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21. 发明专利

JP6565913B2 超音波センサー及びその製造方法有权
公开(公告)号：JP6565913B2
公开(公告)日：2019-08-28
申请号：JP2016532976
申请日：2015-07-09
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：小島力
IPC分类号： H04R31/00 , A61B8/14 , H04R17/00

22. 发明专利

JP2019110179A 圧電フィルム、圧電モジュール、及び圧電フィルムの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019110179A
公开(公告)日：2019-07-04
申请号：JP2017241520
申请日：2017-12-18
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：小島力 , 鈴木博則 , 大澤栄治 , 大橋幸司
IPC分类号： H01L41/053 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/318 , H01L41/332 , H01L41/08
摘要：【課題】圧電特性及び耐熱性が高く、かつ、可撓性が良好な圧電フィルム、圧電モジュール及び圧電フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】圧電フィルムは、可撓性の基板と、前記基板に設けられて、第一方向に沿って第一寸法の間隔をあけて配置された少なくとも2つ以上の圧電素子と、を備え、前記圧電素子は、前記基板の厚み方向に沿って、第一電極膜、無機材料からなる圧電膜、及び第二電極膜を積層することで構成され、前記基板の、前記第一方向に沿って隣り合う前記圧電素子の間の領域は、前記厚み方向に対して変位可能な振動領域を構成することを特徴とする。【選択図】図2

23. 发明专利

JP2018163899A 圧電素子及び圧電素子応用デバイス有权
公开(公告)号：JP2018163899A
公开(公告)日：2018-10-18
申请号：JP2017058613
申请日：2017-03-24
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：米村貴幸 , 小島力 , 王小興 , 一色鉄也 , 板山泰裕
IPC分类号： H01L41/09 , B41J2/16 , A61B8/14 , H04R17/00 , H01L41/187
CPC分类号： H01L41/1876 , A61B8/14 , A61B8/4427 , A61B8/4444 , A61B8/4483 , A61B8/461 , B06B1/0666 , B06B1/0692 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2202/03 , C01G25/006 , C01P2002/34 , C01P2006/40 , G01N29/245 , H01L41/042 , H01L41/0475 , H01L41/0973
摘要：【課題】格子欠陥を低減して高い圧電特性を達成することが可能な圧電素子及び圧電素子応用デバイスを提供する。【解決手段】振動板と、振動板上に形成された第1電極と、第1電極上に形成された複数の圧電体膜が積層されてなる積層体である圧電体層と、圧電体層上に形成された第2電極とを有する圧電素子であって、圧電体層は、鉛、ジルコニウム及びチタンを含んだ一般式ABO 3 で表されるペロブスカイト型の複合酸化物からなり、ペロブスカイト型の複合酸化物のBサイトに対するAサイトのモル比(A/B)が1.14以上1.22以下であり、電流時間曲線測定において、電流が減少から増加に転じる時間における電流量を緩和電流としたとき、前記緩和電流からアレニウスプロットにより算出された活性化エネルギーが0.6[eV]以下である。【選択図】図18

24. 发明专利

JP6384688B1 圧電素子及び圧電素子応用デバイス有权
公开(公告)号：JP6384688B1
公开(公告)日：2018-09-05
申请号：JP2017058613
申请日：2017-03-24
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：米村貴幸 , 小島力 , 王小興 , 一色鉄也 , 板山泰裕
IPC分类号： H01L41/09 , B41J2/16 , A61B8/14 , H04R17/00 , H01L41/187
CPC分类号： H01L41/1876 , A61B8/14 , A61B8/4427 , A61B8/4444 , A61B8/4483 , A61B8/461 , B06B1/0666 , B06B1/0692 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2202/03 , C01G25/006 , C01P2002/34 , C01P2006/40 , G01N29/245 , H01L41/042 , H01L41/0475 , H01L41/0973
摘要：【課題】格子欠陥を低減して高い圧電特性を達成することが可能な圧電素子及び圧電素子応用デバイスを提供する。【解決手段】振動板と、振動板上に形成された第1電極と、第1電極上に形成された複数の圧電体膜が積層されてなる積層体である圧電体層と、圧電体層上に形成された第2電極とを有する圧電素子であって、圧電体層は、鉛、ジルコニウム及びチタンを含んだ一般式ABO 3 で表されるペロブスカイト型の複合酸化物からなり、ペロブスカイト型の複合酸化物のBサイトに対するAサイトのモル比(A/B)が1.14以上1.22以下であり、電流時間曲線測定において、電流が減少から増加に転じる時間における電流量を緩和電流としたとき、前記緩和電流からアレニウスプロットにより算出された活性化エネルギーが0.6[eV]以下である。【選択図】図18

