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1. 发明公开

EP0095384A3 Vacuum deposition apparatus 失效
标题翻译：真空沉积装置
公开(公告)号：EP0095384A3
公开(公告)日：1984-12-27
申请号：EP83303014
申请日：1983-05-25
申请人： KONISHIROKU PHOTO INDUSTRY CO. LTD.
发明人： Shindo, Masanari , Sato, Shigeru , Mano, Shigeru
IPC分类号： C23C13/08
CPC分类号： C23C14/32 , C23C14/0021
摘要： The invention provides vaccum deposition apparatus including a chamber (3), a vapor source (2), a deposition substrate (1) opposite to the vapor source (2) and an inlet (6) for a modifying gas, wherein in use the vapor source (2) is heated in the presence of a modifying gas to be deposited onto the substrate, characterized by an electron-beam supplying device (10,40) for emitting an electron-beam toward the substrate (1). The supply of electrons ionizes the gas only near the film surface being deposited thus allowing more even introduction.

2. 发明授权

EP0043248B1 Process for the bulk production of alloys and apparatus therefor 失效
标题翻译：大量生产合金及其设备的工艺
公开(公告)号：EP0043248B1
公开(公告)日：1984-05-30
申请号：EP81302876.8
申请日：1981-06-25
申请人： Secretary of State for Defence in Her Britannic Majesty's Gov. of the United Kingdom of Great Britain and Northern Ireland
发明人： Bickerdike, Robert Lewis
IPC分类号： C23C13/02 , C23C13/08
CPC分类号： C23C14/0005

3. 发明公开

EP0095384A2 Vacuum deposition apparatus 失效
标题翻译： Vorrichtungfüreine Vakuumbeschichtung。
公开(公告)号：EP0095384A2
公开(公告)日：1983-11-30
申请号：EP83303014.1
申请日：1983-05-25
申请人： KONICA CORPORATION
发明人： Shindo, Masanari , Sato, Shigeru , Mano, Shigeru
IPC分类号： C23C13/08
CPC分类号： C23C14/32 , C23C14/0021
摘要： The invention provides vaccum deposition apparatus including a chamber (3), a vapor source (2), a deposition substrate (1) opposite to the vapor source (2) and an inlet (6) for a modifying gas, wherein in use the vapor source (2) is heated in the presence of a modifying gas to be deposited onto the substrate, characterized by an electron-beam supplying device (10,40) for emitting an electron-beam toward the substrate (1). The supply of electrons ionizes the gas only near the film surface being deposited thus allowing more even introduction.
摘要翻译：本发明提供了真空沉积设备，其包括室（3），蒸汽源（2），与蒸汽源（2）相对的沉积基板（1）和用于改性气体的入口（6），其中在使用中蒸气源（2）在要沉积到衬底上的改性气体的存在下加热，其特征在于用于向衬底（1）发射电子束的电子束供给装置（10,40）。电子的供应仅使沉积的膜表面附近的气体电离，从而允许更均匀的引入。

4. 发明授权

EP0033793B1 Method of forming a glass spacer in the magnetic gap of a magnetic head 失效
标题翻译：在磁头的磁隙中形成玻璃间隔的方法
公开(公告)号：EP0033793B1
公开(公告)日：1984-05-09
申请号：EP80300369.8
申请日：1980-02-07
申请人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人： Wasa, Kiyotaka , Tohda, Takao , Yokoyama, Kazuo , Hirota, Eiichi , Hayakawa, Shigeru
IPC分类号： G11B5/42 , C23C13/08
CPC分类号： C23C14/044 , C23C14/547 , G11B5/232 , G11B5/235 , Y10T29/49057

5. 发明公开

EP0082654A1 Apparatus for and a method of coating a length of material 失效
标题翻译： Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten einer langen Materialstrecke。
公开(公告)号：EP0082654A1
公开(公告)日：1983-06-29
申请号：EP82306626.1
申请日：1982-12-13
申请人： GENERAL ENGINEERING RADCLIFFE 1979 LIMITED
发明人： Sugden, George Barry
IPC分类号： C23C13/08 , C23C13/10 , C23C13/02
CPC分类号： C23C14/547 , C23C14/562 , G01N21/8903
摘要： An apparatus for coating a web (W) comprises a vacuum chamber (1) housing a metal vapour source (2) adjacent a driven water cooled process drum (5). The web (W) is drawn over the drum (5) during operating and deposition of metal on the web (W) is monitored and controlled. The monitor (6) may comprise transmitters (T1 to T10) and receivers (C1 to C10) disposed on opposite sides respectively of the web (W) or transmitters (T1 to T10) and receivers (C1 to C10) on the same side of the web (W). The first arrangement works on a signal transmitted through the web (W) and the second on a signal reflected from the web (W). Received transmitted or reflected signals are used to vary process variables to achieve desired coating thicknesses.
摘要翻译：用于涂布纸幅（W）的装置包括容纳邻近驱动水冷处理鼓（5）的金属蒸气源（2）的真空室（1）。在操作期间将卷材（W）拉过滚筒（5），并且监测和控制卷材（W）上的金属沉积。监视器（6）可以包括分别布置在卷筒纸（W）或发送器（T1至T10）的相对侧的发送器（T1至T10）和接收器（C1至C10），并且接收（C1至C10）网（W）。第一种布置工作在通过卷筒纸（W）传输的信号上，第二布置工作在从纸幅（W）反射的信号上。接收的透射或反射信号用于改变工艺变量以达到所需的涂层厚度。

