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    • 5. 发明公开
    • Infrared window
    • Infrarot-芬斯特。
    • EP0424183A1
    • 1991-04-24
    • EP90311534.3
    • 1990-10-19
    • INCO LIMITED
    • Paserin, VladimirBabjak, JurajEttel, Victor AlexanderAdams, Richard Stuart
    • C23C16/16C23C16/48
    • C23C16/16C23C16/481
    • The invention provides an apparatus for metal plating a substrate (18). The apparatus includes a chamber (12) adapted to receive metal carbonyl gas through inlet (14). The chamber includes an infrared transparent window (25-30). The infrared transparent window has a cooling passage (28) filled with liquid coolant. The liquid coolant has a temperature below which decompo­sition of the metal carbonyl gas occurs. The liquid coolant prevents decomposition of the metal carbonyl gas on the infrared transparent window. The liquid coolant also is substantially infrared transparent for allowing infrared radiation through the infrared transparent window and cooling passage into the chamber. An infrared radiation source (24) sends infrared radia­tion into the chamber.
    • 本发明提供一种用于金属电镀衬底(18)的装置。 该装置包括适于通过入口(14)接收金属羰基气体的腔室(12)。 该室包括红外线透明窗(25-30)。 红外透明窗口具有填充有液体冷却剂的冷却通道(28)。 液体冷却剂的温度低于此时羰基气体的分解发生。 液体冷却剂防止红外透明窗上的羰基气体分解。 液体冷却剂也基本上是红外透明的,以允许通过红外透明窗口的红外辐射和冷却通道进入腔室。 红外辐射源(24)将红外辐射发射到腔室中。