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1. 发明公开

EP0855769A2 Monolithischer, nichtplanarer Ringlaser mit Güteschaltung im Einfrequenzbetrieb 失效
标题翻译： Monolithischer，nichtplanarer Ringlaser mitGüteschaltungim Einfrequenzbetrieb
公开(公告)号：EP0855769A2
公开(公告)日：1998-07-29
申请号：EP98100490.6
申请日：1998-01-14
申请人： LASER ZENTRUM HANNOVER e.V.
发明人： Freitag, Ingo, Dr. , Tünnermann, Andreas, Dr.
IPC分类号： H01S3/06 , H01S3/121 , H01S3/113 , H01S3/083
CPC分类号： H01S3/0606 , H01S3/0604 , H01S3/0612 , H01S3/0627 , H01S3/07 , H01S3/083 , H01S3/113 , H01S3/121
摘要： Ein monolithischer, nichtplanarer Ringlaser mit einer Güteschaltung (20,36,40) im Einfrequenzbetrieb weist einen Diodenlaser als Pumplichtquelle auf, dessen Pumplicht in einen Ringlaserkristall (2) eingekoppelt wird, welcher wenigstens drei Totalreflexionsflächen B, C, D und eine als Ein- und Auskoppelspiegel ausgebildete dielektrisch beschichtete Kristallfläche A aufweist.
摘要翻译：单片非平面二极管激光泵浦单频Q开关环激光器具有环形激光晶体（2），其具有三个或更多个全反射面（B，C，D）和电介质涂覆面（A），如输入和输出反射镜（8），晶体（2）通过非平面光束通过并且借助于永久磁场（16）中的法拉第效应使激光偏振方向的往复和不可逆旋转，分别。新颖的是，（i）提供了适当的折射率的开关晶体，并且可以从全反射面（B，C，D）之一推进高达约一个激光辐射波长的距离，用于向外耦合消逝波场，或缩回激光脉冲产生; （ii）环形激光晶体（2）由在激光转变（激光发射波长）处具有可饱和损耗的激光材料组成; （iii）环形激光晶体由活性激光材料的晶体和可饱和吸收材料的另一晶体组成; 或（iv）环形激光晶体（2）由在至少一个表面（A-D）上设置有可饱和吸收体材料层（40）的有源激光材料晶体组成。优选地，激光器（i），（iii）和（iv）中的活性激光材料是Nd：YAG，Yb：YAG或Nd：LSB; 激光器（iii）中的活性激光材料是Cr，Nd：YAG，Cr，Yb：YAG或Cr，Nd：LSB; 激光器（iii）和（iv）中的可饱和吸收材料是Cr + 4 + YAG。

2. 发明公开

EP2763248A1 LASER SOURCE UNIT AND OPTICAL ACOUSTIC IMAGE GENERATION DEVICE 审中-公开
标题翻译：阿拉伯联合酋长国在阿拉伯联合酋长国BILDERZEUGUNGSVORRICHTUNG
公开(公告)号：EP2763248A1
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：EP12835594.8
申请日：2012-09-14
申请人： Fujifilm Corporation
发明人： KASAMATSU Tadashi , HIROTA Kazuhiro
IPC分类号： H01S3/121 , A61B8/00 , G01N29/00 , H01S3/123
CPC分类号： G01N29/2418 , A61B5/0095 , A61B2562/0233 , G01N29/46 , G01N2291/02475 , H01S3/08027 , H01S3/092 , H01S3/105 , H01S3/106 , H01S3/121 , H01S3/123
摘要： A laser source unit obtains Q switch pulse oscillation with a simple structure while continuously switching a plurality of wavelengths. A laser source unit emits pulsed laser beams with a plurality of different wavelengths. A flash lamp radiates excitation light to a laser rod. A pair of mirrors face each other with the laser rod interposed therebetween. The pair of mirrors form an optical resonator. Wavelength selection means controls the wavelength of light which resonates in the optical resonator to any one of a plurality of wavelengths to be emitted by the laser source unit. Driving means drives the wavelength selection means such that the optical resonator performs the Q switch pulse oscillation.
摘要翻译：激光源单元在连续切换多个波长的同时以简单的结构获得Q开关脉冲振荡。激光源单元发射具有多个不同波长的脉冲激光束。闪光灯将激发光照射到激光棒。一对镜子彼此面对，激光棒插入其间。该对镜形成光谐振器。波长选择装置将在光学谐振器中谐振的光的波长控制为由激光源单元发射的多个波长中的任何一个。驱动装置驱动波长选择装置，使得光谐振器执行Q开关脉冲振荡。

