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    • 4. 发明公开
    • Membranvakuumpumpe
    • EP2354546A1
    • 2011-08-10
    • EP11000369.6
    • 2011-01-19
    • VACUUBRAND GMBH + CO KG
    • Dirscherl, Jürgen, Dr.Rüster, Gerhard
    • F04B7/00F04B7/02F04B23/06F04B41/06F04B43/02F04B45/04F01L25/02F01L25/08
    • F04B7/0266F01L3/205F01L9/02F01L9/04F01L25/02F01L2003/25F04B7/0076F04B23/06F04B41/06F04B43/02F04B45/04
    • Membranvakuumpumpe mit einem Gehäuse (1), das einen an einer Seite von einer beweglichen, randseitig im Gehäuse (1) eingespannten Membran (2) begrenzten Schöpfraum (4) aufweist, mit einem den Schöpfraum (4) gegenüber der Membran (2) begrenzenden Gehäusekopf (5), in dem aus einem Kopfdeckel (6) und einem Gehäusedeckel (7) gebildet ist und in dem mindestens eine in den Schöpfraum (4) führende Ansaugleitung (8) mit einer Einlassventilanordnung (9) und mindestens eine aus dem Schöpfraum (4) führende Ausstoßleitung (10) mit einer Auslassventilanordnung (11) angeordnet ist, wobei die Einlassventilanordnung (9) eine Einlass-Ventilöffnung (12) und einen die Einlass-Ventilöffnung (12) bei Überdruck im Schöpfraum (4) relativ zur Ansaugleitung (8) schließenden Einlass-Ventilkörper (13) und die Auslassventilanordnung (11) eine Auslass-Ventilöffnung (14) und einen die Auslass-Ventilöffnung (14) bei Unterdruck im Schöpfraum (4) relativ zur Ausstoßleitung (10) schließenden Auslass-Ventilkörper (15) aufweist, wobei die konstruktiv vorgegebene Bewegungsrichtung des Einlass-Ventilkörpers (13) und/oder des Auslass-Ventilkörpers (15) im wesentlichen der Gasströmungsrichtung an der entsprechenden Ventilöffnung (12; 14) entspricht und der Einlass-Ventilkörper (13) und/oder der Auslass-Ventilkörper (15) bei hinreichendem Gasdruck von der jeweiligen Gasströmung an der Einlass-Ventilöffnung (12) bzw. der Auslass-Ventilöffnung (14) jedenfalls überwiegend in Gasströmungsrichtung bewegbar ist. Die vorliegenden Membranvakuumpumpe ist für saugseitige niedrige Drücke dadurch besonders geeignet, dass der Einlassventilanordnung (9) ein elektrischer, hydraulischer oder pneumatischer Einlass-Aktuator (16) zugeordnet ist, der einen am Gehäusekopf (5) fest montierten Teil (17) und einen mit dem Einlass-Ventilkörper (13) gekuppelten, angetriebenen, beweglichen Teil (18) aufweist und dass der Einlass-Aktuator (16) gegenüber der Einlassventilanordnung (9) so angeordnet ist, dass die vom Aktuator (16) verursachte Bewegungsrichtung des beweglichen Teils (18) gegenüber dem feststehenden Teil (17) mit der von der Gasströmung verursachten Bewegungsrichtung des Einlass-Ventilkörpers (13) im Wesentlichen übereinstimmt, und/oder dass der Auslassventilanordnung (11) ein elektrischer, hydraulischer oder pneumatischer Auslass-Aktuator (16') zugeordnet ist, der einen am Gehäusekopf (5) fest montierten Teil (17') und einen mit dem Auslass-Ventilkörper (15) gekuppelten, angetriebenen, beweglichen Teil (18') aufweist, und dass der Auslass-Aktuator (16') gegenüber der Auslassventilanordnung (11) so angeordnet ist, dass die vom Aktuator (16') verursachte Bewegungsrichtung des beweglichen Teils (18') gegenüber dem feststehenden Teil (17') mit der von der Gasströmung verursachten Bewegungsrichtung des Auslass-Ventilkörpers (15) im Wesentlichen übereinstimmt.
    • 泵具有设置有电动,液压或气动排气致动器(16')的出口阀组件(11),其中致动器的部件(17')固定地安装在壳体头部。 致动器的另一部分(18')与出口阀体(15)联接,驱动和移动。 致动器布置成与阀组件相对,使得致动器的可动部分的运动方向与致动器的与安装部件的运动方向相反的运动方向与出口阀体的运动方向一致 由气流引起。 致动器被设计为与复位弹簧集成的电磁阀,或压电致动器,例如压电致动器或磁致伸缩致动器。
    • 9. 发明公开
    • Oszillierende Verdrängervakuumpumpe
    • OszillierendeVerdrängervakuumpumpe
    • EP2163763A1
    • 2010-03-17
    • EP09009702.3
    • 2009-07-28
    • Vacuubrand GMBH + CO KG
    • Dirscherl, Jürgen, Dr.Gitmans, Frank, Dr.
