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    • 15. 发明专利
    • Method and apparatus for forming solar cells with selective emitters
    • 用于形成具有选择性发射体的太阳能电池的方法和装置
    • JP2013089962A
    • 2013-05-13
    • JP2012227009
    • 2012-10-12
    • Applied Materials Italia S R Lアプライド マテリアルズ イタリア エス. アール. エル.
    • TODD EGANBUDDIALD EDWARD
    • H01L31/04
    • H01L31/068H01L31/022425H01L31/1804Y02E10/547Y02P70/521
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and apparatus for forming solar cells with selective emitters.SOLUTION: Methods and apparatus are provided for forming solar cells with selective emitters. A method includes positioning a substrate on a substrate receiving surface. The substrate has a surface comprising a first patterned heavily doped region having a first dopant concentration that defines the selective emitters, and a second doped emitter region having a second dopant concentration that is less than the first dopant concentration and surrounding the first patterned heavily doped region. The method further comprises: determining a position of the first patterned heavily doped region by using a Fourier transform to process a filtered optical image; aligning one or more distinctive elements in a screen printing mask with the first patterned heavily doped region by using information received from the determined position of the first patterned heavily doped region; and depositing a layer of material on a portion of the first patterned heavily doped region.
    • 要解决的问题:提供一种用选择性发射体形成太阳能电池的方法和装置。 解决方案:提供了用于用选择性发射体形成太阳能电池的方法和装置。 一种方法包括将衬底定位在衬底接收表面上。 衬底具有表面,其包括具有限定选择性发射极的第一掺杂剂浓度的第一图案化重掺杂区域和具有小于第一掺杂剂浓度的第二掺杂剂浓度的第二掺杂发射区,并且包围第一图案化重掺杂区域 。 该方法还包括:通过使用傅里叶变换来确定第一图案化重掺杂区域的位置以处理滤波后的光学图像; 通过使用从第一图案化重掺杂区域的确定位置接收的信息将丝网印刷掩模中的一个或多个不同元素与第一图案化重掺杂区域对准; 以及在所述第一图案化重掺杂区域的一部分上沉积材料层。 版权所有(C)2013,JPO&INPIT