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    • 8. 发明专利
    • ガスバリアー性フィルムの製造方法、製造装置及び膜厚の測定方法
    • 气体阻隔膜制造方法及制造装置及薄膜厚度测量方法
    • JP2016006210A
    • 2016-01-14
    • JP2014126857
    • 2014-06-20
    • コニカミノルタ株式会社
    • 門馬 千明有田 浩了廣瀬 達也
    • C23C16/44C23C16/54
    • 【課題】本発明の課題は、ガスバリアー性及び光学特性の安定性に優れたガスバリアー性フィルムの製造方法及び製造装置と、当該ガスバリアー性フィルムの製造を容易にする膜厚の測定方法とを提供することである。 【解決手段】真空チャンバー10内において原料ガスのプラズマ反応によりガスバリアー層を形成するガスバリアー性フィルムの製造方法であって、前記真空チャンバー10の内壁又は内部に配置された複数の部材の少なくとも一部の表面に、拡散透過率が2%以上であるフィルム30を設けた状況下において、前記ガスバリアー層を形成することを特徴とするガスバリアー性フィルムの製造方法。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供阻气性和光学性能优异的阻气膜的制造方法和制造装置以及便于制造所述气体阻隔性的膜厚测量方法。解决方案:气体 在真空室10中通过原料气体的等离子体反应形成阻气层的阻挡膜制造方法的特征在于,在透光率为2%的膜30为 形成在布置在所述真空室10的内壁或内部的多个构件中的至少一些构件的表面上。