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    • 15. 发明专利
    • プローブの製造方法、プローブ、プローブ積層体、プローブ組立体およびプローブ組立体の製造方法
    • 用于制备探针,探针,探针层压板,一种制造探针组件和探头组件的方法方法
    • JP2017003436A
    • 2017-01-05
    • JP2015117863
    • 2015-06-10
    • 株式会社日本マイクロニクス
    • 津國 和之清藤 英博深見 美行小田部 昇
    • G01R1/073H01L21/66G01R1/067
    • 【課題】多数のプローブのそれぞれについてのプローブ基板上での針立て作業を不要とするプローブの製造方法を提供する。 【解決手段】プローブの製造方法は、(A1)基板上に剥離層を形成する工程、(A2)剥離層上の一部の領域に固定層を形成する工程、(A3)剥離層上に固定層と同層に犠牲層を形成することによりベース層を形成する工程、(A4)ベース層上に複数のプローブを形成してプローブ層を形成し、プローブ連結体を形成する工程、並びに(A5)プローブ連結体を基板から取り外す工程をこの順で複数回繰り返し、プローブ連結体を複数製造する第1の工程と、複数のプローブ連結体を積み重ね第1のプローブ積層体を製造する第2の工程と、第1のプローブ積層体から犠牲層を除去することにより第2のプローブ積層体を形成する第3の工程とを有し、互いに離間配置された複数のプローブを形成する。 【選択図】図4
    • 与基板每个探针上的探针工作大量Haritate的用于制造探针不必要的方法。 一种用于制造探针的方法,(A1)在基材上形成的剥离层的工序,(A2),形成在剥离层上的部分区域的固定层,固定在(A3)的剥离层 形成通过形成上层的牺牲层和相同的层,其形成探针层的基材层,以形成多个探针(A4)基体层,以形成探针连接体,以及步骤的处理(A5 )重复多次从基板以该顺序除去探针耦合体的步骤,从而产生多个制造的第一步骤的探针耦合体的第二步骤中,第一探针层压堆叠多个探针的连接体 时,以及通过从所述第一探针堆去除牺牲层,以形成多个彼此间隔开的探针形成第二探针层叠体的第三步骤。 点域4
    • 16. 发明专利
    • 検査装置および検査方法
    • 检查装置和检查方法
    • JP2015078955A
    • 2015-04-23
    • JP2013217515
    • 2013-10-18
    • 株式会社日本マイクロニクス
    • 深見 美行
    • H05K3/00G01R31/28G01R31/02
    • G01R31/041G01R31/2805G01R31/2812H05K1/0268G01R31/026H05K1/0306H05K1/117H05K2201/09845H05K3/4605
    • 【課題】被検査体の配線の電気容量が小さい場合であっても、電気容量の測定により被検査体の検査をすることができる検査装置および検査方法を提供する。 【解決手段】検査装置1は、絶縁性材料からなる基板2と、基板2の表面から一部が露出して接続部を構成するように基板2中に設けられた電気容量電極3と、基板2中に設けられた共通電極4とを有する。電気容量電極3および共通電極4は、互いに平行となる部分を有して離間配置され、電気的に絶縁するように構成される。検査装置1は、基体102とそれを貫通する配線103とを有する被検査体の配線基板101に組み合わされて、配線103の一方の端部と電気容量電極3の接続部とを接続した後、配線103のもう一方の端部と共通電極4との間の電気容量を測定し、配線基板101を検査する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种检查装置和检查方法,即使在检查对象的布线具有低电容的情况下也允许通过测量电容来检查检查对象。解决方案:检查装置1包括基板 2,设置在基板2中以从基板2的表面部分地露出以构成连接部的电容电极3以及设置在基板2中的公共电极4.电容电极3 并且公共电极4具有彼此平行的部分,并且彼此分开设置并且被构造成彼此电绝缘。 检查装置1与包括基板102和贯通基板102的布线103的检查对象的布线基板101组合,并且布线103的一端部和电容电极3的连接部分连接,然后将 测量布线103的另一端部与公共电极4之间的电容,由此对配线基板101进行检查。