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    • 2. 发明公开
    • Gate valve and substrate processing system using same
    • Schieberventil和Substratverarbeitungssystem damit
    • EP2541591A2
    • 2013-01-02
    • EP12173542.7
    • 2012-06-26
    • TOKYO ELECTRON LIMITED
    • Tateshita, Koichi
    • H01L21/67
    • H01L21/67126F16K3/184F16K51/02
    • A gate valve includes a plurality of openings through which objects to be processed are loaded and unloaded; a valve body to be pressed toward the openings; a pressed portion provided to the valve body; a main slider slidable in parallel with a surface where the openings are formed; and a cam provided to the main slider and having a protrusion and an inclined portion inclined from the protrusion in a sloped shape, for pressing the pressed portion of the valve body in a state where the valve body faces the openings. The valve body has one or more slit-shaped openings serving as opening portions for opening the openings, and portions adjacent to the slit-shaped openings serving as blocking portions for blocking the openings.
    • 闸阀包括多个开口,待加工物体被加载和卸载; 将阀体压向开口; 设置在所述阀体上的按压部; 可滑动地与形成开口的表面平行滑动的主滑块; 以及凸轮,其设置在所述主滑块上,并且具有突起和从所述突起部倾斜的倾斜部,所述倾斜部在所述阀体面向所述开口的状态下按压所述阀体的所述按压部。 阀体具有一个或多个狭缝状开口,用作用于打开开口的开口部分,并且与狭缝状开口相邻的部分用作用于阻挡开口的阻挡部分。
    • 4. 发明公开
    • Doppelplattenschieber
    • 带阀门的门阀
    • EP0450646A3
    • 1992-03-04
    • EP91105416.1
    • 1991-04-05
    • Zimmermann & Jansen GmbH
    • Genreith, HansMarx, NorbertNägler, Günter
    • F16K3/18
    • F16K3/184
    • Doppelplattenschieber, dessen Schieberplatte (16) durch eine Betätigungsstange (22) verschiebbar ist und mit einer Rohrbrücke (23) versehen ist, welche zwei durch einen Kompensator (26) miteinander verbundene Dichtringe (24, 25) aufweist, die in der Offenstellung des Schiebers (10) unter elastischer Vorspannung gegen die Dichtsitze (14, 15) des Schiebergehäuses (11) preßbar sind, wobei der Kompensator (26) aus einem inneren Rohrabschnitt (27) und einem sich koaxial dazu erstreckenden äußeren Rohrabschnitt (28) besteht. Der äußere Rohrabschnitt (28) ist mit beiden Dichtringen (24, 25) fest verbunden, insbesondere verschweißt. Er weist des weiteren eine sich über den Umfang erstreckende Einbuchtung (31) auf. Der innere Rohrabschnitt (27) ist nur mit einem (25) der beiden Dichtringe fest verbunden und gegenüber dem anderen (24) Dichtring axial bewegbar. Innerhalb des Schiebergehäuses (11) ist ein Gasdruck einstellbar, der größer ist als der Druck im Schieberdurchgang bei Schieberoffenstellung.
    • 5. 发明公开
    • Doppelplattenschieber
    • Doppelplattenschieber。
    • EP0450646A2
    • 1991-10-09
    • EP91105416.1
    • 1991-04-05
    • Zimmermann & Jansen GmbH
    • Genreith, HansMarx, NorbertNägler, Günter
    • F16K3/18
    • F16K3/184
    • Doppelplattenschieber, dessen Schieberplatte (16) durch eine Betätigungsstange (22) verschiebbar ist und mit einer Rohrbrücke (23) versehen ist, welche zwei durch einen Kompensator (26) miteinander verbundene Dichtringe (24, 25) aufweist, die in der Offenstellung des Schiebers (10) unter elastischer Vorspannung gegen die Dichtsitze (14, 15) des Schiebergehäuses (11) preßbar sind, wobei der Kompensator (26) aus einem inneren Rohrabschnitt (27) und einem sich koaxial dazu erstreckenden äußeren Rohrabschnitt (28) besteht. Der äußere Rohrabschnitt (28) ist mit beiden Dichtringen (24, 25) fest verbunden, insbesondere verschweißt. Er weist des weiteren eine sich über den Umfang erstreckende Einbuchtung (31) auf. Der innere Rohrabschnitt (27) ist nur mit einem (25) der beiden Dichtringe fest verbunden und gegenüber dem anderen (24) Dichtring axial bewegbar. Innerhalb des Schiebergehäuses (11) ist ein Gasdruck einstellbar, der größer ist als der Druck im Schieberdurchgang bei Schieberoffenstellung.
