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    • 3. 发明公开
    • MICROPOMPE A DEBITMETRE ET SON PROCEDE DE REALISATION
    • MIKROPUMPE MIT DURCHFLUSSMESSER UND HERSTELLUNGSVERFAHRENDAFÜR
    • EP2702275A1
    • 2014-03-05
    • EP12717728.5
    • 2012-04-27
    • Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
    • FOUILLET, YvesFUCHS, Olivier
    • F04B43/04
    • F04B43/046Y10T29/49229
    • The invention relates to a micropump having a deformable membrane, comprising: a first chamber (15), one wall of which comprises a first deformable membrane portion and means (72, 81, 83) for actuating said first membrane portion; a second chamber (11) provided with a second deformable membrane portion (11'); and a third chamber (13) provided with a third deformable membrane portion (13'), the second chamber and the third chamber being connected to one another by a first channel (12), at least one of said chambers being connected to the first chamber (15) by a second channel (12, 14), wherein both the second chamber (11) and the third chamber (13) comprise detection gauge means (R1-R4, R'1-R'4), respectively, but are not provided with actuation means.
    • 一种具有可变形膜的微型泵,包括:第一腔室,其一壁包括第一可变形膜部分和第一膜部分的致动器; 包括第二可变形膜部分和第三腔室的第二腔室,包括第三可变形膜部分,所述第二腔室和第三腔室通过第一通道连接在一起,所述第二腔室和第三腔室中的至少一个腔室通过第二腔室 通道到第一室; 第二室和第三室中的每个包括形成检测计的机构,但不包括激活机构。