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    • 5. 发明公开
    • Bandbeschichtungseinrichtung
    • EP1611961A2
    • 2006-01-04
    • EP05105489.8
    • 2005-06-21
    • Voest-Alpine Industrieanlagenbau GmbH & Co.
    • Viehböck, Andreas, Ing.Dussing, Horst, Ing.
    • B05C1/08
    • B05C1/0878B05C1/0813B05C1/083B05C1/0834B05C11/02
    • Eine Bandbeschichtungseinrichtung zum Aufbringen eines Beschichtungsmittels auf ein bewegtes Metallband in einer vorbestimmten Schichtdicke umfasst eine auf einem Tragschlitten (6, 16, 25, 37) abgestützten Beschichtungsrolle (13, 22, 30, 43) und eine dem Tragschlitten zugeordnete Verstelleinrichtung (9, 18, 27, 39), mit der die Beschichtungsrolle mit einer bestimmten Anstellkraft oder auf eine bestimmte Anstellposition gegen das bewegte Metallband oder eine weitere Beschichtungsrolle geregelt angestellt ist. Um das Auftragen eines Beschichtungsmittels wesentlich gleichmäßiger und innerhalb geringerer Toleranzbereiche als bisher üblich zu ermöglichen, wird vorgeschlagen, dass die Verstelleinrichtung als kompakte Baueinheit (52) ausgebildet ist und diese kompakte Baueinheit die Anstellkraft bewirkende Antriebseinrichtungen (53) und die Anstellkraft überwachende Messeinrichtungen (54) umfasst, wobei alle hydraulischen Steuerleitungen an der Antriebseinrichtung innerhalb der kompakten Baueinheit angeordnet sind.
      Weiters wird ein Verfahren zum gleichmäßigen Aufbringen eines Beschichtungsmittels mit vorbestimmter Schichtdicke auf ein bewegtes Metallband vorgeschlagen.
    • 用于将涂覆介质施加到移动金属带上的带涂层装置具有支撑在托架上的涂布辊和分配给托架的调节装置。 该调整装置构造成紧凑的模块化单元(52),其配备有施加调节力的驱动单元(53)和监视其的测量装置(54)。 驱动单元上的所有液压控制线位于紧凑型模块单元内。 包括用于将带有预定厚度的涂层介质施加到带涂装置中的移动金属带上的方法的独立权利要求。
    • 6. 发明公开
    • Applying apparatus and method of controlling film thickness for enabling uniform thickness
    • 以实现涂层的装置和方法,用于控制层厚度的均匀厚度
    • EP1271245A2
    • 2003-01-02
    • EP02013101.7
    • 2002-06-13
    • NEC CORPORATION
    • Shimane, Takashi
    • G03F7/16
    • H01L21/67253B05B12/084B05C11/02B05C11/08G03F7/162
    • An applying apparatus includes an applying unit for applying a photoresist to a semiconductor wafer on the basis of an applying condition, a thickness measuring unit for measuring the film thickness of the photoresist applied, and a control unit for controlling the applying unit. On the basis of information on the applying condition for a predetermined number of samples and information on the film thickness on the predetermined number of samples, the control unit plots an approximate curve that indicates the relation between the film thickness and the applying condition of the predetermined number of samples. When the applying apparatus starts its actual operation, the control unit calculates a correction value of the applying condition from a thickness target value on the basis of the plotted approximate curve, and generates a control signal for controlling the applying condition on the basis of the calculated correction value.
    • 的涂布装置包括施加单元,用于形成涂布的条件的基础上施加光致抗蚀剂的半导体晶片,厚度测量单元,用于测量光致抗蚀剂应用的膜厚度,以及用于控制施加单元的控制单元。 上对样品的预定数量的信息和关于采样的预定数量的膜厚度施加条件信息的基础上,近似曲线那样的控制单元曲线表示膜厚度和预定的施加状态之间的关系 样本数。 当施加装置开始其实际手术中,控制单元计算从所绘制的近似曲线的基础上的厚度目标值施加条件的校正值,并且基因率用于控制所述计算的基础上,在施加状态的控制信号 修正值。
    • 8. 发明公开
    • Farbvorhang-Aufttragsvorrichtung
    • 色盲Aufttragsvorrichtung
    • EP0933674A3
    • 2000-05-24
    • EP98123139.2
    • 1998-12-04
    • Voith Sulzer Papiertechnik Patent GmbH
    • Kustermann, Martin Dr.
    • G03C1/74B05C5/00D21H23/48
    • B05C5/008B05C11/02D21H23/48G01F1/66G01F1/661G05D5/03Y10S118/04
    • Eine Vorrichtung (10) zum direkten oder indirekten Auftragen von flüssigem oder pastösem Auftragsmedium (14) auf eine laufende Materialbahn (18), insbesondere aus Papier oder Karton, umfaßt neben einem Farbvorhang-Auftragswerk (12), wenigstens eine Sensoreinrichtung (46/48/48) zum Erfassen der Strichmnge der auf die Materialbahn (18) aufgetragenen Auftragsmedium-Schicht (14a) und zum Bereitstellen eines entsprechenden Strichmengen-Signals (Δ G ), wenigstens eine Stellvorrichtung (38/40) zum Verändern wenigstens einer Stellgröße des Farbvorhang-Auftragswerks (12), von welcher die Strichmenge der auf die Materialbahn (18) aufgetragenen Auftragsmedium-Schicht (14a) abhängt, und eine Steuereinheit (42), welche das von der wenigstens einen Sensoreinrichtung (46/48/48) bereitgestellte Strichmengen-Signal (Δ G ) empfängt, in Abhängigkeit dieses Strichmengen-Signals (Δ G ) wenigstens einen Sollwert für die wenigstens eine Stellgröße bestimmt und die wenigstens eine Stellvorrichtung (38/40) auf Grundlage des wenigstens einen Stellgrößen-Sollwerts ansteuert.
    • 为液体或糊状施用介质(14)移动的材料幅(18),尤其是纸或纸板的直接或间接的应用的设备(10),包括除了滤色帘施加单元(12),至少一个传感器装置(46/48 / 48)施加用于检测的Strichmnge(材料幅18)应用介质层(14a)和上(用于提供一个相应的行程量信号ΔG),至少一个致动装置(38/40),用于改变颜色帘施用器单元的至少一个操纵变量( 12)从其中的行程量(材料18)的幅材上施加施用介质层(14a)的依赖,以及控制单元(42),它(该图像由所述至少一个传感器设备(46/48/48提供)行程量信号ΔG )接收,在依赖的调整装置3上确定用于所述至少一个操纵变量和至少至少一个所希望的值这行频信号(ΔG)( 8/40)基于至少一个操纵变量设定点。