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    • 5. 发明公开
    • Greifereinrichtung in einer Laminiervorrichtung
    • 夹持装置在层压机。
    • EP0195992A2
    • 1986-10-01
    • EP86103529.3
    • 1986-03-15
    • HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT
    • Kühnert, Hans-Günter Egbert
    • B29C31/00B29C67/18G03F7/16
    • B65H5/10B29C31/00G03F7/161Y10T83/0538Y10T83/2185Y10T83/293Y10T83/4632Y10T83/654Y10T83/6568Y10T83/6579Y10T83/6608
    • Die Greifereinrichtung 1 weist zumindest zwei Vakuumgreifer 8,8 auf, die entlang einer Querstrebe 1 3 der Greifereinrichtung horizontal verschiebbar und festlegbar sind. Die Greifereinrichtung ist vertikal auf und ab verfahrbar und enthält ein sich über die Breite der Querstrebe erstreckendes Blasrohr 6, aus dem ein Luftstrom austritt, der den festzuhaltenden und zu transportierenden Fotoresistfilm 24 mit seiner fotoresistfreien Rückseite gegen die Vakuumgreifer 8,8 drückt. Sobald diese mit Vakuum beaufschlagt sind, wird der Fotoresistfilm festgehalten und nach unten transportiert. Auf der Oberseite des Blasrohrs 6 sind Anschlagschrauben 14,15 angeordnet, die beim Hochfahren der Greifereinrichtung an der Unterseite von vertikal verschiebbaren Befestigungselementen 16,17, an denen eine Schneidleiste 7 mit einer Schneidnut 20 befestigt ist, anliegen. Beim Hochfahren der Greifereinrichtung wird die Schneidleiste 7 mithochgenommen, wobei der Fotoresistfilm 24 durch die Abschrägung der Schneidleiste von der Saugplatte 23, die unter Vakuum steht, abgehoben wird.
    • 夹持装置1具有至少两个真空夹具8.8,这是沿着夹具装置和可固定的横杆13水平地滑动。 夹持装置被垂直向上和向下移动,并且包括跨越横撑杆吹管6,从该空气流中出现,其按压所述被约束和被输送光致抗蚀剂膜24,其光致抗蚀剂 - 自由后侧抵靠真空夹具8.8的宽度的延伸。 一旦这些经受真空,光致抗蚀剂膜被保持和向下输送。 上的吹管6停止螺钉14,15被布置有抵靠在所述夹持装置的启动时,在垂直移动的紧固构件16,17的底部,在该切割器杆7上安装有切槽20的上侧 在叼纸牙装置的启动时,切割器杆是mithochgenommen 7,其中,所述光致抗蚀剂膜24是通过从吸附板23,其是在真空下在切割带材的斜面上升。