、配向制御層上に設けられた圧電体層70と、圧電体層上に設けられた第2電極80と、を具備する圧電素子300を備え、配向制御層65は、ビスマス、鉄及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなり、圧電体層70の結晶は、Z軸方向で(100)面に優先配向し、XY軸面内方向では、同一方位の結晶粒がグレイン構造を形成する。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种液体喷射头，其具有用于将压电层的晶体优先取向到（100）表面的取向控制层，并且可以提高压电元件的位移特性和耐久性，并且提供液体喷射装置和压电元件。液体喷射头包括压电元件300，其包括：第一电极60; 设置在第一电极上的取向控制层65; 设置在取向控制层上的压电层70; 以及设置在压电层上的第二电极80。取向控制层65由包括铋，铁和钛的钙钛矿结构的复合氧化物构成。压电体层70的晶体优选取向为Z轴方向的（100）面，在XY轴的面内方向上，具有相同取向的晶粒形成晶粒结构。

6. 发明专利

JP2010083120A Liquid jetting head, liquid jetting device, and actuator 有权
标题翻译：液体喷射头，液体喷射装置和执行器
公开(公告)号：JP2010083120A
公开(公告)日：2010-04-15
申请号：JP2008258118
申请日：2008-10-03
申请人： Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
发明人： MOROZUMI KOICHI , KATO JIRO , DENDA SATOSHI , ASAOKA ICHIRO
IPC分类号： B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/135 , B41J2/14 , B41J2/145 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/318 , H01L41/43
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jetting head improved in displacement characteristics, and provide a liquid jetting device and an actuator. SOLUTION: The liquid jetting head includes: a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening from which a liquid is jetted; and a piezoelectric element which makes a pressure change occur in the pressure generating chamber. The piezoelectric element includes: a first electrode; a piezoelectric element layer which is formed on the first electrode, and contains titanium (Ti) and zirconium (Zr); and a second electrode which is formed on the opposite side from the first electrode of the piezoelectric element layer. A crystal structure for which the piezoelectric element layer is measured in a range of 100 to 500 nm from the first electrode in the thickness direction by the electronic energy loss spectroscopy has a part of a monoclinic system structure. When the abscissa axis is taken as a distance from the first electrode, and the ordinate axis is taken as Ti/(Ti+Zr)% regarding the measurement result, a variation to a rhombohedral system from the range becoming the monoclinic system of Ti/(Ti+Zr)% is 10% or less. Also, a variation to a tetragonal system from the range becoming the monoclinic system is 10% or less. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供改善位移特性的液体喷射头，并提供液体喷射装置和致动器。解决方案：液体喷射头包括：压力发生室，与喷射出的喷嘴开口连通; 以及在压力发生室中发生压力变化的压电元件。压电元件包括：第一电极; 形成在第一电极上并且包含钛（Ti）和锆（Zr）的压电元件层; 以及形成在与压电元件层的第一电极相对的一侧的第二电极。在电子能量损失光谱法中，从厚度方向从第一电极测量压电元件层的范围为100〜500nm的晶体结构具有单斜晶系结构的一部分。当横坐标轴与第一电极相距一定距离时，纵坐标取为测量结果的Ti /（Ti + Zr）％，则从成为单斜晶系的Ti /（Ti + Zr）（Ti + Zr）％为10％以下。此外，从成为单斜晶系的范围的四方晶系的变化为10％以下。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP2007036142A Piezoelectric element, piezoelectric actuator, ink jet recording head and ink jet printer 有权
标题翻译：压电元件，压电致动器，喷墨记录头和喷墨打印机
公开(公告)号：JP2007036142A
公开(公告)日：2007-02-08
申请号：JP2005221277
申请日：2005-07-29
申请人： Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
发明人： MOROZUMI KOICHI
IPC分类号： B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/135 , B41J2/14 , B41J2/145 , B41J2/15 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/39
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric element employing a piezoelectric film having proper piezoelectric characteristics, and to provide a piezoelectric actuator, an ink jet recording head and an ink jet printer.
SOLUTION: The piezoelectric element includes a piezoelectric film, consisting of a perovskite oxide and having a multi-domain structure and a mosaic structure. Furthermore, this piezoelectric element includes a piezoelectric film consisting of a perovskite oxide, and in the perovskite oxide, where ions preferentially positioned at an A site are referred to as "A-site" ions and ions positioned at a B site are referred to as "B-site" ions, the A-site ions are mutually substituted by the B-site ions.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种使用具有适当的压电特性的压电膜的压电元件，并提供压电致动器，喷墨记录头和喷墨打印机。解决方案：压电元件包括由钙钛矿氧化物组成并具有多畴结构和马赛克结构的压电膜。此外，该压电元件包括由钙钛矿氧化物构成的压电膜，并且在钙钛矿氧化物中，优选位于A位的离子被称为“A-位”离子，位于B位的离子被称为 “B位”离子，A位离子被B位离子相互取代。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