6. 发明公开

EP0033793A1 Method of forming a glass spacer in the magnetic gap of a magnetic head 失效
标题翻译：形成磁头的磁隙内的玻璃间隔件的方法。
公开(公告)号：EP0033793A1
公开(公告)日：1981-08-19
申请号：EP80300369.8
申请日：1980-02-07
申请人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人： Wasa, Kiyotaka , Tohda, Takao , Yokoyama, Kazuo , Hirota, Eiichi , Hayakawa, Shigeru
IPC分类号： G11B5/42 , C23C13/08
CPC分类号： C23C14/044 , C23C14/547 , G11B5/232 , G11B5/235 , Y10T29/49057
摘要： in a method of making a magnetic gap by depositing a glass layer on a surface of a magnetic head element by cathodic sputtering of a glass target and cementing the resulting glass-coated magnetic head element to a similar element or an uncoated magnetic head element, the thickness of the sputtered glass layer is monitored by an interference of a light beam (31) guided on a surface of the magnetic head element (32) during deposition, using a sputtering apparatus having a sample holder (33) beside the sputtering target for securing the magnetic head element (32) and a mask plate (37) for achieving uniform thickness of sputtered glass layer(s). The magnetic head produced has excellent electromagnetic conversion characteristics and high accuracy.

7. 发明授权

EP0045057B1 Vorrichtung zur Halterung von kreisförmigen Substratscheiben 有权
标题翻译：用于保持盘形基板的装置
公开(公告)号：EP0045057B1
公开(公告)日：1984-10-31
申请号：EP81105802.3
申请日：1981-07-22
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Bonu, Bonu, Dipl.-Ing.
IPC分类号： H01L21/68 , C23C13/08
CPC分类号： H01L21/68764 , C23C14/50 , H01L21/68771

8. 发明公开

EP0041083A1 Method of making a thin film 失效
标题翻译：韦尔法罕zur Herstellung einesDünnfilms。
公开(公告)号：EP0041083A1
公开(公告)日：1981-12-09
申请号：EP80301798.7
申请日：1980-05-30
申请人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人： Ohji, Kenzo , Yamazaki, Osamu , Wasa, Kiyotaka , Hayakawa, Shigeru
IPC分类号： C23C13/08 , C23C15/00
CPC分类号： C23C14/044 , C23C14/22 , H05K3/143
摘要： A method of making a thin film by vapor depositing a source material onto a substrate, in which a mask plate is provided between the source material and the substrate at a location such thatd
摘要翻译：一种通过将源材料气相沉积到衬底上制造薄膜的方法，其中在源材料和衬底之间设置掩模板，使得d <5l，其中d表示掩模板衬底和l表示蒸发颗粒的平均自由程，或者s

9. 发明公开

EP0008807A1 Vorrichtung und Verfahren zum diskontinuierlichen oder kontinuierlichen thermischen Bedampfen von Formteilen oder Bandmaterial 失效
标题翻译：设备和用于间歇或模制品或带材的连续热蒸发的方法。
公开(公告)号：EP0008807A1
公开(公告)日：1980-03-19
申请号：EP79103388.9
申请日：1979-09-11
申请人： Elektroschmelzwerk Kempten GmbH
发明人： de Rudnay, André, Dr.
IPC分类号： C23C13/08
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/562
摘要： Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung für diskontinuierlich betriebene HV-Aufdampfanlagen zum thermischen Bedampfen von Formteilen aus Kunststoff, Metall oder Glas oder für kontinuierlich betriebene Bandbedampfungsanlagen zum Beschichten von Bandmaterial, wie Kunststoffolien, Papierbahnen oder Textilien, mit beispielsweise Aluminium. Innerhalb des Hauptvakuumbehälters mit den zu bedampfenden Formteilen oder dem Bandmaterial ist ein zweiter Behälter (4) angeordnet, in dem die Verdampfer (11 montiert sind, der unabhängig vom Hauptbehälter vakuumdicht verschliessbar ist (6). Diese Vorrichtung ist für den Einsatz von Verdampfern aus Sinterkeramik besonders geeignet.
摘要翻译：在用于分批气相沉积的装置的范围内对物品的热沉积由塑料，金属或玻璃或连续气相沉积的范围用于涂覆的条带材料，颜色：如塑料，纸幅或织物，具有例如铝，主真空容器保持物品或条带材料包含第二容器（4）的哪一个汽化器（1）内被装配和所有这是主要的容器的可密封的真空密封（6）unabhängig。该装置特别适用于使用汽化器的由烧结陶瓷制成。

10. 发明公开

EP0067860A4 METHODS AND APPARATUS FOR FORMING THIN-FILM HETEROJUNCTION SOLAR CELLS FROM I-III-VI2 CHALCOPYRITE COMPOUNDS, AND SOLAR CELLS PRODUCED THEREBY. 失效
标题翻译：方法和装置，从I-III-VI-黄铜矿化合物，经制造的太阳能电池这种方法具有杂环跃迁制造薄膜太阳能电池。
公开(公告)号：EP0067860A4
公开(公告)日：1985-07-30
申请号：EP82900474
申请日：1981-12-21
申请人： BOEING CO
发明人： MICKELSEN REID A , CHEN WEN SHUH
IPC分类号： C23C14/54 , H01L20060101 , H01L21/20 , H01L21/203 , H01L31/032 , H01L31/0336 , H01L31/04 , H01L31/072 , H01L31/0749 , H01L31/18 , H01L31/06 , C23C13/08
CPC分类号： H01L31/0749 , H01L31/0322 , H01L31/03365 , H01L31/072 , H01L31/18 , Y02E10/541 , Y10S148/063 , Y10S148/12

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