    • F04B49/02F04B37/14
    • F04B49/02F04B37/14F04B49/022
    • Gegenstand der Erfindung ist eine oszillierende Verdrängervakuumpumpe mit einem Gehäuse (2), das einen Innenraum bildet, und einem im Innenraum angeordneten oszillierenden Element (4). Der Innenraum ist vom oszillierenden Element (4) in einen mit Einlaß- und Auslaßöffnungen (5, 6) versehenen Schöpfraum (7) über/vor dem Element (4) und einen Antriebsraum (8) unter/hinter dem Element (4) abdichtend unterteilt. Gemäß der Erfindung ist vorgesehen, daß der Antriebsraum (8) selbst zur Umgebungsatmosphäre hin zumindest weitgehend abgedichtet ist, am Antriebsraum (8) ein Drucksensor (9) angeordnet ist, mit dem der Druck im Antriebsraum (8) gemessen wird. In einer Alternative dazu ist vorgesehen, daß der Antriebsraum (8) selbst zur Umgebungsatmosphäre hin nicht oder wenig abgedichtet ist, daß im Antriebsraum (8) unter/hinter dem abdichtenden, oszillierenden Element (4) mit Abstand davon ein weiteres abdichtendes Element (11) angeordnet ist, daß am Antriebsraum (8) im Zwischenraum (12) zwischen den Elementen (4, 11) ein Drucksensor (9) angeordnet ist, mit dem der Druck im Zwischenraum (12) gemessen wird. Bei Messung eines gegenüber dem nortnalerweise betriebsmäßig zu erwartenden Druckes im Antriebsraum (8) bzw. im Zwischenraum (12) wesentlich niedrigeren Druck im Zwischenraum (12) durch den Drucksensor (9) wird von einer Auswerteschaltung (10) ein entsprechendes Warnsignal, Steuersignal oder Abschaltsignal generiert.
    • 振荡式正排量真空泵(1)具有驱动室(8),该驱动室(8)被广泛地密封在周围的大气中,使得压力传感器(9)布置在驱动室处。 在驱动室中测量压力。 控制信号或关闭信号由压力传感器产生,同时根据来自评估电路(10)的报警信号测量驱动室中的低压。
    • 10. 发明公开
    • Oszillierende Verdrängervakuumpumpe
    • OszillierendeVerdrängervakuumpumpe
    • EP2444666A1
    • 2012-04-25
    • EP11009487.7
    • 2009-12-17
    • VACUUBRAND GMBH + CO KG
    • Dirscherl, Jürgen, Dr.Gitmans, Frank, Dr.Rüster, GerhardRodemers-Mahler, Manfred
    • F04B1/04F04B39/00F16C19/46F16C33/46
    • F04B39/0022F04B1/0417F16C33/58F16C2360/42
    • Die Erfindung betrifft eine oszillierende Verdrängervakuumpumpe mit einer Antriebseinheit (1), die eine Welle (2) rotierend antreibt und einer Vorrichtung (5), die die rotierende Bewegung der Welle (2) in eine oszillierende Bewegung von Teilen (9) einer Fördereinrichtung zur Förderung von Gasen oder Dämpfen überträgt, wobei die Vorrichtung (5) zur Übertragung der rotierenden Bewegung in eine oszillierende Bewegung mindestens ein Lager (7) mit einem Innenring (10) und einem auf dem Innenring (10) gelagerten Außenring (11) aufweist, wobei der Innenring (10) auf der Welle (2) drehfest angebracht ist. Gekennzeichnet ist die Erfindung dadurch, dass die Lagerung des Außenrings (11) auf dem Innenring (10) als Rollen-, Wälz- oder Kugellager ausgeführt ist und dass dazu zwischen dem Innenring (10) und dem Außenring (11) ein Ring aus abrollenden Lagerelementen (12) angeordnet ist, dass der Innenring (10) selbst exzentrisch ausgebildet ist, so dass die zur Lagerung des Außenringes (11) dienende kreisringförmige äußere Lagerfläche (14) des Innenrings (10) exzentrisch zur Mittelachse der Welle (2) angeordnet ist, und dass der Innenring (10) mit mindestens einem Positioniermittel zur axialen Positionierung auf der Welle (2) versehen ist.
    • 泵具有驱动轴的驱动单元。 传送装置将轴的旋转运动传递到传送气体或蒸气的输送泵的部分的摆动运动中。 该装置具有在内圈上枢转的具有内圈(10)和外圈(11)的轴承(7)。 内圈以扭矩保证的方式安装在轴上。 内环是自偏心的,使得内圈的圆形外承载面(14)布置成偏心于轴的中轴线,其中承载面承载外环。