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    • 93. 发明专利
    • 研磨パッド及び研磨パッドの製造方法
    • 抛光垫和制造抛光垫的方法
    • JP2016140938A
    • 2016-08-08
    • JP2015017694
    • 2015-01-30
    • 富士紡ホールディングス株式会社
    • 佐伯 卓前田 敏秀
    • B24B37/22B24D3/00H01L21/304B24D11/00
    • 【課題】空隙を有する材料からなる基材に研磨砥粒を付着させた研磨パッドの製造に於いて、不織布に砥粒を分散させたバインダーを含浸させると砥粒の多くが沈み込んでしまい研磨効率が悪化する。研磨面に多くの砥粒が存在し、研磨効率に優れる研磨パッド及びその製造方法を提供する。 【解決手段】研磨パッド10は、基材11と、研磨層12とを具備する。基材は、合成樹脂112が含浸された不織布で、空隙を有する。研磨層は、硬化性樹脂121と砥粒122を含む砥粒含有溶液が基材に塗布され、硬化性樹脂が硬化して形成される。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:为了提供一种解决这样一个问题的抛光垫及其制造方法,即在研磨磨料的制造中,抛光磨粒粘附在由具有空隙的材料形成的基材上时, 用粘合剂浸渍编织物,其中磨粒分散在其中,许多颗粒导致沉没,并且抛光效率劣化; 并且在研磨表面中存在很多磨粒,并且抛光效率优异。抛光垫10具有基材11和抛光层12.基材是浸渍有合成树脂112的无纺布 ,并有空白。 抛光层通过将含有可固化树脂121和磨料颗粒122的含磨料颗粒溶液施加到基材上并固化可固化树脂而形成。图2
    • 98. 发明专利
    • 保持具及びその製造方法
    • 夹具及其制造方法
    • JP2016068189A
    • 2016-05-09
    • JP2014199669
    • 2014-09-30
    • 富士紡ホールディングス株式会社
    • 兵頭 栄利古賀 良佐藤 孝太
    • H01L21/304B24B37/30
    • 【課題】保持パッドと枠材とを一体保持する基材と、保持パッドとの間に空気が入り込むことを防止することができる保持具、及びその製造方法を提供する。 【解決手段】保持具は、保持面を有する平板状の保持パッド15を準備し、該保持面とは反対側の面に、当該面と同一形状を有し、保持パッド15よりも硬質な第一基材21を貼り付け、第一基材21が貼り付けられた保持パッド15を、環状の枠材17内に配置し、第二基材23を枠材17、及び保持パッド15に貼り付けられた第一基材21に貼り付けることにより枠材17及び保持パッド15を一体保持したことを特徴とする。 【選択図】図3
    • 要解决的问题:提供一种能够防止空气进入一体地保持保持垫和框架材料的基材与保持垫之间的保持工具及其制造方法。保持工具的特征在于, 准备具有保持面的平板保持垫15,具有与保持面相反并且比保持垫15更硬的表面的形状相同形状的第一基材21粘贴在表面上,保持垫15 第一基板材料21已经被卡住放置在环形框架材料17中,并且第二基材23粘贴到框架材料17上,并且第一基材21粘贴到保持垫15以一体地保持框架材料17和 保持垫15.SELECTED图:图3
    • 99. 发明专利
    • 研磨パッド及びその製造方法
    • 磨料垫及其制造方法
    • JP2015199144A
    • 2015-11-12
    • JP2014077968
    • 2014-04-04
    • 富士紡ホールディングス株式会社
    • 宮坂 博仁立野 哲平喜樂 香枝松岡 立馬佐伯 卓
    • H01L21/304B24B37/24
    • 【課題】被研磨物のディフェクトの発生を著しく低減できる研磨パッド、研磨安定性に優れた研磨パッド及びそれらの製造方法を提供する。 【解決手段】一態様によれば、温度40〜50℃で2.5psi(17kPa)を超える圧力を負荷したとき、負の熱膨張を示す発泡ウレタンシートを研磨パッドに用いる。前記発泡ウレタンシートは、温度40〜50℃で1.0psi(6.9kPa)未満の圧力を負荷したとき、正の熱膨張を示すのが好ましい。また、別の態様によれば、1.0〜2.5psiの圧力を負荷したとき、45〜150μm/psiの歪定数を有する発泡ウレタンシートを研磨パッドに用いる。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供能够显着减少抛光对象的缺陷的发生的研磨垫,抛光稳定性优异的研磨垫及其制造方法。根据一个实施例,聚氨酯泡沫 在40-50℃的温度下加载超过2.5psi(17kPa)的压力时,显示出负热膨胀的片材用于研磨垫。 当在40-50℃的温度下加载小于1.0psi(6.9kPa)的压力时,聚氨酯泡沫板优选显示出正的热膨胀。 根据另一个实施方案,当加载1.0-2.5psi的压力时,具有45-150μm/ psi的应变常数的聚氨酯泡沫片用于研磨垫。