    • 双板闸阀,其闸板(16)可由操作杆(22)移位,并具有一个管桥(23),该管桥具有两个通过装置相互连接的密封环(24,25) 的补偿器(26),并且可以在闸阀(10)的打开位置压靠闸阀壳体(11)的密封座(14,15),进行弹性预张紧,补偿器(26)包括 的内管部分(27)和与其同轴延伸的外管部分(28)。 外管部分(28)固定连接,特别是焊接到两个密封环(24,25)上。 此外,它具有在圆周上延伸的凹部(31)。 内管部分(27)仅固定地连接到两个密封环中的一个(25),并且可相对于另一个(24)密封环轴向移动。 当闸阀处于打开位置时,其压力大于闸阀通道中的压力,可设置在闸阀壳体(11)内。 ... ...
    • 8. 发明公开
    • A gate valve with improved sealing
    • 具有改进密封的门阀
    • EP0241629A3
    • 1988-03-30
    • EP86830283
    • 1986-10-03
    • NOVATEC S.r.l.
    • Chiuppi, Rolando NOVATEC S.r.l.
    • F16K03/18
    • F16K3/184
    • A gate valve with improved sealing has a valve shutter (3) formed as a shutter body (3) carrying two shutter plates (5) facing away from one another and each carrying a toroidal seal (12) on its outwardly directed face. The plates (5) have inwardly directed axial telescopic sleeves and are urged towards one another by a spring (6) and can be moved apart, against the action of the spring (6) by means of a drum (7) positioned between the plates (5) and carrying captive balls (13) which contact co-operating inclined planes on the facing surfaces of the plates (5). Rotation of the drum (7) to cause separation of the plates (5) is effected by means of a linkage including a resiliently biased plunger rod (17) and a cranked link (8) which are moved with respect to the valve body (3) by continued movement of the valve operating member after the valve body (3) has reached its fully closed position so that, upon closure of the valve the plates (3) are forced apart to press the toroidal seals tightly against the valve seats.
    • 具有改进的密封的闸阀具有形成为挡板主体(3)的阀门(3),所述闸阀主体(3)承载两个彼此背离的挡板(5),并且每个在其向外的表面上承载环形密封件(12)。 板(5)具有向内指向的轴向伸缩套筒并且通过弹簧(6)彼此推动,并且可以通过位于板之间的滚筒(7)抵抗弹簧(6)的作用而移开, (5)并且承载接触在所述板(5)的相对表面上的协同倾斜平面的捕获球(13)。 滚筒(7)的旋转以使板(5)分离,是借助于包括弹性偏置的柱塞杆(17)和曲柄连杆(8)的连杆来实现的,该连杆(8)相对于阀体(3)移动 )通过在阀体(3)已经到达其完全关闭位置之后继续移动阀操作构件,使得在阀闭合时,板(3)被迫分开,将环形密封件紧紧地压靠在阀座上。
    • 10. 发明公开
    • SLUICE VALVE FOR OPERATIONS
    • SCHLEUSENVENTILFÜR运营
    • EP2466177A4
    • 2017-10-04
    • EP10808183
    • 2010-08-06
    • WATERWORKS TECH DEV ORGANIZATION CO LTD
    • ASAI HISAKAZU
    • F16K43/00E03B7/07F16K3/02F16K27/00
    • F16K3/0218E03B7/006E03B7/08F16K3/18F16K3/184F16K27/044F16K43/00F16L41/06Y10T137/0447Y10T137/0514Y10T137/6072
    • An operation for securing and coupling a coupling flange and a fluid device mounted through the interior of a valve case of a sluice valve for operations can be performed with good efficiency from the exterior while sufficiently ensuring the external mounting depth of the coupling tube part on the coupling flange and while facilitating the attachment of pulling and securing means and ensuring the attachment strength. A valve element (31) that is freely movable in a direction orthogonal to a pipe axial center and valve operation means (30) for movably operating the valve element (31) are provided to a valve case (32), which is provided with a coupling tube part (32C) that can be externally mounted on a coupling flange of a connecting pipe from the pipe axial center direction; pulling and securing means for pulling and securing the valve case (32) to the coupling flange is disposed on the coupling tube part (32C) of the valve case (32); and an operation recess (32J) for operating a fastener from a rear surface side of the coupling flange is formed in the coupling tube part (32C) of the valve case (32), the fastener being used for securing and coupling the coupling flange and the fluid device that is joined to the coupling flange through a flow channel inside the valve case (32).
    • 能够从外部高效率地执行用于将用于操作的闸阀的阀壳体的内部安装的联接法兰和流体装置固定和联接的操作,同时充分确保联接管部件的外部安装深度在 联接法兰,同时便于拉动和固定装置的连接并确保连接强度。 在阀壳体(32)上设置有能够在与管轴心正交的方向上自由移动的阀体(31)和用于使阀体(31)移动的阀操作机构(30) 能够从管轴心方向外装在连接管的连接凸缘上的连接管部(32C) 在阀壳体(32)的连接管部(32C)上设置用于将阀壳体(32)拉拽固定在连接凸缘上的拉拔固定机构。 在所述阀壳体(32)的所述连结筒部(32C)上形成有用于使所述连结凸缘的背面侧的紧固件动作的操作用凹部(32J),所述连结用凸缘与所述连结凸缘 该流体装置通过阀壳体(32)内的流动通道连接到联接法兰。