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51. 发明专利

JP6521441B2 圧力センサ有权
公开(公告)号：JP6521441B2
公开(公告)日：2019-05-29
申请号：JP2015128570
申请日：2015-06-26
申请人：国立大学法人東京大学 , セイコーインスツル株式会社
发明人：下山勲 , 松本潔 , 高橋英俊 , グェンミンジューン , 内山武 , 大海学 , 篠原陽子 , 須田正之
IPC分类号： G01L9/00

52. 发明专利

JP6515477B2 力学量センサおよび力学量測定装置有权
公开(公告)号：JP6515477B2
公开(公告)日：2019-05-22
申请号：JP2014205648
申请日：2014-10-06
申请人：大日本印刷株式会社
发明人：前川慎志 , 森井明雄
IPC分类号： G01L19/06 , G01P15/08 , G01P15/125 , H01L29/84 , G01L9/00

53. 发明专利

JP2019060810A 圧力センサ审中-公开
公开(公告)号：JP2019060810A
公开(公告)日：2019-04-18
申请号：JP2017187522
申请日：2017-09-28
申请人：セイコーインスツル株式会社
发明人：大海学 , 内山武 , 篠原陽子 , 野邉彩子 , 高橋寛 , 須田正之
IPC分类号： H01L29/84 , G01L9/00 , G01L19/04
摘要：【課題】正確な温度補償を行うことができ、圧力変化の検出を精度良く行うこと。【解決手段】キャビティの内部と外部とを連通する連通開口6が形成されたセンサ本体3と、キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバー4と、ギャップ20をあけた状態でカンチレバーの周囲を囲むように形成され、連通開口の開口周縁部に沿うように配置された枠部27と、カンチレバーの撓み変形に応じて抵抗値が変化する変位検出抵抗46を有し、変位検出抵抗の抵抗値変化に対応した第1出力信号に基づいてカンチレバーの変位を検出する変位検出部と、を備え、変位検出抵抗は、少なくともレバー支持部26に形成され、枠部には、変位検出抵抗の温度係数に対応した温度係数を有する温度検出抵抗47が形成され、変位検出部は、温度検出抵抗で検出された抵抗値に基づいて第1出力信号の温度補償を行う圧力センサ1を提供する。【選択図】図4

54. 发明专利

JP2019032263A 圧力検出装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019032263A
公开(公告)日：2019-02-28
申请号：JP2017154090
申请日：2017-08-09
申请人：日本精機株式会社
发明人：市村政稔 , 渡辺雅博
IPC分类号： G01L9/00
摘要：【課題】出力特性が組立作業の影響を受けにくい圧力検出装置を提供する。【解決手段】圧力検出装置1は、半導体式圧力センサ20と、半導体式圧力センサ20に流体を流入可能な流路を有する流体流入部材10と、半導体式圧力センサ20を取り囲むように流体流入部材10に設けられる第1樹脂部31と、一端部32aが半導体式圧力センサ20と電気的に接続されるとともに第1樹脂部31に保持されるリード端子32と、リード端子32の他端部32bが露出するとともに第1樹脂部31及び流体流入部材10に設けられる第2樹脂部41と、半導体式圧力センサ20とリード端子32の一端部32aとを接続するワイヤWと、半導体式圧力センサ20を覆うとともに第1樹脂部31に接合され半導体式圧力センサ20の気密空間Bを形成する蓋部材50と、を備え、第1樹脂部31と蓋部材50との接合部31cと、気密空間Bとの間に壁部31dを設ける。【選択図】図1

55. 发明专利

JP2019022165A ノイズ抑制回路审中-公开
公开(公告)号：JP2019022165A
公开(公告)日：2019-02-07
申请号：JP2017141336
申请日：2017-07-20
申请人： NIPPON SEIKI CO LTD
发明人： SATO SHUJI
IPC分类号： H03H7/075 , G01L9/00 , G01L19/00 , H01F27/00 , H01L29/84
摘要：【課題】高周波ノイズを抑制することができるノイズ抑制回路を提供する。【解決手段】ノイズ抑制回路20aは、圧力センサ素子13に接続される電源線Lv、グランド線Lg及び信号線Loに設けられる。ノイズ抑制回路20aは、電源線Lvに設けられるインダクタ素子L2と、電源線Lvにおけるインダクタ素子L2の圧力センサ素子13に近い一端側とグランド線Lgとの間に接続されるコンデンサC1と、電源線Lvにおけるインダクタ素子L2の圧力センサ素子13から遠い他端側とグランド線Lgとの間に接続されるコンデンサC4と、信号線Loに設けられるインダクタ素子L3と、信号線Loにおけるインダクタ素子L3の圧力センサ素子13に近い一端側とグランド線Lgとの間に接続されるコンデンサC5と、信号線Loにおけるインダクタ素子L3の圧力センサ素子13から遠い他端側とグランド線Lgとの間に接続されるコンデンサC3と、を備える。【選択図】図3

56. 发明专利

JP6461566B2 内蔵較正機能を有する圧力センサ有权
公开(公告)号：JP6461566B2
公开(公告)日：2019-01-30
申请号：JP2014230684
申请日：2014-11-13
申请人：エヌエックスピーユーエスエイインコーポレイテッド , NXP USA,Inc.
发明人：チャドエスドーソン , ピーターティージョーンズ
IPC分类号： G01L9/00 , H01L29/84 , B81B3/00 , B81C1/00 , G01L27/00

58. 发明专利

JP2019007754A 圧力センサ审中-公开
公开(公告)号：JP2019007754A
公开(公告)日：2019-01-17
申请号：JP2017121120
申请日：2017-06-21
申请人：株式会社デンソー
发明人：釜鳴志朗
IPC分类号： H01L29/84 , G01L9/00
摘要：【課題】温度特性の悪化を抑制すること。【解決手段】圧力センサ(1)は、センサチップ(2)と接合層(3)と支持体(4)とを備える。支持体は、ダイアフラム(42)を有し、ダイアフラム外面(43)側にて接合層を介してセンサチップと接合されている。センサチップは、第一方向に厚さ方向を有する板状部材であって、ゲージ部(25)と一対の連通部(24)とを有する。一対の連通部は、第一方向にセンサチップを貫通する切欠部又は貫通孔であって、第一方向と直交する第二方向に配列されている。ゲージ部は、第二方向と平行で一対の連通部を通る仮想直線上にて、一対の連通部の間に設けられている。【選択図】図1

59. 发明专利

JP2018200215A 流体機械監視システム、流体機械監視装置、および流体機械監視方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018200215A
公开(公告)日：2018-12-20
申请号：JP2017104618
申请日：2017-05-26
申请人：株式会社東芝 , 東芝エネルギーシステムズ株式会社
发明人：塩田和則 , 横江晴佳 , 谷山賀浩 , 奥野研一 , 富永純一 , 見村勇樹
IPC分类号： G01P5/14 , G01L9/00
摘要：【課題】長時間運転に使用可能で、かつ、流体の圧力および流速を取得可能な流体機械監視システム、流体機械監視装置、および流体機械監視方法を提供する。【解決手段】一の実施形態によれば、流体機械監視システムは、流体機械内の流体の圧力を検出する複数の圧力センサが設けられた検出装置を備える。さらに、前記システムは、前記複数の圧力センサからの信号に基づいて、前記流体機械内の複数箇所における前記流体の圧力の計測値を算出する計測部を備える。さらに、前記システムは、前記複数箇所における前記流体の圧力の計測値に基づいて、前記流体の圧力および流速の時系列値を演算する演算部を備える。【選択図】図1

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