专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

EP0263994A1 Einrichtung zur Herstellung eines Gasgemisches 失效
标题翻译：装置，用于产生的气体混合物。
公开(公告)号：EP0263994A1
公开(公告)日：1988-04-20
申请号：EP87113631.3
申请日：1987-09-17
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Schramm, Herbert, Dipl.-Ing.(FH)
IPC分类号： H01S3/036 , H01J7/14
CPC分类号： H01S3/041 , H01S3/036
摘要： Gasgemische werden häufig, beispielsweise beim Betrieb von Gaslasern, in einem geschlossenen Kreis umgewälzt und bestehen aus Gemischanteilen mit sehr unterschiedlichen Partialdrücken (beispielsweise 25 hPa gegenüber 5000 hPa). Beim Betrieb von Gaslasern (10) wird in immer kürzeren Intervallen ein Gemischanteil mit niedrigem Partialdruck nachgefüllt und erfolgt beim Erreichen einer Mindestdauer dieser Intervalle ein vollständiger Austausch des Gasgemisches. Erfindungsgemäß ist in mindestens einem Parallelzweig (14, 14ʹ) zu einem nahezu strömungsverlustfreien Abschnitt einer das Gasgemisch führenden Ringleitung (12) ein Differenzdruckaufnehmer (1, 1ʹ) mit einem Gesamtmeßbereich entsprechend der niedrigen Partialdrücke in Reihe mit einem Magnetventil (2, 2ʹ) angeordnet, ist die Auffüllung der Gemischanteile mit niedrigem Partialdruck bei ausschließlich hierbei geschlossenem Magnetventil (2, 2ʹ) über den Differenzdruckaufnehmer (1, 1ʹ) geregelt und ist mindestens die Auffüllung des Gemischanteils mit dem höchsten Partialdruck über einen Absolutdruckaufnehmer (3) geregelt. Die erfindungsgemäße Einrichtung ist vor allem zum automatisierten Herstellen von Gasgemischen aus mehreren Einzelgasen mit sehr unterschiedlichen Volumenanteilen zur Verwendung bei einem Gaslaser geeignet und ermöglicht darüber hinaus eine relativ einfache automatisierte Konstanthaltung der niedrigen Partialdrücke während des Einsatzes des Gasgemisches.
摘要翻译：气体混合物常常，例如在气体激光器，在闭合回路中循环的操作，并且由混合物组分的具有非常不同的分压（例如，25百帕至5000百帕斯卡）。在气体激光器（10）中的更短的时间间隔的操作，混合物中的比例被补充以低的分压和发生在达到这些间隔的最小长度的完全替代的气体混合物的。根据本发明，在至少一个并联支路（14，14“），从而导致混合气体环线（12）的压力差换能器（1,1的几乎流无损耗部”，其具有对应于低的分压串联的电磁阀（2，2'一总的测量范围）排列），具有纯粹此低分压的混合物组分的补充“经由压差换能器（1,1）”）被调节和至少一个具有绝对压力的最高分压混合物组分的补充关闭电磁阀（2，2（3）控制的，本发明的装置特别适用于具有气体激光器中使用非常不同体积分数几个单独的气体的气体混合物的自动化制造，并且还使得能够使用的气体混合物的过程中低局部压力的一个相对简单的自动稳定化。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式