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    • 16. 发明专利
    • 検査装置および検査方法
    • 检查装置和检查方法
    • JP2016151536A
    • 2016-08-22
    • JP2015030257
    • 2015-02-19
    • 株式会社SCREENホールディングス
    • 水端 稔
    • H01L21/66G01R31/26G01M11/00
    • G01N21/3581G01N21/3563G01N21/636G01N21/9501
    • 【課題】電磁波を測定する測定系の異常を容易に検出する技術を提供すること。 【解決手段】検査装置100は、太陽電池9を検査するである。移動ステージ3は、太陽電池9を保持する保持面300を有する。ポンプ光照射部21は、保持面300へ向かう方向にポンプ光LP1を出射する。4つの基準試料部50は、保持面300の一部に設けられ、ポンプ光照射部21からのポンプ光LP1の照射に応じてテラヘルツ波を放射する。テラヘルツ波検出部23は、各基準試料50から放射されるテラヘルツ波を検出する。ステージ駆動機構31は、移動ステージ3を移動させることによって、保持面300に対するポンプ光LP11の光路を相対的に変位させる変位機構である。 【選択図】図3
    • 要解决的问题:提供一种容易地检测测量电磁波的测量系统中的异常的技术。解决方案:检查装置100检查太阳能电池9.移动台3具有用于保持太阳能电池9的保持表面300 泵浦光发射部分21朝向保持表面300的方向发射泵浦光LP1。四个参考样本部分50设置在保持表面300的一部分上,并根据来自泵的泵浦光LP1的发射辐射太赫兹波 发光部分21.太赫兹波检测部分23检测从相应的参考样本部分50辐射的太赫兹波。舞台驱动机构31是用于通过移动来将泵浦光LP11的光路相对移位到保持表面300的位移机构 运动阶段3.选择图:图3