3. 发明授权

EP0855769B1 Monolithischer, nichtplanarer Ringlaser mit Güteschaltung im Einfrequenzbetrieb 失效
标题翻译：整体的，非平面环形激光器在单频Q开关
公开(公告)号：EP0855769B1
公开(公告)日：2005-03-23
申请号：EP98100490.6
申请日：1998-01-14
申请人： InnoLight Innovative Laser und Systemtechnik GmbH
发明人： Freitag, Ingo, Dr. , Tünnermann, Andreas, Dr.
IPC分类号： H01S3/06 , H01S3/121 , H01S3/113 , H01S3/083
CPC分类号： H01S3/0606 , H01S3/0604 , H01S3/0612 , H01S3/0627 , H01S3/07 , H01S3/083 , H01S3/113 , H01S3/121

4. 发明公开

EP0635142A1 LASERSYSTEM MIT MIKROMECHANISCH BEWEGTEN SPIEGEL 失效
标题翻译：与微机械移动的反射镜激光系统。
公开(公告)号：EP0635142A1
公开(公告)日：1995-01-25
申请号：EP93911443.0
申请日：1993-04-03
申请人： Deutsche Aerospace AG
发明人： HEINEMANN, Stefan , MEHNERT, Axel , KROY, Walter , PEUSER, Peter , SCHMITT, Nikolaus , SEIDEL, Helmut
IPC分类号： G02B1 , G02B5 , G02B26 , H01S3 , H01S5
CPC分类号： G02B1/11 , G02B1/10 , G02B5/0833 , G02B5/0858 , G02B26/002 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B26/085 , G02B26/0858 , H01S3/025 , H01S3/0602 , H01S3/09415 , H01S3/105 , H01S3/121 , H01S5/02252 , H01S5/14 , H01S5/4062 , H01S5/42
摘要： The invention concerns a laser system with one or more actively controlled mirrors which are manufactured using micro-engineering techniques and are equipped with a manipulation device enabling small laser mirrors to be oscillated rapidly. These mirrors are designed in such a way that they can be manufactured cheaply and in large numbers. Embodiments of the invention are described, and illustrated in the drawings.

5. 发明公开

EP0214288A1 ANORDNUNG ZUR SCHNELLEN UMSCHALTUNG ZWISCHEN VERSCHIEDENEN WELLENLÄNGEN BEI LASERN 失效
标题翻译：安排和方法之间的不同波长的激光快速切换。
公开(公告)号：EP0214288A1
公开(公告)日：1987-03-18
申请号：EP86902358.0
申请日：1986-03-01
申请人： Battelle-Institut e.V.
发明人： ENDEMANN, Martin , HOEFFGEN, Hansjürgen
IPC分类号： H01S3
CPC分类号： H01S3/121 , H01S3/0826 , H01S3/105 , H01S3/106 , H01S3/123
摘要： Afin de modifier rapidement les longueurs d'onde de lasers, un miroir découpé rotatif (1), ayant par exemple la forme d'une roue à ailettes, est agencé dans le résonateur du laser. Ce miroir alternativement laisse passer la lumière jusqu'à une grille (2) ou la dévie sur au moins une deuxième grille (3) ou sur un deuxième miroir. Un miroir basculant commandant une grille peut être utilisé à la place d'un miroir découpé. Le miroir basculant bouge à une fréquence constante mais avec une amplitude variable.

