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    • 1. 发明专利
    • シート剥離装置およびシート剥離方法
    • JP2020092216A
    • 2020-06-11
    • JP2018229628
    • 2018-12-07
    • LINTEC CORP
    • KUROSAWA YUTA
    • H01L21/683
    • 【課題】単位時間あたりの処理能力が低下することなく、接着シートの折曲姿勢を良好に維持して当該接着シートを被着体から剥離することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供すること。【解決手段】シート剥離装置EAは、被着体WKに貼付された接着シートASに剥離用テープPTを貼付する貼付手段10と、剥離用テープPTと被着体WKとを相対移動させて被着体WKから接着シートASを剥離する移動手段20と、接着シートASの既剥離部分APを当該接着シートASの未剥離部分ANに対向するように折り曲げて所定の折曲姿勢を形成する折曲姿勢形成手段30とを備え、折曲姿勢形成手段30は、被着体WKよりも硬い外周面33Aで接着シートASを吸引可能なローラ部材33を備え、ローラ部材33の外周面33Aで接着シートASの既剥離部分APを吸引しつつ当該既剥離部分APを折り曲げて折曲姿勢を形成する。【選択図】図1