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    • 11. 发明专利
    • 物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体
    • 物理量传感器,压力传感器,高精度计,电子设备和移动物体
    • JP2016031278A
    • 2016-03-07
    • JP2014153665
    • 2014-07-29
    • セイコーエプソン株式会社
    • 林 和也
    • H01L29/84G01L9/00
    • 【課題】優れた検出感度を有する物理量センサーを提供すること、また、かかる物理量センサーを備える圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること。 【解決手段】本発明の物理量センサー1は、一方の面に開口している凹部24を有する基板2と、凹部24の底部を含んでいて、受圧により撓み変形するダイヤフラム部20と、ダイヤフラム部20に配置されているピエゾ抵抗素子5と、基板2の他方の面側でダイヤフラム部20の外周に沿って配置されていて、ダイヤフラム部20に対してダイヤフラム部20の厚さ方向に凹部24の深さdよりも小さい高さhで突出している段差部30と、を備える。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供具有优异的检测灵敏度的物理量传感器,并提供设置有物理量传感器的压力传感器,高度计,电子设备和移动物体。解决方案:物理量传感器1 包括:基板2,其包括在一个面上开口的凹部24;隔膜部20,其包括凹部24的底部并且通过接受压力而挠曲变形;压阻元件5,布置在隔膜部分中 以及台阶部30,其沿着膜部20的周边配置在基板2的另一面上,并且在隔膜部20的厚度方向上从隔膜部20突出小于 凹入部分24的深度d。选择的图示:图1
    • 13. 发明专利
    • 電子デバイス、物理量センサー、圧力センサー、振動子、高度計、電子機器および移動体
    • 电子设备,物理量传感器,压力传感器,振动器,高度计,电子设备和移动体
    • JP2016102768A
    • 2016-06-02
    • JP2014242323
    • 2014-11-28
    • セイコーエプソン株式会社
    • 林 和也
    • H01L29/84H03H9/24G01L9/00
    • G01L9/0054G01C5/06G01L9/0019G01L9/0048
    • 【課題】優れた信頼性を有する電子デバイスおよび物理量センサーを提供すること、また、かかる電子デバイスを備える圧力センサー、振動子、高度計、電子機器および移動体を提供すること。 【解決手段】本発明の物理量センサー1は、基板2と、基板2の一方の面側に配置されているピエゾ抵抗素子5と、基板2の一方の面側に基板2の平面視でピエゾ抵抗素子5を囲んで配置されている壁部と、壁部に対して基板2とは反対側に配置されていて空洞部Sを壁部とともに構成している天井部と、天井部の基板2側に配置されていて、天井部よりも熱膨張率の小さい材料を含む内側梁部644と、を備える。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供具有优异的可靠性的电子设备和物理量传感器,并且提供一种压力传感器,振动器,高度计,电子设备和包括电子设备的移动体。解决方案:物理量传感器 本发明的第一实施例包括基板2,设置在基板2的一个表面侧的压阻元件5,设置在基板2的一个表面侧上并且在基板2的平面图中包围压阻元件5的壁 ,设置在与基板2相对的壁的相对侧并与壁一起构成空腔S的天花板以及设置在天花板的基板2侧的内梁644,其包括具有较小热膨胀系数的材料 比上限。图1
    • 14. 发明专利
    • 物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体
    • 物理量传感器,压力传感器,高精度计,电子设备和移动体
    • JP2016040521A
    • 2016-03-24
    • JP2014164066
    • 2014-08-12
    • セイコーエプソン株式会社
    • 林 和也永松 昌一竹内 淳一衣川 拓也
    • G01C5/06H01L29/84G01L9/00
    • G01L9/0042G01C5/06G01L9/0054G01L19/147
    • 【課題】優れた温度特性を有する物理量センサーを提供すること、また、かかる物理量センサーを備える圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること。 【解決手段】本発明の物理量センサー1は、一方の面に開口している凹部24を有する基板2と、凹部24の底部を含んでいて、受圧により撓み変形するダイヤフラム部20と、ダイヤフラム部20に配置されているピエゾ抵抗素子5と、空洞部Sを介してダイヤフラム部20に対向している被覆層641と、基板2と被覆層641との間に配置されていて、基板2および被覆層641とともに空洞部Sを構成している配線層62、64と、を備え、配線層62、64が金属を含んで構成され、平面視において、凹部24の底部の外周縁241は、配線層62の内壁面の基板2側の端621よりもダイヤフラム部20の中心側に位置している。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供具有优异的温度特性的物理量传感器,并提供包括物理量传感器的压力传感器,高度计,电子设备和移动体。解决方案:本发明的物理量传感器1 包括:具有在基板的一个表面上开口的凹部24的基板2; 隔膜20,其包括凹部24的底部并且承受变形和变形的压力; 设置在隔膜20上的压阻元件5; 经由空腔S与隔膜20相对的涂层641; 以及布置在基板2和涂层641之间并与基板2和涂层641一起构成空腔S的布线层62,64。布线层62,64包括金属。 在平面图中,凹部24的底部的外周缘241位于比布线层62的内壁的基板2侧的端部621更靠近隔膜20的中心的位置。图示:图 1