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3. 发明专利

JP2016149279A 質量分析装置审中-公开
标题翻译：质谱仪
公开(公告)号：JP2016149279A
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：JP2015026012
申请日：2015-02-13
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：中村恵 , 瀧澤義幸 , 杉山正行 , 島田優志 , 三田浩希
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/26
CPC分类号： H01J49/025
摘要：【課題】1E-2Pa以上の圧力空間を高精度で分析できる質量分析装置を提供する。【解決手段】質量分析装置は、イオン化部21でイオン化をフィルタリングするフィルター部22と、フィルター部22を通過した対象ガスのイオンに基づいたイオン検出値を検出するイオン検出部31と、を有し、イオン検出部31は、フィルター部22の中心線Cに沿って配置されたファラディ電極33と、中心線を挟んでファラディ電極33に対向するように設けられた二次電子増倍器34とを備え、ファラディ電極33は、二次電子増倍器34の方向に進む光電子および反射光を遮蔽する遮蔽板41を備えることを特徴とする。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种可以高精度地分析1E-2Pa以上的压力空间的质谱仪。解决方案：质谱仪包括用于过滤电离部分21中的电离的过滤部分22和离子检测器 31，用于基于通过过滤器部分22的目标气体的离子检测离子检测值。离子检测器31包括沿过滤器部分22的中心线C设置的法拉第电极33和设置成面对的二次电子倍增器34 法拉第电极33通过中心线。法拉第电极33具有用于屏蔽光电子的屏蔽板41和在向二次电子倍增器34的方向上传播的反射光。选择的图示：图2

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