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1. 发明专利

JP6584578B2 インプリント用光硬化性組成物、膜の製造方法及び半導体素子の製造方法有权
公开(公告)号：JP6584578B2
公开(公告)日：2019-10-02
申请号：JP2018078123
申请日：2018-04-16
申请人：キヤノン株式会社
发明人：米澤詩織 , 北川健司 , 伊藤俊樹 , 川▲崎▼ 陽司
IPC分类号： C08F2/48 , H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44

2. 发明专利

JP2019145620A 平坦化装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019145620A
公开(公告)日：2019-08-29
申请号：JP2018027252
申请日：2018-02-19
申请人：キヤノン株式会社
发明人：川▲崎▼ 陽司
IPC分类号： B29C59/02 , H01L21/027
摘要：【課題】基板を平坦化するのに有利な平坦化装置を提供する。【解決手段】型を用いて基板上の組成物を平坦化する平坦化装置であって、複数の基板のそれぞれに対して、前記型の平面部を基板上の組成物に接触させて前記平面部を基板の表面形状に倣わせることで当該組成物を平坦化する平坦化処理を行う処理部と、前記平坦化処理を予め決められた回数行うごとに、前記複数の基板のうちの処理対象の基板と前記平面部との相対的な位置関係を変更するように、前記型と前記処理対象の基板とを相対的に駆動する駆動部と、を有することを特徴とする平坦化装置を提供する。【選択図】図4

3. 发明专利

JP6420571B2 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP6420571B2
公开(公告)日：2018-11-07
申请号：JP2014122742
申请日：2014-06-13
申请人：キヤノン株式会社
发明人：山下敬司 , 川▲崎▼ 陽司
IPC分类号： B29C59/02 , B05D1/26 , B05D3/12 , B05C11/10 , B41J2/165 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0002

4. 发明专利

JP2016029138A 硬化性組成物、その硬化物、硬化物の製造方法、光学部品の製造方法、回路基板の製造方法、および電子部品の製造方法审中-公开
标题翻译：可固化组合物及其固化产品，用于生产固化产品的方法，制造光学部件的方法，制造电路板的方法和制造电子部件的方法
公开(公告)号：JP2016029138A
公开(公告)日：2016-03-03
申请号：JP2014257799
申请日：2014-12-19
申请人：キヤノン株式会社
发明人：加藤順 , 川▲崎▼ 陽司 , 米澤詩織 , 伊藤俊樹
IPC分类号： H01L21/027 , C08F220/30 , B32B27/30 , B32B27/16 , C08F2/48
CPC分类号： C08F2/50 , G03F1/00 , H01L21/0332 , H01L21/0337 , H01L21/3081
摘要：【課題】光ナノインプリント法において、低露光量で硬化性組成物を硬化した場合であっても、硬化物の表面が十分に硬化して、パターン倒れの欠陥が発生しにくい硬化物を形成可能なナノインプリント用硬化性組成物およびナノインプリント方法を提供することにある。また、低露光量においてパターン倒れの欠陥が発生しにくい、硬化物、硬化物の製造方法、光学部品の製造方法、回路基板の製造方法、および電子部品の製造方法を提供することにある。【解決手段】硬化した状態において、下記の式(1)を満たすことを特徴とする硬化性組成物。 Er 1 /Er 2 ≧1.10 (1) (ここで、Er 1 は、硬化物表面の複合弾性率(GPa)を示し、Er 2 は、硬化物内部の複合弾性率(GPa)を示す。) 【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种纳米压印用固化性组合物，其可以形成固化物，该固化物具有充分固化的表面，并且即使当通过光 - 纳米压印法低固化固化组合物时也不易发生图案塌陷缺陷曝光剂量和形成这种固化产物的纳米压印法; 以及即使在低曝光剂量下固化时也不容易发生图案塌陷缺陷的固化物，这种固化物的制造方法，光学部件的制造方法，电路基板的制造方法以及方法用于制造电子部件。溶解性：固化性组合物在固化状态下满足式（1）：（1）Er /Er≥1.10，其中Er表示通过所述固化产物获得的固化产物的表面的复合弹性模量（GPa）固化组合物，Er表示固化产物内部的复合弹性模量（GPa）。选择图：图1

