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1. 发明公开

EP1216772A3 Verfahren zur Herstellung eines Rohrtargets 有权
标题翻译：一种用于生产管的目标方法
公开(公告)号：EP1216772A3
公开(公告)日：2004-01-02
申请号：EP01128199.5
申请日：2001-11-28
申请人： W.C. Heraeus GmbH & Co. KG
发明人： Heck, Ralf , Jüttner, Rainer , Lupton, David Francis, Dr. , Maier, Egon , Mainz, Peter , Manhardt, Harald , Stenger, Bernd , Zingg, Holger
IPC分类号： B22D19/00 , B22D27/04 , C23C14/34 , B22D7/02 , B22D19/08
CPC分类号： B22D19/16 , B22D9/006 , B22D27/04 , C23C14/3414
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Rohrtargets für Kathodenzerstäubungsanlagen, wobei das Rohrtarget aus einem metallischen Innenrohr aus einem ersten Material mit einem ersten Schmelzpunkt T s1 von ≥ 900 K und einem das Innenrohr konzentrisch umgebenden metallischen Außenrohr aus einem zweiten Material mit einem zweiten Schmelzpunkt T s2 von ≤ 800 K gebildet wird und wobei der Innendurchmesser des Außenrohres mit dem Außendurchmesser des Innenrohres formschlüssig und mechanisch fest verbunden wird. Ein einfaches und kostengünstiges Verfahren zur Herstellung von Rohrtargets für Kathodenzerstäubungsanlagen, mit dem in einem zu zerstäubenden Außenrohr mit einem Schmelzpunkt ≤ 800 K eine hohe Reinheit und ein gerichtetes Gefüge erzeugt werden kann, wird dadurch bereitgestellt, dass das Außenrohr durch Gießen des zweiten Materials in schmelzflüssigem Zustand in eine zylindrische, senkrecht stehende beheizte Gießkokille gebildet wird, wobei die Gießkokille einen beheizten Dorn aufweist, der aus dem Innenrohr gebildet wird, und dass nach Befüllen eines Raumes zwischen Gießkokille und Innenrohr mit dem schmelzflüssigen zweiten Material ein erster Temperaturgradient zwischen Innenrohr und Gießkokille ausgebildet wird, dass ein zweiter Temperaturgradient zwischen Unter- und Oberseite der Gießkokille ausgebildet wird und dass das Außenrohr gleichzeitig von innen nach außen und von unten nach oben abgekühlt wird.

2. 发明授权

EP1178519B1 SiO2-Glaskolben mit mindestens einer Stromdurchführung, Verfahren zur Herstellung einer gasdichten Verbindung zwischen beiden sowie ihre Verwendung in einer Gasentladungslampe 有权
标题翻译：具有使两者之间的气密连接的至少一个电流导通，方法和它们的使用在气体放电灯的SiO 2个玻璃灯泡
公开(公告)号：EP1178519B1
公开(公告)日：2004-02-11
申请号：EP01116803.6
申请日：2001-07-10
申请人： W.C. Heraeus GmbH & Co. KG
发明人： Lupton, David Francis, Dr. , Schielke, Jörg , Schölz, Friedhold , Zingg, Holger
IPC分类号： H01J61/36 , H01J5/46
CPC分类号： H01J61/36 , H01J5/46