6. 发明公开

EP2810345A1 CO2-LASER MIT SCHNELLER LEISTUNGSSTEUERUNG 审中-公开
标题翻译：二氧化碳激光麻省理工学院
公开(公告)号：EP2810345A1
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：EP13712472.3
申请日：2013-01-31
申请人： IAI Industrial Systems B.V.
发明人： STAUPENDAHL, Gisbert
IPC分类号： H01S3/223 , H01S3/08 , B23K26/02 , B23K26/06
CPC分类号： B23K26/0626 , B23K26/032 , B23K26/0622 , B23K26/066 , B23K26/067 , B23K26/704 , H01S3/0064 , H01S3/08009 , H01S3/08054 , H01S3/10061 , H01S3/115 , H01S3/117 , H01S3/121 , H01S3/2232
摘要： The invention relates to a CO
2 laser which allows for rapid power modulation, particularly highly efficient Q-switching. The key concept is the sub-division of the resonator into a high-power branch, containing
inter alia the active medium (1), and a low-power feedback branch (14), in which the power-sensitive beam-shaping elements, particularly the modulators, are arranged. This is made possible by a suitable arrangement of a polarisation beam splitter (5) and a λ/4-phase shifter (2). The free adjustability of an angle φ between said two components permits the extremely flexible realisation of various operating modes, particularly optimisation of the feedback degree during pulse generation.
摘要翻译：本发明的主题是允许快速功率调制，特别是高效Q开关的CO 2激光器。关键概念是将谐振器分成高功率支路，其中特别包含有源介质（1）和低功率反馈支路（14），其中功率敏感波束成形元件特别是调制器。这通过偏振分束器（5）和λ/ 4移相器（2）的适当布置成为可能。角度的自由调节在所述两个组件之间允许非常灵活地实现各种操作模式，特别是在脉冲产生期间反馈程度的优化。

7. 发明授权

EP2084500B1 DRIVE LASER DELIVERY SYSTEMS FOR EUV LIGHT SOURCE 有权
标题翻译： ANSTEUERLASER-输送系统EUV光源
公开(公告)号：EP2084500B1
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：EP07838971.5
申请日：2007-09-27
申请人： Cymer, Inc. (A Nevada Corporation)
发明人： BYKANOV, Alexander N. , FOMENKOV, Igor V. , KHODYKIN, Oleh V. , ERSHOV, Alexander I.
IPC分类号： H05G2/00
CPC分类号： H05G2/003 , G03F7/70033 , H01S3/0064 , H01S3/073 , H01S3/0805 , H01S3/08054 , H01S3/08059 , H01S3/083 , H01S3/10092 , H01S3/105 , H01S3/1066 , H01S3/115 , H01S3/121 , H01S3/127 , H01S3/2232 , H01S3/2316 , H01S3/2325 , H01S3/2383 , H05G2/008

8. 发明公开

EP0855769A3 Monolithischer, nichtplanarer Ringlaser mit Güteschaltung im Einfrequenzbetrieb 失效
标题翻译：整体的，非平面环形激光器在单频Q开关
公开(公告)号：EP0855769A3
公开(公告)日：2000-10-11
申请号：EP98100490.6
申请日：1998-01-14
申请人： InnoLight Innovative Laser und Systemtechnik GmbH
发明人： Freitag, Ingo, Dr. , Tünnermann, Andreas, Dr.
IPC分类号： H01S3/06 , H01S3/121 , H01S3/113 , H01S3/083
CPC分类号： H01S3/0606 , H01S3/0604 , H01S3/0612 , H01S3/0627 , H01S3/07 , H01S3/083 , H01S3/113 , H01S3/121
摘要： Ein monolithischer, nichtplanarer Ringlaser mit einer Güteschaltung (20,36,40) im Einfrequenzbetrieb weist einen Diodenlaser als Pumplichtquelle auf, dessen Pumplicht in einen Ringlaserkristall (2) eingekoppelt wird, welcher wenigstens drei Totalreflexionsflächen B, C, D und eine als Ein- und Auskoppelspiegel ausgebildete dielektrisch beschichtete Kristallfläche A aufweist.

9. 发明公开

EP0751594A1 Cavité microlaser et microlaser solide impulsionnel à déclenchement actif par micromodulateur 失效
标题翻译： Festkörpermikrolasermit aktiverGüteschaltungdurch einer Mikromodulator
公开(公告)号：EP0751594A1
公开(公告)日：1997-01-02
申请号：EP96401398.1
申请日：1996-06-25
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
发明人： Thony, Philippe , Rabarot, Marc , Molva, Engin
IPC分类号： H01S3/06 , H01S3/121
CPC分类号： H01S3/0627 , H01S3/0602 , H01S3/0615 , H01S3/121
摘要： L'invention concerne une cavité microlaser à déclenchement actif, caractérisée en ce qu'elle comporte :

