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1. 发明公开

EP0523980A1 A field emission device and method for forming 失效
标题翻译： Feldemissionsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung。
公开(公告)号：EP0523980A1
公开(公告)日：1993-01-20
申请号：EP92306481.0
申请日：1992-07-15
申请人： MOTOROLA, INC.
发明人： Kane, Robert C. , Hilgers, Kevin B.
IPC分类号： H01J9/02 , H01J1/30
CPC分类号： H01J3/021 , H01J1/3042 , H01J9/025
摘要： A method of producing an FED including a central conductive region (103) having a surface perpendicular to the supporting structure (101) forming a device anode, a structure including first (106) and second (112) layers.of intrinsic semiconductor material with a conductive layer (105), forming an emitter, sandwiched therebetween and stacked to each provide a surface parallel to and spaced from the conductive region (103) surface, and conductive layers (114) disposed on the provided surfaces of the first (106) and second 9112) layers, perpendicular to the sandwiched conductive layer (105), in spaced relation to each other and the sandwiched conductive layer (105) to form gate extraction electrodes.
摘要翻译：一种制造FED的方法，包括具有垂直于形成器件阳极的支撑结构（101）的表面的中心导电区（103），包括本征半导体材料的第一（106）和第二（112）层的结构，其具有导电层（105），形成发射极，夹在它们之间并且层叠以提供与导电区域（103）表面平行并与之隔开的表面，以及布置在第一（106）的所提供的表面上的导电层（114）和垂直于夹层导电层（105）的第二层9112）彼此间隔开并且夹持导电层（105）形成栅极引出电极。

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