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    • 60. 发明专利
    • レーザー照射装置及びレーザー照射方法
    • 激光辐射器件和激光辐射方法
    • JP2016115829A
    • 2016-06-23
    • JP2014253772
    • 2014-12-16
    • 花王株式会社
    • 近藤 良彦浜本 伸二
    • B23K26/00B23K26/38A61F13/15A61F13/49A61F13/496B29C65/16H01S3/00H01S3/10
    • B29C66/83433B29C65/1648B29C65/1654B29C65/1696B29C65/7473B29C66/1122B29C66/431B29C66/723B29C66/72941B29C66/83435B29C66/137B29L2031/4878
    • 【課題】レーザー光の照射中でもエネルギーロスを生じさせることなく、レーザー光の光軸のずれを容易に検出し、光軸のずれを復旧できる照射装置を提供すること。 【解決手段】照射装置10は、レーザー光20の第1光源21と;レーザー光20と異なる波長を有する位置ずれ検出用光23を発生させる第2光源22と;位置ずれ検出用光23を反射させ、レーザー光20を透過させて、両光を同軸にする第1ダイクロイックミラー41と;位置ずれ検出用光23を反射させ、照射用レーザー光20を透過させて、照射用レーザー光20のみを最終光学ユニット43に導く第2ダイクロイックミラー42と;第2ダイクロイックミラー42で反射した位置ずれ検出用光23を受光する二次元検出器44とを備える。二次元検出器44で受光した位置ずれ検出用光23の検出位置に基づき、レーザー光20が対象物Tの照射予定位置に照射されているか否かを判断する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供能够容易地检测激光束的光轴的偏离的照射装置,即使在激光束的照射期间也不会引起能量损失,并且能够恢复光轴的偏差。解决方案:照射装置10 包括激光束20的第一光源21,产生波长不同于激光束20的波长的位置偏差检测光束23的第二光源22,用于反射位置偏差检测光束23的第一分色镜41, 激光束20,使两个光束同轴,用于反射位置偏差检测光束23的第二分色镜42,透射照射激光束20,仅将照射激光束20引入到最终的光学单元43, 二维检测器44,用于接收在第二分色镜42上反射的位置偏差检测光束23 f是由二维检测器44接收到的位置偏差检测光束23,确定对象T的计划照射位置是否已被激光束20照射。选择的图示:图1