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    • 14. 发明专利
    • 光源装置
    • 光源设备
    • JP2015111515A
    • 2015-06-18
    • JP2013253264
    • 2013-12-06
    • 浜松ホトニクス株式会社
    • 浅井 昭典福満 憲志
    • H01J65/00
    • 【課題】筐体内でのスパッタリングを抑制し、十分な長寿命化が図られる光源装置を提供する。 【解決手段】この光源装置1では、制御部は、レーザ支持光維持時の対向電極13,13間におけるレーザ光Lのエネルギー密度をレーザ支持光点灯時の対向電極13,13間におけるレーザ光Lのエネルギー密度に対して低くしている。そのため、レーザ支持光維持時には、対向電極13,13間におけるプラズマの発生をスパッタリングが生じない程度に抑制できる。したがって、この光源装置1では、発光封体11内でのスパッタリングを抑制できるため、十分な長寿命化が図られる。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种可以抑制壳体中的溅射并允许足够长的寿命的光源装置。解决方案:在光源装置1中,控制单元控制对置电极13之间的激光束L的能量密度 并且当激光支撑梁被接通时,激光支撑梁被保持为低于对置电极13和13之间的激光束L的能量密度。 结果,当保持激光束支持的光束时,在相对电极13和13之间产生等离子体可以被抑制到不会引起溅射的程度。 因此,由于能够抑制发射密封体11内部的溅射,因此光源装置1能够使寿命充分。