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1. 发明公开

EP1406090A1 Optoelektronischer Sensor insbesondere zur Detektion von makromolekularen Biopolymeren 审中-公开
标题翻译：传感器感光元件
公开(公告)号：EP1406090A1
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：EP03022285.5
申请日：2003-10-01
申请人： Infineon Technologies AG
发明人： Dertinger, Stephan , Fritz, Michaela , Haneder, Thomas , Hanke, Hans-Christian , Hofmann, Franz , Lehmann, Volker , Luyken, Richard Johannes , Martin, Alfred
IPC分类号： G01N33/543 , G01N21/77
CPC分类号： H01L31/102 , H01L31/0284 , H01L31/107
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einem flächig ausgebildetem Trägermaterial (10), welches über zumindest einen Oberflächenbereich verteilt eine Vielzahl von Poren (11) aufweist, welche sich von einer Oberfläche (12) des Trägermaterials zu der gegenüberliegenden Oberfläche (13) durchgängig erstrecken, wobei

die Poren jeweils durch eine Porenbegrenzungsfläche (14) der in dem Trägermaterial ausgebildeten Porenwände (15) begrenzt sind,
zumindest ein Teil der Porenwände mindestens bereichsweise einen Schichtaufbau mit einem ersten dotierten Halbleiterbereich (20) und einem von der Porenbegrenzungsfläche beabstandeten zweiten, komplementär dotierten Halbleiterbereich (30) unter Bildung eines p-noder eines p-i-n-Übergangs aufweist, und
der erste (20) und der zweite (30) Halbleiterbereich jeweils getrennt voneinander mit einem Anschlußkontakt zur Verschaltung des p-n- bzw. des p-i-n-Übergangs als Photodiode versehen sind.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung eignet sich als optoelektronischer Biosensor in Verfahren zum Nachweis biochemischer Reaktionen und/oder Bindungen sowie hierfür insbesondere zur Untersuchung von enzymatischen Reaktionen, Nukleinsäure-Hybridisierungen, Protein-Protein-Wechselwirkungen und Protein-Liganden-Wechselwirkungen.
摘要翻译：光电传感器系统包括具有从载体材料引导到面对表面的多个孔的平坦载体硅材料。孔被至少部分地具有层结构的壁限定。孔壁具有一部分用硼施加的多晶硅的半导体，以及与磷光体配合的硅的半导体的第二互补部分，以形成p-n或p-i-n结。光电传感器系统包括具有多个孔的平坦载体硅材料，其至少部分表面从载体材料导向到相对表面。通过至少部分地具有层结构的壁限定（14）孔。孔壁（15）具有用硼施加的多晶硅半导体的部分（20）和与磷光体配合的硅的半导体的第二互补部分（30），以形成p-n或p-i-n结。两个部分彼此分离，具有连接触点，以将该结切换为光电二极管。该结构包括电介质层（40），绝缘层和优选氧化物层（50）以及用于连接的接触开口（60）。

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