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1. 发明授权

EP3924295B1 MEMS UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN 有权转让
公开(公告)号：EP3924295B1
公开(公告)日：2024-05-22
申请号：EP20705167.3
申请日：2020-02-12
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B2201/04220130101 , B81B2203/016320130101 , B81B2203/018120130101 , B81B2203/05820130101 , B81B3/0051 , B81B3/0062

2. 发明授权

EP2435789B1 MEMS MASS SPRING DAMPER SYSTEMS USING AN OUT-OF-PLANE SUSPENSION SCHEME 有权
标题翻译：微机电系统 - 麦克风 - 美国麻醉师联合会
公开(公告)号：EP2435789B1
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：EP10732533.4
申请日：2010-05-27
申请人： King Abdullah University Of Science And Technology
发明人： AZIZ, Ahmed Kamal Said Abdel , SHARAF, Abdel Hamid , SHERRY, Mohamed , SEDKY, Sherif
IPC分类号： G01C19/5719 , G01P15/08 , G01P15/18 , G01P15/125 , B81B3/00
CPC分类号： G01C19/5719 , B81B3/0062 , B81B2201/0242 , G01P15/08 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/082
摘要： MEMS mass-spring-damper systems (including MEMS gyroscopes and accelerometers) using an out-of-plane (or vertical) suspension scheme, wherein the suspensions are normal to the proof mass, are disclosed. Such out-of-plane suspension scheme helps such MEMS mass-spring-damper systems achieve inertial grade performance. Methods of fabricating out-of-plane suspensions in MEMS mass-spring-damper systems (including MEMS gyroscopes and accelerometers) are also disclosed.
摘要翻译：公开了使用平面外（或垂直）悬浮方案的MEMS质量弹簧阻尼器系统（包括MEMS陀螺仪和加速度计），其中悬架与校验物质垂直。这种平面外悬架方案有助于这种MEMS质量弹簧阻尼器系统实现惯性等级性能。还公开了在MEMS质量弹簧阻尼器系统（包括MEMS陀螺仪和加速度计）中制造平面外悬架的方法。

3. 发明授权

EP1476780B1 FOLDED LONGITUDINAL TORSIONAL HINGE FOR GIMBALED MEMS MIRROR HINGE 有权
标题翻译：折叠好的纵长-TORSIONALSCHWENKGLIED通用MEMS镜摆杆
公开(公告)号：EP1476780B1
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：EP03709211.1
申请日：2003-02-18
申请人： Glimmerglass Networks, Inc.
发明人： STAKER, Bryan, P. , BANYAI, William, C.
IPC分类号： G02B7/182 , G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0062 , G02B26/0833 , G02B26/105
摘要： A circular mirror (12) is connected to the gimble (44) at opposing, but offset from center axis locations (36) and (37) and by compound longitudinal hinges (40) and (42).

4. 发明授权

EP1738181B1 OUT-OF-PLANE COMPENSATION ELECTRODE SUSPENSION FOR AN ACCELEROMETER 失效
标题翻译： PADS悬架挠度补偿衬底高度加速计作者：
公开(公告)号：EP1738181B1
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：EP04796864.9
申请日：2004-10-29
申请人： Honeywell International Inc.
发明人： BALLAS, Gary, J. , ESKRIDGE, Mark, H.
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , B81B3/00
CPC分类号： G01P15/0802 , B81B3/0062 , B81B2201/0235 , G01P15/125
摘要： A high aspect ratio microelectromechanical system device for measuring an applied force and having a suspension structure for compensating out-of-plane displacements of the device proof mass, wherein the device includes a frame; a proof mass coupled to the frame for in-plane motion along an axis of symmetry, the proof mass having first and second sets of spaced apart capacitor plates projected therefrom on each side of the axis of symmetry and oriented substantially crosswise to the axis of symmetry; and third and fourth sets of spaced apart capacitor plates oriented substantially crosswise to the axis of symmetry of the proof mass and intermeshed respectively with the first and second sets of capacitor plates, the third and fourth sets of capacitor plates being suspended for motion relative to the frame about respective first and second axes of motion oriented substantially parallel with the axis of symmetry of the proof mass.