8. 发明专利

JP2015019056A 圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置有权
标题翻译：压电元件，液体注射头和液体注射装置
公开(公告)号：JP2015019056A
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：JP2014120023
申请日：2014-06-10
申请人：セイコーエプソン株式会社 , Seiko Epson Corp
发明人： MOROZUMI KOICHI , KURIKI AKIRA , ASAOKA ICHIRO , KIMURA KIYOKA
IPC分类号： H01L41/319 , B41J2/045 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/187
CPC分类号： H01L41/1876 , B41J2/055 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14258 , B41J2202/03 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/318
摘要：【課題】下部電極近傍の圧電体層の結晶性を高め、圧電特性及び耐久性に優れた圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】第1電極60と、第1電極上に配向制御層72を介して設けられた圧電体層70と、圧電体層上に設けられた第2電極80と、を具備する圧電素子300を備えた液体噴射ヘッドIであって、圧電体層70は、Aサイトに鉛を含み、Bサイトにジルコニウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなり、配向制御層72は、Aサイトにランタンを含み、Bサイトにニッケル及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなる。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：通过提高下电极附近的压电层的结晶度，提供压电特性和耐久性优异的压电元件，并提供液体注入头和液体注入装置。解决方案：液体注射头I包括压电元件300，其包括：第一电极60; 通过取向控制层72设置在第一电极60上的压电层70; 以及设置在压电层70上的第二电极80.压电层70包括钙钛矿结构的复合氧化物，其中A位点含铅，B位含有锆和钛。取向控制层72包括钙钛矿结构的复合氧化物，其中A位点含有镧，B位点含有镍和钛。

9. 发明专利

JP2012230947A Manufacturing method of liquid injection head, manufacturing method of liquid injection device, and manufacturing method of piezoelectric element 审中-公开
标题翻译：液体注射头的制造方法，液体注射装置的制造方法和压电元件的制造方法
公开(公告)号：JP2012230947A
公开(公告)日：2012-11-22
申请号：JP2011096851
申请日：2011-04-25
申请人： Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
发明人： NAWANO MASAHISA , MOROZUMI KOICHI
IPC分类号： H01L41/22 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a liquid injection head in which a displacement amount of a piezoelectric element can be improved, a manufacturing method of a liquid injection device, and a manufacturing method of a piezoelectric element.SOLUTION: A manufacturing method of a liquid injection head includes the steps of: forming a first electrode; forming a first coating film whose film thickness is 100 nm or below by applying a precursor solution containing at least bismuth and iron to an upper part of the first electrode; forming a first piezoelectric film by crystallizing the first coating film by heating; forming a second coating film by further applying the precursor solution to an upper part of the first piezoelectric film; and forming a second piezoelectric film by crystallizing the second coating film by heating.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够改善压电元件的位移量的液体注入头的制造方法，液体注入装置的制造方法和压电元件的制造方法。解决方案：液体注射头的制造方法包括以下步骤：形成第一电极; 通过将至少含有铋和铁的前体溶液涂布到第一电极的上部，形成膜厚为100nm以下的第一涂膜; 通过加热使第一涂膜结晶而形成第一压电膜; 通过进一步将前体溶液施加到第一压电膜的上部来形成第二涂膜; 以及通过加热使第二涂膜结晶而形成第二压电膜。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

10. 发明专利

JP2010098292A Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and actuator device 有权
标题翻译：液体喷射头，液体喷射装置和执行器装置
公开(公告)号：JP2010098292A
公开(公告)日：2010-04-30
申请号：JP2009159556
申请日：2009-07-06
申请人： Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
发明人： MIYAZAWA HIROSHI , ITO HIROSHI , MOROZUMI KOICHI , KATO JIRO
IPC分类号： H01L41/09 , B41J2/045 , B41J2/055 , H01L41/187
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/055 , B41J2002/14241 , B41J2002/1425 , B41J2002/14266 , B41J2002/14419 , H01L41/0973
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide: a liquid ejecting head improved in durability by reducing a change rate of displacement due to repeated drive; a liquid ejecting apparatus; and an actuator device. SOLUTION: This liquid ejecting head includes: a passage forming substrate 10 formed with a pressure generating chamber 12 communicating with a nozzle opening that ejects a liquid droplet; a piezoelectric element 300 having a first electrode 60, a piezoelectric layer 70 formed on the first electrode 60 and having a perovskite structure of which the general formula is represented by ABO 3 , and a second electrode 80 formed on the side of the piezoelectric layer 70 opposite to the first electrode 60. The piezoelectric layer 70 has a monoclinic structure. An angle formed between a direction of an electric field E generated between the first and second electrodes 60 and 80 and an orientation of a polarization moment of the piezoelectric layer 70 is set larger than an angle formed between the direction of the electric field E when the piezoelectric constant of the piezoelectric layer 70 reaches a maximum level and the orientation of the polarization moment of the piezoelectric layer 70. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供：通过减少由于重复驱动而产生的位移变化率而提高耐久性的液体喷射头; 液体喷射装置; 和致动器装置。该液体喷射头包括：通道形成基板10，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力产生室12; 具有第一电极60的压电元件300，形成在第一电极60上并具有通式由ABO 3 表示的钙钛矿结构的压电层70，以及形成在第一电极60上的第二电极80 压电层70的与第一电极60相对的一侧。压电层70具有单斜晶体结构。在第一和第二电极60和80之间产生的电场E的方向与压电层70的极化力矩的取向之间形成的角度被设定为大于当电场E的方向压电层70的压电常数达到最大水平和压电层70的极化力矩的取向。（C）2010，JPO＆INPIT

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