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1. 发明公开

EP4449489A1 HEXAPOD-BASED PEDESTAL SYSTEMS FOR USE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING OPERATIONS 审中-实审
公开(公告)号：EP4449489A1
公开(公告)日：2024-10-23
申请号：EP22908602.0
申请日：2022-12-12
申请人： Lam Research Corporation
发明人： HIESTER, Jacob Lee , GALGINAITIS, Jason Gordon , BLANK, Richard M
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/68792 , H01L21/68764 , H01L21/67748 , H01L21/68742

2. 发明授权

EP3992745B1 TRAVELLING VEHICLE SYSTEM, AND TRAVELLING VEHICLE CONTROL METHOD 有权
公开(公告)号：EP3992745B1
公开(公告)日：2024-10-16
申请号：EP20832344.4
申请日：2020-05-08
IPC分类号： G05D1/00 , H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67727 , H01L21/67276 , H01L21/67733 , H01L21/67724 , G05D1/0297

3. 发明公开

EP4421853A1 PROCESS CHAMBER, SEMICONDUCTOR PROCESS DEVICE, AND SEMICONDUCTOR PROCESS METHOD 审中-实审
公开(公告)号：EP4421853A1
公开(公告)日：2024-08-28
申请号：EP22882729.1
申请日：2022-10-13
申请人： Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
发明人： CHI, Wenkai , WANG, Yongfei
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/683
摘要： The present disclosure provides a processing chamber applied to semiconductor processing equipment, including a transfer chamber and a plurality of reaction chambers above the transfer chamber. The plurality of reaction chambers are all communicatively connected to the transfer chamber through bottom openings. A plurality of bases can ascend and descend between the reaction chambers and the transfer chamber. The processing chamber further includes a transfer mechanism and a carrier mechanism arranged in the transfer chamber. The transfer mechanism is configured to transfer wafers from outside the processing chamber to the carrier mechanism or onto the plurality of bases, and to transfer the wafers on the plurality of bases out of the processing chamber. The carrier mechanism is configured to carry the plurality of wafers and can transfer the plurality of wafers carried by the carrier mechanism onto the plurality of bases. In the present disclosure, the transfer mechanism can first transfer a next batch of wafers onto the carrier mechanism, and the carrier mechanism transfers the wafers carried by the carrier mechanism onto the bases after the semiconductor processing is completed, which saves wafer transfer time. The present disclosure also provides the semiconductor processing equipment and a semiconductor processing method.

4. 发明授权

EP4023571B1 TRAVELING VEHICLE SYSTEM 有权
公开(公告)号：EP4023571B1
公开(公告)日：2024-08-28
申请号：EP20858030.8
申请日：2020-07-01
IPC分类号： B65G1/04 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67733 , H01L21/67727 , H01L21/67706

5. 发明授权

EP4084047B1 IC CHIP-MOUNTING DEVICE AND IC CHIP-MOUNTING METHOD 有权
公开(公告)号：EP4084047B1
公开(公告)日：2024-08-21
申请号：EP20905882.5
申请日：2020-12-25
IPC分类号： H01L21/60 , H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/683 , H01L23/00 , G06K19/077
CPC分类号： G06K19/07718 , H01L24/75 , H01L21/6836 , H01L2221/6831320130101 , H01L21/6838 , H01L21/67132 , H01L21/67706 , H01L21/67721 , H01L21/67259 , H01L21/67115

6. 发明公开

EP4411795A1 PRODUKTIONSSYSTEM 审中-公开
公开(公告)号：EP4411795A1
公开(公告)日：2024-08-07
申请号：EP23154950.2
申请日：2023-02-03
申请人： Siemens Aktiengesellschaft
发明人： Übler, Wolfgang
IPC分类号： H01L21/677 , B65G1/04
CPC分类号： G05B2219/3227720130101 , G05B2219/5039320130101 , G05B19/41895 , G05B19/41865 , G05B2219/3100920130101 , G05B2219/5039220130101 , H01L21/67733 , B65G1/0464
摘要： Um bei einem Produktionssystem (1) mit Produktionsstationen (11,12,13), welche auf der Produktionsfläche (2) angeordnet sind, die Gehwege (2) freizuhalten, wird vorgeschlagen über der Produktionsfläche (2) ein Schienensystem (40) anzuordnen, wobei das Schienensystem (40) einen ersten Satz paralleler Schienen (41) und einen zweiten Satz paralleler Schienen (42) aufweist, welcher senkrecht zu dem ersten Satz paralleler Schienen (41) angeordnet ist, und durch diese Anordnung der Schienen (41,42) Öffnungen (0) vorhanden sind und die Öffnungen (0) deckungsgleich mit den Planrechtecken (A1,...,K21) angeordnet sind, wobei auf dem Schienensystem (40) Transportroboter (TR1) angeordnet sind, die Transportroboter (TR1) weisen eine Fahreinheit (FE) und eine Transporteinheit (TE) auf, die Fahreinheit (FE) ist ausgestaltet sich parallel zum Schienensystem (40) sowohl in einer x-Richtung als auch in einer y-Richtung zu bewegen, die Transporteinheit (TE) ist ausgestaltet mit einem Hebezeug (HZ) zum Transportieren von Materialbehältern (MB), wobei die Fahreinheit (FE) ein Planrechteck (A1,...,K21) abdeckt und das Hebezeug (HZ) der Transporteinheit (TE) ausgestaltet ist einen Materialbehälter (MB) durch eine Öffnung (0), auf einen Transportbehälterbereich (31,32,33) abzusenken bzw. von dem Transportbehälterbereich (31,32,33) zu heben.