5. 发明公开

EP1479646A3 Electrode configuration for pivotable MEMS micromirror 有权转让
标题翻译：可旋转MEMS微镜的电极配置
公开(公告)号：EP1479646A3
公开(公告)日：2005-01-05
申请号：EP04405316.3
申请日：2004-05-21
申请人： JDS Uniphase Inc.
发明人： Miller, John Michael , Ma, Yuan , Keyworth, Barrie , Jin, Wenlin , Hess, David R.
IPC分类号： B81B7/02 , B81B7/04 , G02B26/08 , G02B6/35 , B81B7/00
CPC分类号： G02B6/3584 , B81B3/0062 , B81B2201/042 , G02B6/3518 , G02B6/3544 , G02B6/356 , G02B6/357
摘要： A micro-electro-mechanical (MEMs) mirror device for use in an optical switch is disclosed. A "piano"-style MEMs device includes an elongated platform pivotally mounted proximate the middle thereof by a torsional hinge. The middle portion of the platform and the torsional hinge have a combined width less than the width of the rest of the platform, whereby several of these "piano" MEMs devices can be positioned adjacent each other pivotally mounted about the same axis with only a relatively small air gap therebetween. In a preferred embodiment of the present invention specially designed for wavelength switching applications, a greater range of arcuate motion for a mirror mounted thereon is provided by enabling the platform to rotate about two perpendicular axes. The MEMs mirror device according to the preferred embodiment of the present invention enables the mirror to tilt about two perpendicular axes, by the use of an "internal" gimbal ring construction, which ensures that a plurality of adjacent mirror devices have a high fill factor, without having to rely on complicated and costly manufacturing processes.
摘要翻译：公开了一种用于光开关的微机电（MEMs）镜装置。 “钢琴”式MEMS装置包括通过扭转铰链枢转地安装在其中部附近的细长平台。平台的中间部分和扭转铰链具有小于平台其余部分的宽度的组合宽度，由此这些“钢琴”MEM装置中的几个可以被定位成彼此相邻且绕相同的轴线枢转地安装，它们之间的小气隙。在为波长切换应用而特别设计的本发明的优选实施例中，通过使平台围绕两个垂直轴线旋转来提供安装在其上的镜子的更大范围的弓形运动。根据本发明的优选实施例的MEMS反射镜装置通过使用“内部”万向环结构使得反射镜能够围绕两个垂直轴倾斜，这确保了多个相邻反射镜装置具有高填充因子，而不必依赖复杂且昂贵的制造工艺。

6. 发明公开

EP3336559A1 OUT-OF-PLANE-ACCELEROMETER 有权
公开(公告)号：EP3336559A1
公开(公告)日：2018-06-20
申请号：EP16203854.1
申请日：2016-12-13
申请人： Safran Colibrys SA
发明人： ZWAHLEN, Pascal , BIRLING, Sophie , DUTOIT, Bertrand
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0062 , B81B7/0048 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/0814 , G01P2015/0828
摘要： Accelerometer comprising a seismic mass in a plane and a first capacitor plate and a second capacitor plate arranged parallel to the plane, wherein the seismic mass is arranged in between the first capacitor plate and the second capacitor plate, wherein the first capacitor plate and the second capacitor plate are configured to detect movements of the seismic mass out of the plane. A pillar extending from the first capacitor plate to the second capacitor plate through a cut-out in the seismic mass for stiffening the accelerometer.

7. 发明公开

EP3186189A4 3-DOF MEMS PISTON-TUBE ELECTROSTATIC MICROACTUATOR 审中-公开
公开(公告)号：EP3186189A4
公开(公告)日：2018-05-09
申请号：EP14899403
申请日：2014-08-04
申请人： BA TIS FAEZ , BEN MRAD RIDHA
发明人： BA-TIS FAEZ , BEN-MRAD RIDHA
IPC分类号： B81B3/00 , B25J7/00 , G02B26/08 , H02N1/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B25J7/00 , B81B3/0037 , B81B3/0062 , B81B2201/047 , B81B2203/0136 , B81B2203/053 , H02N1/002
摘要： A three-degrees-of-freedom MEMS electrostatic piston-tube actuator is disclosed. The actuator comprises two structures. A structure that comprises a plurality of fixed piston-like electrodes that are attached to a base, and form the stator of the actuator. A second structure that comprises a plurality of moving tube-like electrodes that are attached to the body of the upper structure and form the rotor of the actuator. The rotor is attached to the stator through a mechanical spring. The rotor of the actuator provides a 3-DOF motion, comprising vertical translation and bi-axial rotation about the axes of the structures. The present piston-tube actuator utilizes a configuration that enables the use of wide area electrodes, and therefore, provides a high output force enabling translation of the rotor or a high output torque enabling rotation of the rotor.

