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    • 1. 发明公开
    • INDUKTIVE POSITIONSMESSEINRICHTUNG
    • EP3495781A1
    • 2019-06-12
    • EP18193629.5
    • 2018-09-11
    • Dr. Johannes Heidenhain GmbH
    • TIEMANN, Marc OliverFRANK, AlexanderHEUMANN, Dr. MartinAUER, DanielSELL, Oliver
    • G01D5/20
    • Die Erfindung betrifft eine induktive Positionsmesseinrichtung, die ein Abtastelement (1) und ein Teilungselement (2) aufweist, wobei das Teilungselement (2) relativ zum Abtastelement (1) um eine Achse (A) drehbar angeordnet ist. Das Abtastelement (1) weist zumindest eine Erregerleitung (1.3, 1.4) auf. Das Abtastelement (1) weist zudem eine erste Empfängerspur (1.1), die zumindest eine Empfängerleitung (1.11, 1.12) umfasst, welche gemäß einem ersten periodischen Muster mit einer ersten Periode (P1.1) entlang einer ersten Richtung (X) verläuft. Außerdem weist das Abtastelement (1) eine zweite Empfängerspur (1.2) auf, die zumindest eine Empfängerleitung (1.21, 1.22) umfasst. Das Teilungselement (2) umfasst eine Teilungsspur (2.1), die sich in Umfangsrichtung (U) erstreckt und entlang eine Teilungsperiode (P2.1) aufweist. Weiterhin ist die Positionsmesseinrichtung so konfiguriert, dass ein durch die Teilungsspur (2.1) von der zumindest einen Erregerleitung (1.3, 1.4) erzeugtes elektromagnetisches Feld modulierbar ist, so dass durch die Empfängerleitung (1.11, 1.12) der ersten Empfängerspur (1.1) eine Winkelstellung (ϕ) und durch die Empfängerleitung (1.21, 1.22) der zweiten Empfängerspur (1.2) eine Position (ξ) des Teilungselements (2) in der ersten Richtung (X) relativ zum Abtastelement (1) detektierbar ist. (Figur 3)
    • 3. 发明公开
    • INDUKTIVE WINKELMESSEINRICHTUNG
    • EP4170289A1
    • 2023-04-26
    • EP21204416.8
    • 2021-10-25
    • Dr. Johannes Heidenhain GmbH
    • TIEMANN, Marc OliverHEUMANN, MartinFRANK, Alexander
    • G01D5/20
    • Die Erfindung betrifft eine induktive Winkelmesseinrichtung, die ein Abtastelement (1) und ein Skalenelement (2; 2') mit zumindest drei Teilungsspuren (TS1; TS1', TS2; TS2', TS3; TS3') aufweist. Die erste Teilungsspur (TS1; TS1') und die dritte Teilungsspur (TS3; TS3') weisen die gleiche erste Anzahl (n1, n3) von Teilungsstrukturen (2.1, 2.3) auf, während die zweite Teilungsspur (TS2; TS2') eine von der ersten Anzahl (n1, n3) unterschiedliche zweite Anzahl (n2) von Teilungsstrukturen (2.2) aufweist. Die Teilungsspuren (TS1, TS2, TS3; TS1', TS2', TS3') sind konzentrisch um eine Achse (A) umlaufend angeordnet, so dass die erste Teilungsspur (TS1; TS1') radial innen, die zweite Teilungsspur (TS2; TS2') radial zwischen der ersten Teilungsspur (TS1; TS1') und der dritten Teilungsspur (TS3; TS3') und die dritte Teilungsspur (TS3; TS3') radial außen angeordnet ist. Das Abtastelement (1) weist Empfängerleiterbahnen (1.1, 1.2, 1.3) auf, durch die Signale (S1, S2, S3) mit winkelbezogenen Signalperioden (Σ1, Σ2, Σ3) erzeugbar sind, wobei die erste Signalperiode (Σ1) gleich der dritten Signalperiode (Σ3) ist. Aus dem ersten Signal (S1) und dem dritten Signal (S3) ist ein Gesamtsignal (SM) erzeugbar, das mit dem zweiten Signal (S2) kombinierbar ist zur Bestimmung einer absoluten Winkelstellungsinformation. (Figur 6)
    • 7. 发明公开
    • INDUKTIVE WINKELMESSEINRICHTUNG
    • EP4174443A1
    • 2023-05-03
    • EP22206018.8
    • 2021-10-25
    • Dr. Johannes Heidenhain GmbH
    • TIEMANN, Marc OliverHEUMANN, MartinFRANK, Alexander
    • G01D5/20
    • Die Erfindung betrifft eine induktive Winkelmesseinrichtung, die ein Abtastelement (1) und ein Skalenelement (2; 2') mit zumindest drei Teilungsspuren (TS1; TS1', TS2; TS2', TS3; TS3') aufweist. Die erste Teilungsspur (TS1; TS1') und die dritte Teilungsspur (TS3; TS3') weisen die gleiche erste Anzahl (n1, n3) von Teilungsstrukturen (2.1, 2.3) auf, während die zweite Teilungsspur (TS2; TS2') eine von der ersten Anzahl (n1, n3) unterschiedliche zweite Anzahl (n2) von Teilungsstrukturen (2.2) aufweist. Die Teilungsspuren (TS1, TS2, TS3; TS1', TS2', TS3') sind konzentrisch um eine Achse (A) umlaufend angeordnet, so dass die erste Teilungsspur (TS1; TS1') radial innen, die zweite Teilungsspur (TS2; TS2') radial zwischen der ersten Teilungsspur (TS1; TS1') und der dritten Teilungsspur (TS3; TS3') und die dritte Teilungsspur (TS3; TS3') radial außen angeordnet ist. Das Abtastelement (1) weist Empfängerleiterbahnen (1.1, 1.2, 1.3) auf, durch die Signale (S1, S2, S3) mit winkelbezogenen Signalperioden (Σ1, Σ2, Σ3) erzeugbar sind, wobei die erste Signalperiode (Σ1) gleich der dritten Signalperiode (Σ3) ist. Aus dem ersten Signal (S1) und dem dritten Signal (S3) ist ein Gesamtsignal (SM) erzeugbar, das mit dem zweiten Signal (S2) kombinierbar ist zur Bestimmung einer absoluten Winkelstellungsinformation.
