基本信息:
- 专利标题： ガスバリア性フィルムの製造方法
- 专利标题（英）：Method of manufacturing a gas barrier film
- 申请号：JP2015228887 申请日：2015-11-24
- 公开(公告)号：JP2017095759A 公开(公告)日：2017-06-01
- 发明人： 廣瀬 達也 , 属 健治 , 河村 朋紀
- 申请人： コニカミノルタ株式会社
- 申请人地址： 東京都千代田区丸の内二丁目7番2号
- 专利权人： コニカミノルタ株式会社
- 当前专利权人： コニカミノルタ株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区丸の内二丁目7番2号
- 代理人： 八田国際特許業務法人
- 主分类号： B32B9/00
- IPC分类号： B32B9/00 ; B05D7/24 ; C23C14/08 ; C23C14/54
摘要：
【課題】高温高湿環境下での耐久性に優れ、デバイス封止時の接着性に優れたガスバリア性フィルムを製造する方法の提供。 【解決手段】基材1上に非遷移金属(M1)を含む第1の層32を形成する工程1と、第1の層32上に、第1の層と接するように、物理蒸着法により、遷移金属(M2)を含む第2の層33を形成する工程2と、第2の層上33に、物理蒸着法により、遷移金属(M2’)を含む第3の層34を形成する工程3とを含み、第3の層34は最外層であり、工程2および工程3において、第2の層33を形成する蒸着速度をDR2(nm/秒)、第3の層34を形成する蒸着速度をDR3(nm/秒)としたとき、DR3に対するDR2の比であるRが、式1を満たす、ガスバリア性フィルムの製造方法。 【選択図】図2
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B32 | 层状产品 |
| ----B32B | 层状产品，即由扁平的或非扁平的薄层，例如泡沫状的、蜂窝状的薄层构成的产品 |
| ------B32B9/00 | 实质上由不包含在组B32B11/00至B32B29/00的特殊物质组成的层状产品 |