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    • 40. 发明专利
    • Apparatus and method for surface contour measurement
    • 用于表面轮廓测量的装置和方法
    • JP2011053224A
    • 2011-03-17
    • JP2010267905
    • 2010-11-30
    • Massachusetts Inst Of Technology マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー
    • SHIRLEY LYLE
    • G01B11/00G01B11/24G01B11/25
    • G01B11/2509G01B11/2441G01B11/2527G01B11/2531
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and a method suitable for measuring three-dimensional position information of a point on the surface of an object.
      SOLUTION: In one embodiment, the method includes the following steps providing two radiation sources each of which has a spectral distribution, irradiating the surface by each of the sources to produce a first fringe pattern, moving the first fringe pattern to a second position, generating a first wrapped cycle map, estimating fringe numbers in the first fringe pattern, changing the first fringe pattern, moving a second fringe pattern to the second position, generating a second wrapped cycle map, estimating fringe numbers in the second fringe pattern, and determining position information in response to the estimated fringe numbers in the second fringe pattern and the second wrapped cycle map.
      COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
    • 要解决的问题:提供适于测量物体表面上的点的三维位置信息的装置和方法。 解决方案:在一个实施例中,该方法包括提供两个辐射源的以下步骤,每个辐射源具有光谱分布,通过每个源照射该表面以产生第一条纹图案,将第一条纹图案移动到第二条纹图案 产生第一包裹循环图,估计第一条纹图案中的条纹数,改变第一条纹图案,将第二条纹图案移动到第二位置,生成第二包裹循环图,估计第二条纹图案中的条纹数, 以及响应于所述第二条纹图案和所述第二包装循环图中的所估计的边缘编号来确定位置信息。 版权所有(C)2011,JPO&INPIT