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1. 发明专利

JP2007501944A6 JP2007501944A6 - Apparatus and method for enabling robust separation between signal and noise of interest 审中-公开
公开(公告)号：JP2007501944A6
公开(公告)日：2011-02-17
申请号：JP2006533009T
申请日：2004-05-12
申请人：ケーエルエー−テンカーテクノロジィースコーポレイション
发明人：ガオ・チヤンボー , クールマン・ライオネル , スウィーニー・マーク・シー．
摘要：【課題】光学検査ツールによって与えられるヘイズデータを分析する方法および装置を提供する。
【解決手段】ヘイズデータは、試料表面に関連付けられた欠陥を検出するよう分析される。一般に、ヘイズデータは、試料上の低い周波数のバラツキに対応するバックグラウンドノイズが、そのようなヘイズデータの分析の前にヘイズデータから分離または除去されるよう、まず条件付けられる。具体的な実施形態において、試料表面における低い周波数のバラツキは、実質的には、入射ビームがその上に導かれる光学表面として特徴付けられる。ある例では、試料表面に対応するヘイズデータは、ゼルニケ方程式のような多項式で特徴付けられる。換言すれば、多項式方程式は、ヘイズデータの低い周波数の、つまりバックグラウンドのノイズにあてはめられる。この結果として生じる多項式方程式に合致するヘイズデータは、それから元のヘイズデータから引かれて、残差データを作り、ここで表面粗さにおける遅いバラツキが差し引かれ、残差ヘイズデータ中には可能な欠陥情報を残す。この残差ヘイズデータは、試料が欠陥を含むかを決定するために分析されえる。残差データを分析することによって欠陥の検出を向上させる技術も開示される。好ましくは、異なる検査ツール間で正規化されるように、結果として生じる残差データを較正する技術も提供される。

2. 发明专利

JP2007501944A Apparatus and method to enable a robust separation between signal and noise of interest 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP2007501944A
公开(公告)日：2007-02-01
申请号：JP2006533009
申请日：2004-05-12
申请人：ケーエルエー−テンカーテクノロジィースコーポレイション
发明人：ガオ・チヤンボー , クールマン・ライオネル , スウィーニー・マーク・シー．
IPC分类号： G01N21/956 , G01B11/30 , G01N21/95 , G06T7/00 , H01L21/66
CPC分类号： G06T7/0004 , G01B11/303 , G01N21/9501 , G06T5/50 , G06T7/11 , G06T2207/30148
摘要：【課題】光学検査ツールによって与えられるヘイズデータを分析する方法および装置を提供する。
【解決手段】ヘイズデータは、試料表面に関連付けられた欠陥を検出するよう分析される。一般に、ヘイズデータは、試料上の低い周波数のバラツキに対応するバックグラウンドノイズが、そのようなヘイズデータの分析の前にヘイズデータから分離または除去されるよう、まず条件付けられる。具体的な実施形態において、試料表面における低い周波数のバラツキは、実質的には、入射ビームがその上に導かれる光学表面として特徴付けられる。ある例では、試料表面に対応するヘイズデータは、ゼルニケ方程式のような多項式で特徴付けられる。換言すれば、多項式方程式は、ヘイズデータの低い周波数の、つまりバックグラウンドのノイズにあてはめられる。この結果として生じる多項式方程式に合致するヘイズデータは、それから元のヘイズデータから引かれて、残差データを作り、ここで表面粗さにおける遅いバラツキが差し引かれ、残差ヘイズデータ中には可能な欠陥情報を残す。この残差ヘイズデータは、試料が欠陥を含むかを決定するために分析されえる。残差データを分析することによって欠陥の検出を向上させる技術も開示される。好ましくは、異なる検査ツール間で正規化されるように、結果として生じる残差データを較正する技術も提供される。
【選択図】図２
摘要翻译：公开了用于分析由光学检查工具提供的Raze数据的方法和装置。分析雾度数据，以便检测与样品表面相关的缺陷。通常，首先对雾度数据进行调节，使得在分析这样的雾度数据之前，将相应于样本上的低频变化的背景噪声从雾度数据中分离或去除。在具体实施例中，试样表面的低频变化实际上被表征为入射光束在其上的光学表面。然后从原始雾度数据中减去符合该结果的多项式方程式的雾度数据，得到残差数据，减去表面粗糙度的较慢变化，从而留下残余雾度数据中的可能的缺陷信息。然后可以分析该残留雾度数据以确定样本是否包含缺陷。

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