7. 发明公开

EP4411793A1 LATERAL TRANSFER DEVICE, AIR TRANSPORT APPARATUS, AND AUTOMATIC MATERIAL HANDLING SYSTEM 审中-实审
公开(公告)号：EP4411793A1
公开(公告)日：2024-08-07
申请号：EP22875188.9
申请日：2022-09-30
申请人： Meetfuture Technology (Shanghai) Co., Ltd.
发明人： DU, Baobao , MIAO, Feng
IPC分类号： H01L21/677 , B65G35/00 , B65G43/08 , B65G47/24 , B65G39/18
CPC分类号： B65G47/24 , B65G39/18 , H01L21/677 , B65G43/08 , B65G35/00
摘要： A transversing loading device, an overhead hoist vehicle, and an automatic material handling system applied in the technical field of automatic control are provided according to the present application. The transversing loading device includes a picking-up and fixing mechanism fixedly connected to the travelling base plate (6) of the overhead hoist vehicle, and a horizontal adjusting mechanism installed on a lower surface of the picking-up and fixing mechanism. The horizontal adjusting mechanism includes a synchronous adjusting mechanism and a sliding mechanism, the synchronous adjusting mechanism is arranged on a side surface of the sliding mechanism and is configured to slidably adjust the sliding mechanism to a predetermined horizontal position relative to the travelling base plate (6) along a first direction. The first direction is a horizontal direction perpendicular to the side surface, and the predetermined horizontal position is a position above a target object to be handled. With the horizontal adjusting mechanism, the components in the overhead hoist vehicle can be quickly and accurately adjusted to a position directly above the target object to be handled, which can improve the production efficiency of the product and better meet the needs of the factory.

8. 发明公开

EP4399570A1 RETICLE POD HAVING LATCH INCLUDING RAMPED SURFACE 审中-实审
公开(公告)号：EP4399570A1
公开(公告)日：2024-07-17
申请号：EP22868052.6
申请日：2022-09-08
申请人： Entegris, Inc.
发明人： RASCHKE, Russ V. , ELWELL, Caleb , REBER, Matthew
IPC分类号： G03F1/66 , G03F7/20 , H01L21/673 , H01L21/677
CPC分类号： G03F1/66 , G03F7/70741

9. 发明公开

EP4385065A1 SUBSTRATE PREPARATION CHAMBER WITH SUBSTRATE POSITIONING FEATURES 审中-实审
公开(公告)号：EP4385065A1
公开(公告)日：2024-06-19
申请号：EP22856724.4
申请日：2022-08-01
申请人： Kateeva, Inc.
发明人： NORDHOFF, Karl Andrew , KO, Alexander Sou-Kang , BUCHNER, Christopher
IPC分类号： H01L21/677 , H10K99/00 , C23C14/56
CPC分类号： B41J11/0015 , B41J3/407 , B41J11/002 , B41J11/00214

10. 发明公开

EP4376059A1 ENTLADEEINRICHTUNG FÜR EIN SUBSTRATMAGAZIN, SUBSTRATMAGAZINSYSTEM 审中-公开
公开(公告)号：EP4376059A1
公开(公告)日：2024-05-29
申请号：EP23208661.1
申请日：2023-11-08
申请人： ASYS Automatisierungssysteme GmbH
发明人： Glaß, Markus , Matthias, Baiker , Strehl, Alexander
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67778
摘要： Die Erfindung betrifft eine Entladeeinrichtung (6) für ein Substratmagazin (3,4,5), wobei das Substratmagazin (3,4,5) mehrere Schubfächer (7) aufweist, in welchen Substrate zur Lagerung oder Zwischenlagerung anordenbar sind, mit zumindest einem ansteuerbaren Transportband (25), auf welchem Substrate ablegbar sind, und mit zumindest einem ansteuerbaren Greifarm (10), der dazu ausgebildet ist, zumindest ein Substrat aus einem Schubfach des Substratmagazins zu dem Transportband (25) herauszuschieben, wobei das Transportband (25) und der Greifarm (10) an einem gemeinsamen und beweglich gelagerten Träger (8) angeordnet sind, wobei der Greifarm (10) zumindest in einer Ausgangsstellung unterhalb des Transportbands (25) angeordnet ist, um zumindest ein Substrat von unten zum Herausschieben zu greifen. Es ist vorgesehen, dass der Greifarm (10) dazu ausgebildet ist, einen Substratstapel (29) mit mehrere aufeinanderliegenden Substraten (30_1-30_5) aus einem der Schubfächer (7) oberhalb des Transportbandes (25) herzauszuschieben, dass oberhalb des Transportbandes (25) eine Vereinzelungseinrichtung (15) angeordnet ist, in welche der Substratstapel (29) durch den Greifarm (10) einschiebbar ist, und dass die Vereinzelungseinrichtung (15) dazu ausgebildet ist, das unterste Substrat (30_5) des Substratstapels (29) von dem Substratstapel (29) zu lösen und auf das darunterliegende Transportband (25) abzulegen.

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