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    • 69. 发明专利
    • 保護膜形成用フィルム、保護膜形成用シート、ワーク又は加工物の製造方法、検査方法、良品と判断されたワーク、及び良品と判断された加工物
    • 保护膜形成膜,保护膜形成片,工件或制造方法的工件,该检查方法中,良好的和所确定的工件,并且其已被确定为无缺陷的工件
    • JP2017011199A
    • 2017-01-12
    • JP2015127420
    • 2015-06-25
    • リンテック株式会社
    • 山本 大輔米山 裕之稲男 洋一
    • B23K26/53H01L21/301
    • 【課題】半導体ウエハ等のワークや半導体チップ等の加工物について、その裏面を保護するとともに、外観を向上させるための保護膜を形成可能な保護膜形成用フィルム及び保護膜形成用シート、これらを使用するワーク又は加工物の製造方法、これらを使用する検査方法、並びに前記検査方法により良品と判断されたワーク及び加工物の提供。 【解決手段】顔料を含有し、前記顔料の含有量が2.6質量%以上であり、波長550nmの光線透過率が15%以下である保護膜形成用フィルム1;基材41の一方の面側に粘着剤層42が積層されてなる粘着シート4と、粘着シート4の粘着剤層42側に積層された保護膜形成用フィルム1とを備えた、保護膜形成用シート3;保護膜形成用フィルム1又は保護膜形成用シート3を使用して、ワーク又は前記ワークが分割加工されてなる加工物に保護膜を形成する、ワーク又は加工物の製造方法。 【選択図】図2
    • 用于工件例如工作,半导体芯片诸如半导体晶片,以保护其背面,能够用于改善外观和用于形成保护膜片,这些形成保护膜的膜保护膜 用于制造工件或工件使用,提供这些测试方法的过程,以及工作和工件被确定为通过所述检查方法的好产品。 含有颜料,其特征在于,它的颜料的含量超过2.6质量%,保护膜形成膜1分的透光率在550nm的波长为15%或更少;在衬底41的一个表面 的粘合片4到粘合层42被层叠,以及保护膜形成层叠在粘合片4,该保护膜形成片3的粘接剂层42侧膜1;保护膜形成膜 使用一个或保护膜形成片3,形成在工件上或工件在工件被划分工件或工件的加工方法的保护膜。 .The
    • 70. 发明专利
    • 保護膜形成用フィルム、保護膜形成用シート、及びワーク又は加工物の製造方法
    • 保护膜形成膜,保护膜形成片,和工件或工件的制造方法
    • JP2017011197A
    • 2017-01-12
    • JP2015127418
    • 2015-06-25
    • リンテック株式会社
    • 山本 大輔米山 裕之稲男 洋一
    • B23K26/53H01L23/00H01L21/301
    • 【課題】半導体ウエハ等のワークや半導体チップ等の加工物について、その裏面を保護するとともに、外観を向上させるための保護膜を形成可能な保護膜形成用フィルム及び保護膜形成用シート、並びにこれらを使用するワーク又は加工物の製造方法の提供。 【解決手段】フィラーを含有し、前記フィラーの平均粒径が0.2μm以上であり、波長550nmの光線透過率が10%以下である保護膜形成用フィルム1;基材41の一方の面側に粘着剤層42が積層されてなる粘着シート4と、粘着シート4の粘着剤層42側に積層された保護膜形成用フィルム1とを備えた、保護膜形成用シート3;保護膜形成用フィルム1又は保護膜形成用シート3を使用して、ワーク又は前記ワークが分割加工されてなる加工物に保護膜を形成する、ワーク又は加工物の製造方法。 【選択図】図2
    • 用于工件例如工作,半导体芯片诸如半导体晶片,以保护其背面,能够用于改善外观和用于形成保护膜片上形成保护膜的薄膜的保护膜,和它们的 提供一种制造工件或工件使用的方法的。 含有填料,该填料的平均粒度不小于0.2μm的以上,在550nm的波长下的保护膜形成膜1的光透射率为10%或更低;在衬底41的一个表面 的粘合片4到粘合层42被层叠,以及保护膜形成层叠在粘合片4,该保护膜形成片3的粘接剂层42侧膜1;保护膜形成膜 使用一个或保护膜形成片3,形成在工件上或工件在工件被划分工件或工件的加工方法的保护膜。 .The