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1. 发明专利

JP2017040625A プローブおよび形状測定装置审中-公开
标题翻译：探针和形状测定装置
公开(公告)号：JP2017040625A
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015164016
申请日：2015-08-21
申请人：キヤノン株式会社
发明人：宮田明徳 , 小川健悟 , 宮里健一
IPC分类号： G01B21/00 , G01B5/20 , G01B5/012
摘要：【課題】動吸振器型のプローブを軽量に構成できるようにして、100nm以下のプローブシャフトの振動を低減する。【解決手段】プローブシャフトの外周に磁石ユニットを備え、磁石ユニットの外周に導体からなる補助質量体を配置する。プローブシャフトの剛性と磁気ダンパの質量を独立に考えられるので、高剛性と軽量の両方の要件を満たすことができる。【選択図】図1
摘要翻译：的重量，以便将动态吸振器型探针可以构造光，以减少下列探针轴100纳米的振动。甲设置有磁体单元到探针轴的外周上，将上磁铁单元的外周部由导体制成的附加质量。它被认为是独立的质量刚度和测头杆的磁性阻尼器，能够满足高刚性和既轻巧的要求。点域1

2. 发明专利

JP5697416B2 接触式形状測定装置有权
标题翻译：接触形状测量装置
公开(公告)号：JP5697416B2
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：JP2010261597
申请日：2010-11-24
申请人：キヤノン株式会社
发明人：宮田明徳
IPC分类号： G01B5/20
CPC分类号： G01B5/008 , G01B21/045

3. 发明专利

JP5787678B2 形状評価方法、形状評価装置、プログラム及び記録媒体有权
标题翻译：形状评价方法，所述形状评价装置，程序和记录介质
公开(公告)号：JP5787678B2
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：JP2011195284
申请日：2011-09-07
申请人：キヤノン株式会社
发明人：宮田明徳 , 大野雅普
IPC分类号： G01M11/00 , G01B21/20 , G01B5/20 , G01B21/00

4. 发明专利

JP2015064241A 形状測定方法、形状測定装置有权
标题翻译：形状测量方法和形状测量装置
公开(公告)号：JP2015064241A
公开(公告)日：2015-04-09
申请号：JP2013197338
申请日：2013-09-24
申请人：キヤノン株式会社
发明人：宮田明徳
IPC分类号： G01B21/20
CPC分类号： G01B5/20 , G01B11/24 , G01B2210/52
摘要：【課題】本発明は、シフトパラメータとチルトパラメータの両方に起因するつなぎエラーを共に低減し、高精度に被測定面の形状を測定する方法を提供する。【解決手段】上記目的を達成するために、本出願に係る発明は、被測定物における複数の部分測定データ及び前記部分測定データに対応する傾きのデータを取得する工程と、複数の前記部分測定データ同士の相対的な傾きが、予め定められた閾値以下となるように前記部分測定データ同士の姿勢を保ちつつ、前記部分測定データに共通する参照式との差が小さくなるように部分測定データをフィッティングする工程と、フィッティングした後に前記部分測定データをつなぎ合わせて、前記被測定面の形状を計算する工程と、を備える形状測定方法である。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种减少由偏移参数和倾斜参数引起的一体化误差并且高精度地测量测量表面的形状的方法。解决方案：为了解决上述问题，形状测量根据本申请的本发明的方法包括以下步骤：获取关于测量对象的多个部分测量数据和对应于部分测量数据的倾斜数据; 在部分测量数据之间保持姿势，使得多个部分测量数据之间的相对倾斜度等于或小于预定阈值，并且将部分测量数据拟合为部分测量数据与参考部分测量数据共同的表达式较小; 并且在装配后将部分测量数据拼接在一起，并计算测量表面的形状。

5. 发明专利

JP6289001B2 形状測定方法、形状測定装置有权
公开(公告)号：JP6289001B2
公开(公告)日：2018-03-07
申请号：JP2013197338
申请日：2013-09-24
申请人：キヤノン株式会社
发明人：宮田明徳
IPC分类号： G01B21/20
CPC分类号： G01B5/20 , G01B11/24 , G01B2210/52

6. 发明专利

JP5713659B2 形状測定方法及び形状測定装置有权
标题翻译：形状测量方法及形状测量装置
公开(公告)号：JP5713659B2
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：JP2010284197
申请日：2010-12-21
申请人：キヤノン株式会社
发明人：宮田明徳 , 大野雅普
IPC分类号： G01B5/20

7. 发明专利

JP2017040626A プローブおよび形状測定装置审中-公开
标题翻译：探针和形状测定装置
公开(公告)号：JP2017040626A
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015164017
申请日：2015-08-21
申请人：キヤノン株式会社
发明人：小川健悟 , 宮田明徳 , 宮里健一
IPC分类号： G01B21/00 , G01B5/20 , G01B5/012
摘要：【課題】微小な慣性力(微小な力)に反応する軽量な動吸振器を備え、例えば100nm以下のプローブシャフトの振動を効果的に低減することが可能なプローブおよび形状測定装置を提供する。【解決手段】プローブシャフト11と動吸振器を備えたプローブ10であって、動吸振器は、同じ磁極同士を互いに対向して構成された一対の磁石101a、101bが、それぞれの磁石101a、101bの磁極の方向がプローブシャフト11の長手方向に沿うようにプローブシャフト11の外周に設けられた磁石ユニット101と、プローブシャフト11に一端が支持されたばね部材103と、磁石ユニット101の外周にばね部材103を介して長手方向に沿うようにプローブシャフト11に対して移動可能に配置され、長手方向における磁石ユニット101の長さよりも短い全長の非磁性材料からなる補助質量体102、を備えている。【選択図】図1
摘要翻译： A包含反应以小的惯性力（小的力）的轻量动态吸振器，它是提供一种探针，并且能够有效地降低例如100nm的下述探针轴的振动的形状测定装置。解决方案：用探针轴11和动态吸振器的探测器10中，动态吸振器包括一对在彼此相对，101B相同的磁极的磁铁构造101a的，分别在磁铁101A，101B的沿着所述的弹簧部件103，其一端由探头轴11，弹簧部件在磁铁单元的探头轴11的磁极的101方向的外周支撑设置在探头轴11的外周面的纵向和磁铁单元101 103相对可运动地设置在探头轴11沿纵向穿过，并包括辅助质量102，做了充分的长度比磁体单元101的长度方向的长度短的非磁性材料制成。点域1

8. 发明专利

JP5713660B2 形状測定方法有权
公开(公告)号：JP5713660B2
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：JP2010284198
申请日：2010-12-21
申请人：キヤノン株式会社
发明人：大野雅普 , 宮田明徳
IPC分类号： G01B5/20
CPC分类号： G01B11/24 , G01B21/20 , G01M11/005 , G01M11/025 , G01B11/25 , G01B11/306

9. 发明专利

JP6590634B2 形状測定方法および形状測定装置有权
公开(公告)号：JP6590634B2
公开(公告)日：2019-10-16
申请号：JP2015206694
申请日：2015-10-20
申请人：キヤノン株式会社
发明人：宮里健一 , 宮田明徳 , 小川健悟
IPC分类号： G01B5/20

10. 发明专利

JP6552331B2 プローブおよび形状測定装置有权
公开(公告)号：JP6552331B2
公开(公告)日：2019-07-31
申请号：JP2015164016
申请日：2015-08-21
申请人：キヤノン株式会社
发明人：宮田明徳 , 小川健悟 , 宮里健一
IPC分类号： G01B21/00 , G01B5/20 , G01B5/012

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