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    • 66. 发明专利
    • 位置検出装置
    • JP2020201127A
    • 2020-12-17
    • JP2019108115
    • 2019-06-10
    • TDK株式会社
    • 蔡 永福平林 啓
    • G01R33/09G01R33/02H01L43/08G01D5/245
    • 【課題】磁気センサが、所定の平面内で方向が変化する磁界を検出するのに適したMR素子を含み、検出対象磁界が、所定の平面外の方向を含む可変範囲内で方向が変化するものであっても、検出精度の低下を抑制できるようにする。 【解決手段】位置検出装置1は、検出対象磁界を発生する磁石2と、磁気センサ3を備えている。磁気センサ3は、検出対象磁界を検出して、磁石2の位置に対応する検出値を生成する。磁気センサ3は、MR素子と基板を含んでいる。基板は、主面を含んでいる。MR素子が受ける検出対象磁界は、第1の平面PL1内で変化する第1の方向D1を有している。MR素子は、主面に平行な第2の平面PL2内において変化可能な方向の第1の磁化を有する磁性層を含んでいる。第1の平面PL1と第2の平面PL2は、90°以外の二面角αをなして交差している。検出値は、第1の磁化の方向に依存する。 【選択図】図1