25. 发明专利

JP2018110360A 超音波デバイス、超音波プローブ、及び超音波装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018110360A
公开(公告)日：2018-07-12
申请号：JP2017000917
申请日：2017-01-06
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：大澤栄治 , 小島力
IPC分类号： A61B8/14 , H04R17/00
CPC分类号： A61B8/4494 , A61B5/0035 , A61B8/08 , A61B8/0833 , A61B8/13 , A61B8/15 , A61B8/4444 , A61B8/56 , B06B1/0622 , G01N2291/106
摘要：【課題】高い送受信感度の超音波デバイス、超音波プローブ、及び超音波装置を提供する。【解決手段】超音波デバイスは、開口部及び前記開口部を囲う隔壁を有する基板と、前記開口部の一端側を閉塞する振動部と、前記振動部に設けられる圧電素子と、を備え、前記開口部の開口幅寸法をW、前記基板の厚み寸法をHとした際に、W/Hが0.66〜0.92である。【選択図】図4

26. 发明专利

JP2018085612A 超音波センサー及び超音波センサー用圧電デバイス审中-公开
公开(公告)号：JP2018085612A
公开(公告)日：2018-05-31
申请号：JP2016227276
申请日：2016-11-22
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：米村貴幸 , 小島力
IPC分类号： H01L41/113 , H01L41/047 , H01L41/318 , H01L41/187 , A61B8/14 , H04R17/00
摘要：【課題】配線の配置により効率的に且つ高周波帯における電圧降下を効率的に抑制すると共に、配線抵抗を低減して感度を向上させることができ、更に超音波ビームの平滑性の向上化を図ることが可能な超音波センサー及び超音波センサー用圧電デバイスを提供する。【解決手段】超音波素子10は、第1電極14及び第2電極16の何れか一方の電極が、グループ毎に連続して第1方向に延設され、第1電極14及び第2電極16の何れか他方の電極が、第2方向に亘って連続して延設され、一方の電極は、グループの第1方向の一方側で複数の配線を連結する第1バイパス配線と連結され、他方の電極は、第2方向の両端でグループ毎に連結する第2バイパス配線と、グループの第1方向の他方側に延設されて第2バイパス配線と連結する第3バイパス配線と、超音波素子10の間で第1方向に延設されて他方の電極と第3バイパス配線とを接続する第4バイパス配線とを具備する。【選択図】図3

27. 发明专利

JP2017009567A 超音波センサー及びその製造方法审中-公开
标题翻译：超声波传感器及其制造的方法
公开(公告)号：JP2017009567A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2015132201
申请日：2015-06-30
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：小島力
IPC分类号： H04R17/00 , G01S7/521
CPC分类号： A61B8/4494 , A61B8/4427 , A61B8/4444 , H01L41/047 , H01L41/113 , H01L41/1132 , H01L41/29 , H04R17/00 , H04R31/00
摘要：【課題】素子の特性を低下させること無くインピーダンスを減少させ且つアレイ状に配置した素子から効率よく配線を引き出して信頼性を向上させた超音波センサーを提供する。【解決手段】第1電極14、圧電体層15及び第2電極16を備え、複数の超音波素子10を具備する超音波センサー1であって、複数の超音波素子10の少なくとも一部はグループ化されており、第1電極14及び第2電極16の少なくとも一方が、グループ化された超音波素子10毎に共通化されており、共通化された第1電極14及び第2電極16の一方に対してバイパス配線21が接続されており、バイパス配線21の下記α値が、バイパス配線21に接続される第1電極14又は第2電極16のα値より大きく、バイパス配線21の単位長さ当たりの電気抵抗値は、第1電極14又は第2電極16の電気抵抗値より小さいことを特徴とする。 α値=(構成材料のヤング率)×(配線又は電極の断面積) 【選択図】図6
摘要翻译：从设置在没有与一个阵列元件的超声波传感器降低了阻抗降低装置的特性被拉出高效布线，提高了可靠性。第一电极14包括一压电体层15和第二电极16，包括多个超声波元件10中，至少一些所述多个超声波元件10的组的超声波传感器1 第一电极14和第二电极16中的至少一个的存在是共同的超声波元件，每10分组，所述第一电极14中的一个和第二电极16是共同和旁路导线21被连接时，旁通管路21的下面的α值比连接到旁通管路21与第一电极14或第二电极16的α值时，所述旁通管线的单元21米的长度以电阻每的特征在于小于所述第一电极14或第二电极16的电阻。 α值=（在布线或电极的横截面面积）背景技术（结构的杨氏模量的材料制成）×6

