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    • 3. 发明专利
    • エキシマランプおよびエキシマランプ装置
    • EXCIMER灯和EXCIMER灯具设备
    • JP2015204140A
    • 2015-11-16
    • JP2014081552
    • 2014-04-11
    • ウシオ電機株式会社
    • 下中 雅俊
    • H01J61/35H01J65/00
    • 【課題】外部電極の管軸方向の一端側から給電するエキシマランプにおいて、採光スリットによる照度分布の不均一を極力減じるとともに、発光管の非給電側端部での照度低下をなくするようにした構造を提供する。 【解決手段】発光管2内に設けられた反射膜5に形成される採光スリット6は、発光管の管軸方向の中央部を含んで管軸方向に延在しており、採光スリットの非給電側端部6aと外部電極3の非給電側端部3aの距離L1は、採光スリットの給電側端部6bと外部電極の給電側端部3bの距離L2(0mmも含む)よりも長いことを特徴とする。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:为了提供尽可能减少由于光捕获狭缝引起的照度分布不均匀性的结构,并且在发光管的非进给侧端部处不产生照度降低, 在从外部电极的一端侧向管轴方向供电的受激准分子灯。解决方案:设置在发光管2中的形成在反射膜5上的光捕获狭缝6沿管轴向延伸,同时 包括发光管在管轴方向的中心部分,并且光捕获狭缝的非进给侧端部6a和外部电极3的非进给侧端部3a之间的距离L1比 光捕获狭缝的馈送侧端部6b与外部电极的馈送侧端部3b之间的距离L2(包括0mm)。
    • 5. 发明专利
    • エキシマランプ
    • JP2018010795A
    • 2018-01-18
    • JP2016139128
    • 2016-07-14
    • ウシオ電機株式会社
    • 下中 雅俊笠木 邦雄
    • H01J65/00
    • 【課題】本発明は、発光管とベースとの管軸方向の相対的な変位が生じた場合であっても、発光管が破損することを回避することのできるエキシマランプを提供することを目的とする。 【解決手段】本発明のエキシマランプは、発光管の端部における外周面に接触して当該発光管を保持するベースを備えており、前記発光管における前記端部の外面側において、当該発光管と前記ベースとの間に、当該発光管の当該ベースに対する管軸方向変位を防止する緩衝部材が設けられていることを特徴とする。発光管の前記端部が端壁によって閉塞された構成のものであって、ベースとして有底円筒状のものが用いられた構成のものにおいては、緩衝部材は、当該ベースの周壁の内周に沿って伸びるコイル、もしくは、当該ベースの周壁の内周面から内方に突出する弾性体により構成することができる。 【選択図】図1