un milieu actif laser (20), un miroir d'entrée (22) et un miroir de sortie (24, 87) délimitant la cavité,
un micromodulateur à réflexion totale interne frustrée, comportant deux microprismes (32, 34) constitués d'un certain matériau d'indice n 1 possédant chacun au moins une face plane (36, 38), les deux faces planes étant sensiblement parallèles entre elles et inclinées sur l'axe de la cavité microlaser, définissant ainsi une lame (30) d'un certain matériau d'indice n 2 inférieur à n 1 ,
des moyens (44, 46, 48, 50, 52, 54) pour faire varier l'épaisseur de la lame.
摘要翻译：微型激光器具有上部和下部，并且包括输入镜（22）和输出镜（24）。镜的下部保持激光材料（20），例如， YAG，而上部保持棱镜机构。激光材料可以是二极管泵浦的。棱镜机构具有给定折射率的两个棱镜（32,34），它们之间的中心区域或间隙（30）由它们各自的平面（36,38）限定。这些面以一定角度倾斜并留下具有不同折射率的材料的间隙。间隙通过滑动机构打开到顶部和底部水平区域，例如。压电元件（44,46）以改变棱镜之间的间隙。

10. 发明公开

EP0332836A1 Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung kurzer Laserpulse 失效
标题翻译： Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung kurzer Laserpulse。
公开(公告)号：EP0332836A1
公开(公告)日：1989-09-20
申请号：EP89101983.8
申请日：1989-02-04
申请人： AESCULAP AG
发明人： Huber, Manfred , Grom, Elmar , Wrobel, Walter-Gerhard
IPC分类号： H01S3/121
CPC分类号： H01S3/121 , H01S3/102 , H01S3/1022 , H01S3/1024
摘要： Um bei einem Verfahren zur Erzeugung kurzer Laserpulse mit Hilfe eines Dauerstrich-Festkörperlasers, der einen in einem Resonator zwischen Spiegeln (4,5) angeordneten Laserkristall (1) und eine diesen mit Strahlung beaufschlagende Pumplampe (3) umfaßt, die mit unterschiedlich großen Strömen betrieben wird, wobei sie ab Erreichen eines Schwellstromes den Laserkristall (1) ausreichend bestrahlt, um diesen zur Aussendung von Laserstrahlung anzuregen, die Pulsdauer unabhängig von der Öffnungs- und Schließdauer mechanischer Unterbrecher (6) verkürzen zu können, wird vorgeschlagen, daß man die Pumplampe (3) mit einem Strom oberhalb des Schwellstromes betreibt und gleichzeitig den Laserstrahlengang im Resonator unterbricht, den Betriebsstrom der Pumplampe (3) unter den Schwellwert absenkt, die Unterbrechung des Laserstrahlenganges aufhebt, nach Freigabe des Laserstrahlenganges den Betriebsstrom der Pumplampe (3) für die gewünschte Pulsdauer über den Schwellstrom erhöht und anschließend wieder unter den Schwellwert absenkt, den Laserstrahlengang im Resonator unterbricht und nach vollständiger Unterbrechnung des Laserstrahlenganges den Betriebsstrom der Pumplampe (3) wieder über den Schwellwert erhöht und ihn bis Erzeugung des nächsten Pulses bei unterbrochenem Laserstrahlengang aufrechterhält.
摘要翻译：在一种借助于连续波固体激光器产生短激光脉冲的方法中，该连续波固体激光器包括布置在反射镜（4,5）和施加辐射的泵灯（3）之间的谐振器中的激光晶体（1）并且以不同强度的电流操作，在达到阈值电流之后，照射激光晶体（1）的灯足以激发激光晶体（1）以激发激光发射激光辐射，以便能够独立于开口而缩短脉冲持续时间，机械断续器（6）的闭合持续时间提出，泵浦灯（3）以超过阈值电流的电流工作，并且激光束路径同时在谐振器中中断，泵浦灯（3）的工作电流）降低到阈值以下，消除激光束路径的中断，并且在清除激光束路径之后，泵浦灯（3）的工作电流增加到阈值以上 nt为期望的脉冲持续时间并且随后再次降低到阈值以下，一旦激光束路径完全中断，谐振器中的激光束路径被中断，并且泵灯（3）的工作电流再次增加超过阈值并且保持激光束路径被中断，直到产生下一个脉冲。

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