8. 发明公开

EP3257808A1 DISPOSITIF MICROELECTROMECANIQUE ET/OU NANOELECTROMECANIQUE A DEPLACEMENT HORS-PLAN COMPORTANT DES MOYENS CAPACITIFS A VARIATION DE SURFACE 有权
标题翻译：微机电和/或位移纳机电OFF-计划，电容装置表面的变化
公开(公告)号：EP3257808A1
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：EP17176388.1
申请日：2017-06-16
申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
发明人： MASPERO, Federico , JOET, Loïc
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： G01C19/5762 , B81B3/0045 , B81B3/0051 , B81B3/0062 , B81B2201/0228 , B81B2201/0242 , B81B2201/033 , B81B2203/053 , B81C99/003 , G01P15/125 , G01P2015/0822 , H01G5/14
摘要： Capteur microélectromécanique comportant une partie fixe (2) et une partie mobile (4) suspendue à la partie fixe (2) de sorte que la partie mobile (4) soit apte à se déplacer au moins dans une direction de déplacement hors-plan (Z), la partie fixe (2) comportant au moins des premières électrodes (8) s'étendant parallèlement à la direction de déplacement (Z) de la partie mobile (4), la partie mobile (4) comportant une masse sismique (18) et au moins des deuxièmes électrodes (20) s'étendant parallèlement à la direction de déplacement hors-plan (Z), les premières électrodes (8) et les deuxièmes électrodes (20) étant disposées les unes par rapport aux autres de sorte à être interdigitées, dans lequel les deuxième électrodes (20) sont directement connectée à la masse inertielle (18) et une partie seulement de la face de chaque électrode mobile (20) est en regard d'une électrode fixe (8) au repos.
摘要翻译：包括：固定部分（2）和可移动部分微机电传感器（4）悬挂在固定部分（2），使得所述可动部件（4）被适配为在一个移动方向至少移动到平面外（Z ），所述固定部分（2）具有至少第一电极（8）平行延伸的可动部（4）的位移方向（Z），（4），其具有振动质量的可动部分（18）和至少第二电极（20）平行于离面位移方向（Z）延伸，所述第一电极（8）和第二电极（20）相对于一个设置在其他以便可互相交叉的，其中，所述第二电极（20）被直接连接到所述惯性质量（18），只在可动电极的面的部分（20）是相对静止的固定电极（8）。

9. 发明公开

EP2811331A1 MEMS DEVICE AND ELECTRONIC INSTRUMENT HAVING PROJECTOR FUNCTION 失效
标题翻译： MEMS-VORRICHTUNG发射仪器仪器管理员工程师
公开(公告)号：EP2811331A1
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：EP13743464.3
申请日：2013-01-08
申请人： Funai Electric Co., Ltd.
发明人： MURAYAMA, Manabu , KUGO, Kouichi , INOUE, Naoki , FUJII, Hitoshi
IPC分类号： G02B26/10 , B81B3/00
CPC分类号： G02B26/101 , B81B3/0062 , B81B2201/042 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B26/0858 , G02B26/105 , G02B27/646
摘要： In a MEMS device (1), a first drive portion (40) is divided into a first drive section (41) and a second drive section (42). A second drive portion (50) is divided into a third drive section (51) and a fourth drive section (52). The first drive section, the second drive section, the third drive section, and the fourth drive section are controlled for driving independently of each other to incline an optical component (10).
摘要翻译：在MEMS装置（1）中，第一驱动部分（40）被分成第一驱动部分（41）和第二驱动部分（42）。第二驱动部分（50）被分成第三驱动部分（51）和第四驱动部分（52）。控制第一驱动部分，第二驱动部分，第三驱动部分和第四驱动部分以彼此独立地驱动以倾斜光学部件（10）。

10. 发明公开

EP2503681A1 DRIVE APPARATUS 审中-公开
标题翻译： ANTRIEBSVORRICHTUNG
公开(公告)号：EP2503681A1
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：EP09851455.7
申请日：2009-11-19
申请人： Pioneer Corporation
发明人： SUZUKI, Jun
IPC分类号： H02N2/00 , B81B3/00 , G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0062 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , G02B26/0858 , G02B26/101 , H01L41/09 , H02N1/008 , H02N2/10
摘要： A driving apparatus (100) is provided with: a base part (110); a driven part (130) capable of rotating; an elastic part (120); and an applying part (140) for applying to the base part microvibration for rotating the driven part around an axis along one direction (Y-axis) such that the driven part rotates while resonating at a resonance frequency determined by the elastic part and the driven part.
摘要翻译：驱动装置（100）具有：基部（110）; 驱动部件（130），能够旋转; 弹性部分（120）; 以及施加部件（140），用于向所述基部微振动施加用于沿着沿着一个方向（Y轴）的轴线旋转所述被驱动部件，使得所述从动部件以由所述弹性部件和所驱动的确定的共振频率共振而旋转部分。

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