5. 发明专利

JP2015127384A 光硬化性組成物、これを用いた、膜の製造方法、光学部品の製造方法、回路基板の製造方法、電子部品の製造方法、硬化物有权
标题翻译：光电组合物和制造薄膜的方法，制造光学元件的方法，制造电路板的方法，制造电子元件的方法和使用光刻胶组合物固化的产品
公开(公告)号：JP2015127384A
公开(公告)日：2015-07-09
申请号：JP2014109338
申请日：2014-05-27
申请人：キヤノン株式会社
发明人：米澤詩織 , 伊藤俊樹 , 山下敬司 , 千葉啓子 , 川▲崎▼ 陽司
IPC分类号： C08F2/48 , H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44
CPC分类号： B29C59/005 , B29C59/002 , B29C59/022 , B29C59/026 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08L33/08 , G03F7/0002 , B29C2059/023 , B29K2033/08 , B29K2105/0005
摘要：【課題】凝縮性ガスプロセスを用いたインプリント方法では、レジスト硬化膜の表面粗れが発生するという問題がある。【解決手段】凝縮性ガス雰囲気下でインプリントを行うための光硬化性組成物であって、少なくとも下記(A)成分と、(B)成分と、(C)成分と、を有し、 (A)(メタ)アクリルモノマー (B)光重合開始剤 (C)離型剤 5℃かつ1気圧の条件下で、液状である前記凝縮性ガスへの前記(C)成分の飽和溶解度が5重量%以下であることを特徴とする光硬化性組成物。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：为了解决抗蚀剂固化膜在使用可冷凝气体工艺的压印方法中引起表面粗糙化的问题。提供了一种用于在含有可冷凝气体的气氛中压印的光固化组合物，其至少包括（A）成分（B）成分（C）：（A）（甲基）丙烯酸类单体，（B）光聚合引发剂，（C）脱模剂。组分（C）在5℃和1个大气压的条件下，在液态的可冷凝气体中的饱和溶解度为5重量％以下。

7. 发明专利

JP2019186456A インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019186456A
公开(公告)日：2019-10-24
申请号：JP2018077549
申请日：2018-04-13
申请人：キヤノン株式会社
发明人：川▲崎▼ 陽司
IPC分类号： B29C59/02 , H01L21/027
摘要：【課題】パターン欠陥の発生を抑制する点で有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】基板に形成されたショット領域上に型を用いてインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、吐出口からインプリント材を吐出し、基板上にインプリント材を供給する供給部と、基板を保持し移動する基板ステージと、基板ステージを制御する制御部と、を備え、制御部は、パターンが形成されたショット領域が吐出口の直下を避けるように基板ステージを移動させる。【選択図】図1

8. 发明专利

JP6482591B2 光硬化性組成物有权
公开(公告)号：JP6482591B2
公开(公告)日：2019-03-13
申请号：JP2017085544
申请日：2017-04-24
申请人：キヤノン株式会社
发明人：伊藤俊樹 , 本間猛 , 米澤詩織 , 川▲崎▼ 陽司
IPC分类号： C08F2/48 , H01L21/027

9. 发明专利

JP2018125560A インプリント用硬化性組成物、膜、膜の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018125560A
公开(公告)日：2018-08-09
申请号：JP2018078123
申请日：2018-04-16
申请人：キヤノン株式会社
发明人：米澤詩織 , 北川健司 , 伊藤俊樹 , 川▲崎▼ 陽司
IPC分类号： B29C59/02 , C08F2/44 , C08F2/48 , H01L21/027
摘要：【課題】モールドへの充填速度が速く、かつ離型性に優れた膜が得られる硬化性組成物を提供する。【解決手段】重合開始剤と、ラジカル重合性化合物と、親水性官能基を有する内添型離型剤と、を含有する硬化性組成物であって、前記内添型離型剤が、下記一般式(A)に示される化合物であり、且つ前記硬化性組成物の気液界面に偏在しないことを特徴とする、インプリント用硬化性組成物。 R−(OR’) n −X (A) (式(A)において、Rは、炭素数10乃至20のアルキル基を表し、OR’は、オキシエチレン基を表し、Xは、ヒドロキシル基を表す。nは、3乃至30の整数を表す。) 【選択図】なし

10. 发明专利

JP2016004837A インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法审中-公开
标题翻译：印刷装置，印刷方法和制造方法
公开(公告)号：JP2016004837A
公开(公告)日：2016-01-12
申请号：JP2014122742
申请日：2014-06-13
申请人：キヤノン株式会社
发明人：山下敬司 , 川▲崎▼ 陽司
IPC分类号： B29C59/02 , B05D1/26 , B05D3/12 , B05C11/10 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0002
摘要：【課題】ディスペンサをクリーニングするのに有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】基板上のインプリント材をモールドで成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、前記基板に向けて吐出口から前記インプリント材を吐出するディスペンサと、前記吐出口が面する空間に、前記インプリント材に溶解して前記インプリント材の粘度を低下させるガスを供給するガス供給部と、を有し、前記インプリント材による前記吐出口の詰まりを、前記ガス供給部が前記ガスを前記空間に供給することにより除去することを特徴とするインプリント装置を提供する。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供有利于清洁分配器的压印装置。解决方案：通过在基板上模制压印材料在基板上形成图案的压印装置具有用于将压印材料从喷口朝向基板排出的分配器以及气体供给部，其通过将压印材料熔化而降低压印材料的粘度，从而将气体供给到面对喷口的空间。通过将气体从气体供给部供给到空间，可以消除喷嘴与压印材料的堵塞。

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