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1. 发明授权

EP0224630B1 Verfahren zur Herstellen einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Metall 失效
标题翻译：用于制造多个由金属制成的板状微结构体的方法
公开(公告)号：EP0224630B1
公开(公告)日：1990-08-29
申请号：EP86103636.6
申请日：1986-03-18
申请人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人： Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr. , Maner, Asim, Dr. , Münchmeyer, Dietrich, Dr. , Becker, Erwin, Prof. Dr.
IPC分类号： C25D1/10 , B01D59/18
CPC分类号： B81C99/008 , B81C2201/0128 , B81C2201/032 , B81C2201/034 , C25D1/10

2. 发明授权

EP0202417B1 Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten 失效
标题翻译：制造旋转板的方法
公开(公告)号：EP0202417B1
公开(公告)日：1988-08-10
申请号：EP86103640.8
申请日：1986-03-18
申请人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人： Becker, Erwin, Prof. Dr. , Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr.
IPC分类号： B23P15/16
CPC分类号： C25D1/08 , B23P15/16

3. 发明授权

EP0202416B1 Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten 失效
标题翻译：生产喷丝板的方法
公开(公告)号：EP0202416B1
公开(公告)日：1988-08-10
申请号：EP86103637.4
申请日：1986-03-18
申请人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人： Becker, Erwin, Prof. Dr. , Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr.
IPC分类号： B23P15/16
CPC分类号： C25D1/08 , B23P15/16

4. 发明公开

EP0202417A1 Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten 失效
标题翻译：一种用于制造喷丝头板的方法。
公开(公告)号：EP0202417A1
公开(公告)日：1986-11-26
申请号：EP86103640.8
申请日：1986-03-18
申请人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人： Becker, Erwin, Prof. Dr. , Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr.
IPC分类号： B23P15/16
CPC分类号： C25D1/08 , B23P15/16
摘要： Zum Herstellen von Spinndüsenplatten mit insbesondere profilierten Spinndüsenkanälen von sehr kleinen Abmessungen der Düsenkapillaren wird eine Formplatte (12), die den Düsenkanälen entsprechende Formkanäle (11) enthält, mit einer Zuführungskanäle (13) enthaltenden Galvanikelektrode (14) zusammengefügt. Die aneinander anschließenden Formkanäle (11) und Zuführungskanäle (13) werden danach zur Bildung von mit der Galvanikelektrode (14) verbundenen Negativformen (21) der Spinndüsenkanäle gemeinsam mit einem elektrisch isolierenden Abformmaterial (22) aufgefüllt und die Formplatte (12) wird anschließend entfernt. Letztlich wird eine diese Negativformen (21) einschließende Galvanikschicht (31) erzeugt, worauf die Negativformen (21), und auch das Abformmaterial (22) aus den Zuführungskanälen (13), entfernt werden. Die Formplatte (12) kann dadurch hergestellt werden, daß durch partielle Entfernung von mit einer Galvanikelektrode verbundenem Resistmaterial nach dessen partieller Bestrahlung Negativformen der Formkanäle gebildet und durch eine Galvanikschicht eingeschlossen werden, wonach das Negativmaterial herausgelöst wird und gegebenenfalls die Galvanikelektrode vollständig oder teilweise entfernt wird.
摘要翻译：为了制造与管芯毛细管的非常小的尺寸的特别异形喷丝通道喷丝板中，包含相应的模具的通道（11）中的喷嘴通道，与进给通道一起的模具板（12）（13）电电极含有（14）。连接到喷丝头通道的阴模（21）邻接的模制通道（11）和供给通道（13）与所述电电极（14）和所述模具板（12）随后被去除后形成的电绝缘模制材料（22）一起填充。最后，所产生的这些包围阴模（21）镀覆层（31），于是从所述进给通道（13）的负形式（21），与压印材料（22）被去除。模具板（12）可以通过由部分去除一个具有电偶电极包扎后的成型通道的部分照射阴模形成的抗蚀剂材料，并通过一电镀层，在此之后，负材料溶解出来所包围的事实来制备，和任选的电电极是完全或部分地除去。