3. 发明公开

EP1178519A1 SiO2-Glaskolben mit mindestens einer Stromdurchführung, Verfahren zur Herstellung einer gasdichten Verbindung zwischen beiden sowie ihre Verwendung in einer Gasentladungslampe 有权
标题翻译：具有使两者之间的气密连接的至少一个电流导通，方法和它们的使用在气体放电灯的SiO 2个玻璃灯泡
公开(公告)号：EP1178519A1
公开(公告)日：2002-02-06
申请号：EP01116803.6
申请日：2001-07-10
申请人： W.C. Heraeus GmbH & Co. KG
发明人： Lupton, David Francis, Dr. , Schielke, Jörg , Schölz, Friedhold , Zingg, Holger
IPC分类号： H01J61/36 , H01J5/46
CPC分类号： H01J61/36 , H01J5/46
摘要： Die Erfindung betrifft einen SiO 2 -Glaskolben mit mindestens einer Stromdurchführung aus einem gasdichten Kompositmaterial, wobei das Kompositmaterial aus einem Edelmetall mit einem Schmelzpunkt > 1700°C und aus SiO 2 gebildet ist, und wobei das Kompositmaterial zumindest teilweise mit einer SiO 2 -Schicht bedeckt ist. Es stellt sich das Problem, eine gasdichte, korrosionsbeständige Stromdurchführung für einen SiO 2 -Glaskolben, vorzugsweise einer Entladungslampe, bereitzustellen, die eine hohe elektrische Leitfähigkeit besitzt und die einfach herzustellen und zu handhaben ist. Das Problem wird dadurch gelöst, dass das Edelmetall und das SiO 2 homogen im Kompositmaterial verteilt sind, dass ein Edelmetallanteil im Kompositmaterial in einem Bereich von ≥ 10 Vol.-% bis ≤ 50 Vol.-% vorhanden ist und dass die SiO 2 -Schicht das Kompositmaterial zumindest im Bereich der Verbindung mit dem SiO 2 -Glaskolben bedeckt.
摘要翻译：的SiO 2玻璃灯泡与至少一个电流引线中由气密复合材料，研究了与熔点> 1700℃和SiO 2做了贵金属的复合材料besteht并且至少部分地涂覆有 SiO 2的层。贵金属和在SiO 2被均匀地分布在复合材料中。该复合材料的贵金属含量为> = 10体积％到<= 50体积。％，且SiO 2涂层覆盖在与SiO 2玻璃灯泡的连接区域中的至少所述复合材料。

4. 发明公开

EP1216772A2 Verfahren zur Herstellung eines Rohrtargets 有权
标题翻译：一种用于生产管的目标方法
公开(公告)号：EP1216772A2
公开(公告)日：2002-06-26
申请号：EP01128199.5
申请日：2001-11-28
申请人： W.C. Heraeus GmbH & Co. KG
发明人： Heck, Ralf , Jüttner, Rainer , Lupton, David Francis, Dr. , Maier, Egon , Mainz, Peter , Manhardt, Harald , Stenger, Bernd , Zingg, Holger
IPC分类号： B22D19/00 , B22D27/04 , C23C14/34
CPC分类号： B22D19/16 , B22D9/006 , B22D27/04 , C23C14/3414
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Rohrtargets für Kathodenzerstäubungsanlagen, wobei das Rohrtarget aus einem metallischen Innenrohr aus einem ersten Material mit einem ersten Schmelzpunkt T s1 von ≥ 900 K und einem das Innenrohr konzentrisch umgebenden metallischen Außenrohr aus einem zweiten Material mit einem zweiten Schmelzpunkt T s2 von ≤ 800 K gebildet wird und wobei der Innendurchmesser des Außenrohres mit dem Außendurchmesser des Innenrohres formschlüssig und mechanisch fest verbunden wird. Ein einfaches und kostengünstiges Verfahren zur Herstellung von Rohrtargets für Kathodenzerstäubungsanlagen, mit dem in einem zu zerstäubenden Außenrohr mit einem Schmelzpunkt ≤ 800 K eine hohe Reinheit und ein gerichtetes Gefüge erzeugt werden kann, wird dadurch bereitgestellt, dass das Außenrohr durch Gießen des zweiten Materials in schmelzflüssigem Zustand in eine zylindrische, senkrecht stehende beheizte Gießkokille gebildet wird, wobei die Gießkokille einen beheizten Dorn aufweist, der aus dem Innenrohr gebildet wird, und dass nach Befüllen eines Raumes zwischen Gießkokille und Innenrohr mit dem schmelzflüssigen zweiten Material ein erster Temperaturgradient zwischen Innenrohr und Gießkokille ausgebildet wird, dass ein zweiter Temperaturgradient zwischen Unter- und Oberseite der Gießkokille ausgebildet wird und dass das Außenrohr gleichzeitig von innen nach außen und von unten nach oben abgekühlt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于生产管靶阴极溅射植物具有由由具有> = 900 K的第一熔点T s1和内管同心地围绕具有TS2的第二熔点的第二材料的金属外管的第一材料构成的金属内管的管目标的<= 800 K的形成，并且其中，所述外管的与所述内管的外径的内径为正且机械固定地连接。可以通过在生产用于生产用于阴极溅射管靶的简单和廉价的方法，= 800 K，高纯度和定向微观结构待雾化熔点<由外管提供通过在铸造第二材料外管熔融状态形成为圆柱形，垂直竖立加热铸模，所述具有被内管构成的加热的心轴上铸模，并且该铸模并与熔融的第二材料的内管之间的第一温度梯度内管和所述铸模之间填充空间后形成在该第二温度梯度的铸模的下和上侧之间，并且所述外管被同时冷却从内到外和从底部到顶部形成。

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