28. 发明专利

JP2016181841A 超音波センサー及びその駆動方法审中-公开
标题翻译：超声波传感器及其驱动方法
公开(公告)号：JP2016181841A
公开(公告)日：2016-10-13
申请号：JP2015061754
申请日：2015-03-24
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：小島力
IPC分类号： H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/253 , H04R17/00
CPC分类号： H01L41/1132 , B06B1/067 , H01L41/053 , H01L41/18 , H01L41/183
摘要：【課題】超音波の送信効率や受信効率の向上を図ることができる超音波センサーを提供する。【解決手段】空間12が形成された基板10と、空間12を塞ぐように基板10上に設けられた振動板50と、振動板50上に設けられ、第1電極60、圧電体層70及び第2電極80を有する圧電素子300と、圧電素子300の周囲、又は空間12内に設けられた音響整合層13と、を具備する超音波センサー1において、振動板50は、空間12に対応する領域が、圧電素子300に電圧を印加していない状態で空間12とは反対側に凸(上凸)となる撓みを有し、圧電素子300は、圧電体層70の分極の緩和時間T1が超音波センサー1の繰り返し発信周期Tc以下である。【選択図】図6
摘要翻译：要解决的问题：提供可以提高超声波的传输效率或接收效率的超声波传感器。解决方案：超声波传感器1包括：具有形成在其中的空间12的基板10; 设置在基板10上以闭合空间12的振动板50; 设置在振动板50上并具有第一电极60，压电层70和第二电极80的压电元件300; 以及设置在压电元件300周围或空间12中的声匹配层13.振动板50在与空间12对应的区域中具有变形，在空间12的相对侧突出（向上突出），当没有电压被施加到压电元件300.在压电元件300中，压电层70的偏振弛豫时间T1等于或小于超声波传感器1的重复发送周期Tc。图示了图6

29. 发明专利

JP2016179691A 液体噴射ヘッド、圧電デバイスおよび液体噴射装置有权
标题翻译：液体喷射头，压电装置和液体喷射装置
公开(公告)号：JP2016179691A
公开(公告)日：2016-10-13
申请号：JP2016121228
申请日：2016-06-17
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：平井栄樹 , 矢崎士郎 , 角浩二 , ▲高▼部本規 , 加藤治郎 , 伊藤浩 , 清水稔弘 , 上條隆弘 , 鳥本達朗 , 小島力
IPC分类号： B41J2/14
摘要：【課題】圧電体層におけるクラック等の不良発生を防止する。【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された基板と、圧電体層と、前記圧電体層の前記基板側において前記圧力発生室に対応して形成された第1電極と、前記圧電体層の第1電極が形成された側とは逆側において複数の前記圧力発生室に亘って形成された第2電極と、を有する圧電素子と、を備える液体噴射ヘッドであって、前記第2電極は、前記圧力発生室の長手方向において前記圧力発生室の外側まで延出して形成される構成とした。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：为了防止压电层中的裂纹等缺陷的发生。液体喷射头包括：形成有与喷嘴开口连通的压力产生室的基板; 以及具有压电层的压电元件，形成在压电层的基板的一侧以对应于压力发生室的第一电极和形成在与压力发生室相对的一侧的一侧上的第二电极其中压电层的第一电极形成在多个压力产生室上，其中第二电极被构造和形成，同时在压力发生室的纵向延伸到压力发生室的外部。图示：图 2

30. 发明专利

JP2016102773A 超音波センサー及びそれを用いた測定方法並びに超音波センサーの製造方法有权
标题翻译：超声波传感器，使用其的测量方法和超声波传感器的制造方法
公开(公告)号：JP2016102773A
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：JP2014249384
申请日：2014-12-09
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：小島力 , 大橋幸司
IPC分类号： H01L41/113 , H01L41/053 , H01L41/23 , H01L41/187 , H01L41/09 , G01S7/521 , G01S15/02
摘要：【課題】超音波の伝播効率を向上させることができる超音波センサーを提供する。【解決手段】開口部Wが形成された基板10と、開口部Wを塞ぐように基板10上に設けられた振動板50と、振動板50の前記開口部とは反対側の面上に積層され、第1電極60、圧電体層70及び第2電極80を含む圧電素子300と、を具備する超音波センサー1であって、振動板50の開口部Wとは反対側の面上の、前記圧電素子の周囲の空間に、測定対象物側に発信される発信超音波とは異なる方向に発信される他の超音波が圧電素子300との界面で反射され、該発信超音波に重畳するような厚みを有する反射層71を具備することを特徴とする。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供能够提高超声波传播效率的超声波传感器。解决方案：超声波传感器1包括：形成有开口部W的基板10; 设置在基板10上以覆盖开口部W的隔膜50; 以及压电元件300，层叠在与隔膜50的开口部相反的一侧的表面上，并且包括第一电极60，压电层70和第二电极80.超声波传感器1还包括反射层71，在与压电元件300和反射层71之间的界面上反射与发送超声波的方向不同的其他超声波被发送到测量对象侧，反射层71的厚度被叠加在在隔膜50的开口部W的相对侧的表面的压电元件周围的空间内的透射超声波。图2

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