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    • 1. 发明专利
    • Field-effect transistor
    • JP2005521263A
    • 2005-07-14
    • JP2003579282
    • 2003-03-17
    • キネティック リミテッド
    • ティモシー ジョナサン フィリップス
    • H01L29/06H01L21/338H01L29/10H01L29/778H01L29/812
    • H01L29/7783H01L29/1029
    • 【課題】 電界効果トランジスタ(FET)、特に、「MODFET(変調ドープ電界効果トランジスタ)」又は「HEMT(高電子移動度トランジスタ)」としても公知の量子井戸電界効果トランジスタを提供する。
      【解決手段】 量子井戸を有する電界効果トランジスタにおいて、量子井戸は、一次導電チャンネル(27)と、一次チャンネルの直近にあって接触する少なくとも1つの二次導電チャンネル(25、25)とによって形成され、二次導電チャンネルは、一次チャンネルの有効バンドギャップ(14)よりも大きい有効バンドギャップ(15)を有し、一次チャンネルの衝撃イオン化閾値「IIT」(17)と一次及び二次チャンネル間の有効導電帯オフセット(ステップの高さ)との間の差の絶対値は、0.5Eg(実効値)よりも大きくなく、又は(代替的に)、0.4eVよりも大きくない。 すなわち、そうでなければ暴走をもたらす衝撃イオン化を生じ得るより高エネルギのキャリヤは、二次チャンネル内に迂回され、装置が増加した電圧でより高速に作動し、及び/又は、暴走に対して遥かに大きな抵抗を示すことを可能にする。 一次チャンネルは、好ましくは、低バンドギャップ材料、例えば、InSb、InAs、InAs
      1-y Sb
      y 、In
      1-x Ga
      x Sb、又はIn
      1-x Ga
      x Asである。