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1. 发明公开

EP0465229A1 Micropump and process for manufacturing a micropump 失效
标题翻译： Mikropumpe和Verfahren zur Herstellung einer Mikropumpe。
公开(公告)号：EP0465229A1
公开(公告)日：1992-01-08
申请号：EP91306015.8
申请日：1991-07-02
申请人： SEIKO EPSON CORPORATION
发明人： Kamisuki, Shinichi , Nose, Yasuto , Shimizu, Nobuo , Yotsuya, Shinichi
IPC分类号： F04B43/04 , F04B21/02 , H01L21/308
CPC分类号： B81B3/0005 , B81B2201/036 , B81B2201/054 , B81B2203/0127 , F04B43/046 , F04B53/102 , H01L21/3083
摘要： The present invention provides a micropump comprising a silicon substrate (38), which is sandwiched between glass substrates (39, 40) and which is formed with a diaphragm (36) and a valve, the valve including a valve membrane (50) and a valve member (35) for controlling fluid flow through a through-hole (34a) in the valve membrane, the valve member engaging one of the glass substrates. The diaphragm and the valve membrane are disposed closer to the glass substrate engaged by the valve member than to the other glass substrate.
摘要翻译：本发明提供了一种微型泵，其包括被夹在玻璃基板（39,40）之间并形成有隔膜（36）和阀的硅基板（38），所述阀包括阀膜（50）和阀用于控制通过阀膜中的通孔（34a）的流体流动的阀构件（35），阀构件接合玻璃基板中的一个。隔膜和阀膜设置成比与其他玻璃基板接近的与阀构件接合的玻璃基板更靠近。

2. 发明授权

EP0465229B1 Micropump and process for manufacturing a micropump 失效
标题翻译：微泵及用于制造微泵的方法。
公开(公告)号：EP0465229B1
公开(公告)日：1994-12-28
申请号：EP91306015.8
申请日：1991-07-02
申请人： SEIKO EPSON CORPORATION
发明人： Kamisuki, Shinichi , Nose, Yasuto , Shimizu, Nobuo , Yotsuya, Shinichi
IPC分类号： F04B43/04 , F04B21/02 , H01L21/308
CPC分类号： B81B3/0005 , B81B2201/036 , B81B2201/054 , B81B2203/0127 , F04B43/046 , F04B53/102 , H01L21/3083

3. 发明授权

EP0435653B1 Micropump 失效
标题翻译：微泵
公开(公告)号：EP0435653B1
公开(公告)日：1994-06-01
申请号：EP90314255.2
申请日：1990-12-24
申请人： SEIKO EPSON CORPORATION
发明人： Miyazaki, Hajime , Handa, Masaaki , Uehara, Taisuke , Muranaka, Tsukasa , Kamisuki, Shinichi , Nose, Yasuto
IPC分类号： F04B43/04 , F04B21/02
CPC分类号： F04B53/1092 , B01L2400/0481 , F04B43/046 , H01L41/042

4. 发明公开

EP0435653A1 Micropump 失效
标题翻译： Mikropumpe。
公开(公告)号：EP0435653A1
公开(公告)日：1991-07-03
申请号：EP90314255.2
申请日：1990-12-24
申请人： SEIKO EPSON CORPORATION
发明人： Miyazaki, Hajime , Handa, Masaaki , Uehara, Taisuke , Muranaka, Tsukasa , Kamisuki, Shinichi , Nose, Yasuto
IPC分类号： F04B43/04 , F04B21/02
CPC分类号： F04B53/1092 , B01L2400/0481 , F04B43/046 , H01L41/042
摘要： A micropump comprising a substrate (1) having an inlet port (11) and an outlet port (12); pump plate means (2) mounted on the substrate (1), portions of the pump plate means (2) forming an inlet valve (4) and an outlet valve (5) which respectively control flow through the inlet port (11) and the outlet port (12); a diaphragm (6) which forms at least part of a wall of a pump chamber (121) in the pump plate means (2), the pump plate means (2) having conduit means (111-120,122) for the flow of fluid from the inlet port (11) and via the pump chamber (121) to the outlet port (12); and drive means (7) for effecting pumping movement of the diaphragm (6) characterised in that the outlet valve (5) covers an inlet (12a) of the outlet port (12) so that, when the outlet valve (5) is closed, it caps the outlet port (12).
摘要翻译：一种微型泵，包括具有入口端口（11）和出口（12）的基板（1）。泵板装置（2）安装在基板（1）上，泵板装置（2）的形成入口阀（4）和出口阀（5）的部分分别控制通过入口（11）和出口（12）; 在泵板装置（2）中形成泵室（121）的壁的至少一部分的隔膜（6），所述泵板装置（2）具有导管装置（111-120,122），用于将流体从入口端口（11）并且经由泵室（121）到出口端口（12）; 以及驱动装置（7），用于进行所述隔膜（6）的泵送运动，其特征在于，所述出口阀（5）覆盖所述出口（12）的入口（12a），使得当所述出口阀（5）关闭时，它堵塞出口（12）。

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