5. 发明授权

EP0328161B1 Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Metall 失效
标题翻译：用于生产具有多个微结构的金属体的方法
公开(公告)号：EP0328161B1
公开(公告)日：1992-12-16
申请号：EP89105375.3
申请日：1986-03-18
申请人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人： Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr. , Maner, Asim, Dr. , Münchmeyer, Dietrich, Dr. , Becker, Erwin, Prof. Dr.
IPC分类号： C25D1/10 , B01D59/18
CPC分类号： B81C99/008 , B81C2201/0128 , B81C2201/032 , B81C2201/034 , C25D1/10

6. 发明公开

EP0278059A2 Verfahren zur Herstellung eines Filters 失效
标题翻译：一种用于制造过滤器的方法。
公开(公告)号：EP0278059A2
公开(公告)日：1988-08-17
申请号：EP87115733.5
申请日：1987-10-27
申请人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人： Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr. , Mohr, Jürgen , Münchmeyer, Dietrich, Dr.
IPC分类号： B01D63/00
CPC分类号： G03F7/039 , B01D67/0058 , B01D69/10 , G03F7/0015 , Y10S55/42 , Y10S264/48
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Filters mit einer mikroporösen Membran und einer hiermit verbundenen Stützstruktur sowie ein nach diesem Verfahren hergestelltes Filter. Die Erfindung hat zur Aufgabe, ein Verfahren zur Herstellung eines Filters der gattungsgemäßen Art zu schaffen, das es gestattet, die Verteilung und die Querschnittsform der Poren der mikroporösen Membran sowie der Geometrie der Stützstruktur genau und ohne statistische Schwankungen nach einer frei wählbaren Vorgabe einzuhalten; sie ist gekennzeichnet durch folgende Schritte:

a) Herstellen einer Form für die Membran und die Stützstruktur;
b) Ausformen der Form mit einem durch energiereiche Strahlung in seiner Löslichkeit veränderbaren Formstoff;
c) partielles Durchstrahlen der Membran mit ernergiereicher Strahlung und Entfernen der Breiche, die eine erhöhte Löslichkeit haben.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造过滤器的微孔膜和一个附加的支撑结构和由该方法制造的过滤器的方法。本发明目的是提供用于制造通用型，这使得它能够保持分布和微孔膜的孔的横截面形状和所述支撑结构准确的和没有通过任意命令输入统计波动的几何形状的过滤器的方法; 其特征在于以下步骤：a）准备所述隔膜和所述支撑结构的模具; b）形成与由在其溶解度成型材料高能量辐射的可变模具; c）中的高能量辐射的膜的局部照射和除去富B的，其具有增加的溶解度。

7. 发明公开

EP0224630A1 Verfahren zur Herstellen einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Metall 失效
标题翻译：一种用于制造多个从金属板形微观结构体的过程。
公开(公告)号：EP0224630A1
公开(公告)日：1987-06-10
申请号：EP86103636.6
申请日：1986-03-18
申请人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人： Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr. , Maner, Asim, Dr. , Münchmeyer, Dietrich, Dr. , Becker, Erwin, Prof. Dr.
IPC分类号： C25D1/10 , B01D59/18
CPC分类号： B81C99/008 , B81C2201/0128 , B81C2201/032 , B81C2201/034 , C25D1/10
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Metall, bei dem durch wiederholtes Abformen eines die Mikrostrukturen aufweisenden Werkzeugs mit einer elektrisch isolierenden Abformmasse Negativformen der Mikrostrukturen erzeugt werden, die galvanisch mit einem Metall aufgefüllt werden, wonach die Negativform entfernt wird.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die mit einem Herstellungsverfahren nach dem Oberbegriff von Anspruch 1 verbundenen technischen und wirtschaftlichen Vorteile auch auf plattenförmige Mikrostrukturkörper zu übertragen, bei denen eine formschlüssige Verbindung der Formschicht mit einer als Handhabe bei der Entformung und als Galvanikelektrode geeigneten Abdeckplatte nicht oder nur mit erheblichem Aufwand möglich ist.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß

a) ein elektrisch leitendes Material wieder lösbar auf die Stirnfläche der Mikrostruktur des Werkzeugs aufgebracht und im Zuge des Abformens auf die diesen Stirnflächen gegenüberliegenden Bereiche (Formboden der Abformmasse übertragen wird, oder daß
b) die elektrisch isolierende Abformmasse mit einer weiteren Schicht aus elektrisch leitender Abformmasse verbunden wird, wobei die Dicke der elektrisch isolierenden Abformmasse der Höhe der Mikrostrukturen entspricht in der Weise, daß die elektrisch leitende Abformmasse im Zuge des Abformens die Stirnflächen der Mikrostrukturen des Werkzeugs berührt.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造由金属的多个板状的微结构体的方法中，通过重复地模制具有与所述微结构的电绝缘模制化合物负模具的工具，其中，其被流电填充有金属，于是负模具被移除的微结构创建。本发明的目的是基于发送与根据权利要求1的前序部分的制造方法有关的技术和经济优势，也为板形微结构体，其中，所述模制层的具有合适的去除过程中和作为电电极盖不是正连接作为把手只可能有相当大的努力。在一个实现的对象）上的工具的微结构的端面和在成型的面对部分这些端表面上的场（印模材料的形式底部释放地施加导电材料被传送时，或b）该电绝缘模制化合物与导电性成型化合物的另外的层，其中所述微结构的高度的电绝缘模制化合物的厚度以这样的方式对应地连接，在模制的在与工具的微结构的端面接触的过程中导电性成型化合物。

8. 发明公开

EP0202416A1 Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten 失效
标题翻译：一种用于制造喷丝头板的方法。
公开(公告)号：EP0202416A1
公开(公告)日：1986-11-26
申请号：EP86103637.4
申请日：1986-03-18
申请人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人： Becker, Erwin, Prof. Dr. , Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr.
IPC分类号： B23P15/16
CPC分类号： C25D1/08 , B23P15/16
摘要： Es sollen Spinndüsenplatten, insbesondere mit profilierten Düsenkapillaren hergestellt werden, bei welchen sich die kritischen Abmessungen der Düsenkapillaren mit tragbarem Aufwand auf Werte unter die mit den herkömmlichen Verfahren erreichbare Grenze absenken lassen. Dazu wird eine Schicht 11 aus durch energiereiche Strahlung in seinen Eigenschaften veränderbarem Material (Resistmaterial) mit einer Galvanikelektrode 12 verbunden. Weiter werden mit der Galvanikelektrode 12 verbundene Negativformen 21 der Düsenkapillaren durch partielles Bestrahlen und partielles Entfernen des Resistmaterials unter Ausnutzung der durch die Bestrahlung erzeugten unterschiedlichen Materialeigenschaften hergestellt und eine die Negativformen 21 der Düsenkapillaren einschließende Galvanikschicht 31 auf der Galvanikelektrode 12 erzeugt. Danach wird die Galvanikschicht 31 eingeebnet und die Negativformen 21 werden entfernt, ebenso die Galvanikelektrode 12.
摘要翻译：它应与异型模具毛细管的喷丝头被特别制成，其可以是而不引起不适当牺牲值以下的可实现与以往的方法限制降低了模头的毛细管的临界尺寸。用于此目的的变量通过高能辐射在其性质的层11敏感材料（抗蚀剂材料）被连接到一个电电极12 此外，模头毛细管由局部照射和部分除去利用由与连接到阴模21中的电极12的照射所产生的不同的材料特性的抗蚀剂材料的制备和产生负模具冲模毛细管21上的电电极12包围电镀膜31 其后，电镀层被调平31和负金属模21被移除，以及电化电极12

9. 发明授权

EP0278059B1 Verfahren zur Herstellung eines Filters 失效
标题翻译：制造过滤器的过程
公开(公告)号：EP0278059B1
公开(公告)日：1992-07-15
申请号：EP87115733.5
申请日：1987-10-27
申请人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人： Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr. , Mohr, Jürgen , Münchmeyer, Dietrich, Dr.
IPC分类号： B01D63/00
CPC分类号： G03F7/039 , B01D67/0058 , B01D69/10 , G03F7/0015 , Y10S55/42 , Y10S264/48

10. 发明授权

EP0209651B1 Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten 失效
标题翻译：制造旋转板的方法
公开(公告)号：EP0209651B1
公开(公告)日：1991-08-14
申请号：EP86105992.1
申请日：1986-04-30
申请人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人： Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr.
IPC分类号： C25D1/02 , G03F7/12
CPC分类号： C25D1/08 , Y10T29/49432

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