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1. 发明公开

EP0176735A2 Verfahren zur Druckmessung mit einem Gasreibungsvakuummeter und Gasreibungsvakuummeter zur Durchführung des Verfahrens 失效
标题翻译：一种用于测量与气体摩擦真空米和气体摩擦真空计，用于执行该方法的压力的方法。
公开(公告)号：EP0176735A2
公开(公告)日：1986-04-09
申请号：EP85110411.7
申请日：1985-08-20
申请人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH , RWD Datentechnik GmbH
发明人： Fremerey, Johan Kristian, Dr. , Lindenau, Bernd , Witthauer, Klaus
IPC分类号： G01L21/16
CPC分类号： G01L21/16
摘要： Zur Druckmessung ist ein Gasreibungsvakuummeter eingesetzt, in dessen Meßkopf zwischen elektrischen Antriebsspulen in magnetischem Feld ein Rotationskörper berührungslos gelagert ist. Der Rotationskörper wird mit Hilfe der Antriebsspulen in Drehung versetzt und oberhalb einer einer vorgegebenen minimalen Drehfrequenz gehalten. Infolge von Gasreibung auftretenden Drehzahlverminderungen des Rotationskörpers werden durch kontinuierliche oder intermittierende Beaufschlagung der Antriebsspulen mit Wechselstrom aus dem Drehstromgenerator ausgeglichen. Im Meßkopf des Gareibungsvakuummeters sind Sensoren angeordnet, die zur Erfassung der Drehfrequenz des Rotationskörpers dienen und Signale an eine elektronische Rechnereinheit weitergeben, welche aus der zeitlichen Veränderung der Drehfrequenz den Druck des den Rotationskörper umgebenden Gases ermittelt. Um den Einsatzbereich des Gasreibungsvakuummeters zu höheren Drucken hin zu erweitern, wird die Rechnereinheit zusätzlich mit einem elektrischen Signal, das mit der Temperatur des den Rotationskörper umgebenden Gases korreliert, in der Weise beaufschlagt, daß der Einfluß der durch den Antrieb des Rotationskörpers auf das Gas übertragenen Wärme auf die Druckmessung korrigiert wird.
摘要翻译：压力测量气体摩擦真空计在电驱动线圈之间的测量头用的，旋转体被安装接触无磁场中。旋转体由旋转驱动线圈的装置转动，并且保持在预定的最小值到旋转频率的上方。作为气体发生摩擦与来自交流发电机交流电的驱动线圈的旋转体的速度的减少的结果，以通过施加连续或间歇进行平衡。在传感器被布置在Gareibungsvakuummeters，其用于检测所述旋转体的旋转频率的测量头和将信号传递到其从周围的旋转体的气体的压力的旋转频率的时间变化确定的电子计算单元。为扩大气体摩擦真空计的应用范围，以更高的印刷出来，该计算机单元附加有与围绕所述旋转体气体的温度相关以这样的方式的电信号提供该信息由所述旋转体的驱动器到气体传送的影响在压力测量的热被校正。

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