    • 8. 发明公开
    • INDUKTIVE POSITIONSMESSEINRICHTUNG
    • EP3904836A1
    • 2021-11-03
    • EP21154472.1
    • 2021-02-01
    • Dr. Johannes Heidenhain GmbH
    • TIEMANN, Marc OliverHEUMANN, MartinFRANK, Alexander
    • G01D5/20
    • Die Erfindung betrifft eine induktive Positionsmesseinrichtung, die ein Abtastelement (1) und ein Skalenelement (2) aufweist. Durch die Positionsmesseinrichtung sind Positionen des Abtastelements (1) relativ zum Skalenelement (2) in einer ersten Richtung (x) und in einer zweiten Richtung (z) bestimmbar. Das Skalenelement (2) umfasst Teilungsstrukturen (2.1), welche entlang der ersten Richtung (x) aneinandergereiht sind, wobei die Teilungsstrukturen (2.1) entlang einer zweiten Richtung (z) einen periodischen Verlauf aufweisen mit einer zweiten Periodenlänge (Dz). Das Abtastelement (1) umfasst eine erste Empfängerspur (1.1), eine zweite Empfängerspur (1.2) und eine dritte Empfängerspur (1.3) sowie eine Erregerleitung (1.4, 1.5, 1.6). Jeder der drei Empfängerspuren (1.1, 1.2, 1.3) weist jeweils zwei Empfängerleiterbahnen (1.11, 1.12, 1.21, 1.22, 1.31, 1.32) auf. Die Empfängerleiterbahnen (1.11, 1.12, 1.21, 1.22, 1.31, 1.32) weisen entlang der ersten Richtung (x) einen periodischen Verlauf auf mit einer ersten Periodenlänge (Px), wobei die Empfängerspuren (1.1, 1.2, 1.3) in der zweiten Richtung (z) zueinander versetzt angeordnet sind.
    • 9. 发明公开
    • INDUKTIVE POSITIONSMESSEINRICHTUNG
    • 感应位置测量装置
    • EP3179214A1
    • 2017-06-14
    • EP16187795.6
    • 2016-09-08
    • Dr. Johannes Heidenhain GmbH
    • HEUMANN, MartinTIEMANN, Marc OliverFRANK, Alexander
    • G01D5/20G01D5/245
    • G01D5/2013G01D5/2053G01D5/2452
    • Gemäß der Erfindung umfasst die induktive Positionsmesseinrichtung zur absoluten Positionsmessung eine Maßstabeinheit (1) mit einer ersten Messteilung (11) und einer parallel dazu verlaufenden und der ersten Messteilung (11) gegenüberliegenden zweiten Messteilung (12). Eine Abtasteinheit (2) ist in einem Spalt zwischen der ersten Messteilung (11) und der zweiten Messteilung (12) angeordnet und relativ zur Maßstabeinheit (1) in Messrichtung (X) verschiebbar. Diese Abtasteinheit (2) beinhaltet eine erste Spulenanordnung (21) zur Abtastung der ersten Messteilung (11) und zur Erzeugung eines ersten positionsabhängigen Abtastsignals sowie eine der ersten Spulenanordnung (21) gegenüberliegende zweite Spulenanordnung (22) zur Abtastung der zweiten Messteilung (12) und zur Erzeugung eines zweiten positionsabhängigen Abtastsignals. Zwischen der ersten Spulenanordnung (21) und der zweiten Spulenanordnung (22) ist eine Zwischenlage (6) aus weichmagnetischem Material angeordnet, welche die beiden Spulenanordnungen (21, 22) voneinander abschirmt.
    • 根据本发明的感应位置为绝对位置测量测量装置包括具有第一测量分(11)和与其平行并延伸的第一测量刻度(11),所述第二测量分(12)相对的刻度单位(1)。 扫描单元(2)设置在第一测量刻度(11)和第二刻度(12)之间的间隙中并且可以在测量方向(X)上相对于刻度单元(1)移动。 该扫描单元(2)包括用于扫描所述第一测量分(11)和用于产生第一位置相关的扫描信号和所述第一线圈组件中的一个(21)相对的第二线圈组件(22)的第一线圈组件(21),用于扫描第二测量分(12)和 用于产生第二取决于位置的扫描信号。 在第一线圈装置(21)和第二线圈装置(22)之间布置有软磁材料的中间层(6),其将两个线圈装置(21,22)彼此屏蔽。