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1. 发明授权

EP2223887B1 Dispositif capteur a base de nanofils 有权
公开(公告)号：EP2223887B1
公开(公告)日：2018-09-12
申请号：EP10154557.2
申请日：2010-02-24
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： Duraffourg, Laurent , Andreucci, Philippe , Ernst, Thomas , Hentz, Sébastien
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0086 , B81B2201/0214 , B81B2203/0109

2. 发明公开

EP2485243A1 Micro-réflectron pour spectromètre de masse à temps de vol 有权
标题翻译： Mikro-ReflektronfürFlugzeit-Massenspektrometer
公开(公告)号：EP2485243A1
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：EP12153896.1
申请日：2012-02-03
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： Danel, Jean-Sébastien , Duraffourg, Laurent , Progent, Frédéric , Tassetti, Charles-Marie
IPC分类号： H01J49/40 , B81B7/02
CPC分类号： H01J49/405 , B05D3/10 , B81C1/00119 , B81C2201/0133 , B81C2203/031 , H01J49/0018
摘要： L'invention concerne un micro-réflectron pour spectromètre de masse à temps de vol comprenant un substrat (3100, 5400), et, intégrés au volume du substrat, des moyens (5400) d'application d'un gradient de potentiel dans un volume adapté à constituer une zone de vol des ions (3300 ), caractérisé en ce que lesdits moyens d'application comprennent au moins deux électrodes de polarisation et une paroi en au moins un matériau résistif adaptée à être polarisée entre ces électrodes en sorte de générer un gradient continu de potentiel en assurant elle-même la fonction de réflectron, cette zone de vol, ces électrodes et cette paroi étant obtenues par la technologie des systèmes micro-électromécaniques (MEMS) et ce micro-réflectron ayant une épaisseur inférieure à 5 millimètres tandis que ses autres dimension sont inférieures à 10 fois cette épaisseur.
摘要翻译：微反射器具有电位梯度施加单元，例如，电阻层（5400），用于在形成离子飞行区的基底体积中施加电位梯度，例如管（3300），其中微反射器的厚度小于5mm，其他尺寸小于厚度的10倍。该单元包括由电阻材料制成的壁，并且在金属极化电极（5210）之间极化，以产生连续的电势梯度，同时提供反射器功能。通过微机电系统技术获得区域，电极和壁。还包括以下独立权利要求：（1）质谱仪（2）微反射镜的制造方法。

3. 发明公开

EP2256921A1 Dispositif résonant micrométrique ou nanométrique à transistors 失效
标题翻译： Mikrometrisch oder nanometrischResonanzgerätmit Transistoren ausgestattet
公开(公告)号：EP2256921A1
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：EP10154724.8
申请日：2010-02-25
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： Duraffourg, Laurent , Andreucci, Philippe , Colinet, Eric , Hentz, Sébastien , Ollier, Eric
IPC分类号： H03B5/30 , H03H9/00 , H03H9/46
CPC分类号： H03B5/323 , H03H9/02259
摘要： Le dispositif résonnant comporte un résonateur (1) électromécanique de taille nanométrique ou micrométrique qui comporte un élément mobile (3) et un élément fixe (4). Des moyens de détection fournissent des signaux de détection, représentatifs d'un mouvement de l'élément mobile (3) par rapport à l'élément fixe (4), à une boucle de réaction qui est connectée à une entrée d'excitation (E) du résonateur (1). Le résonateur (1) est formé sur un même substrat que les moyens de détection et la boucle de réaction. La boucle de réaction comporte au plus des premier (6) et second (7) transistors connectés en série entre une tension de référence (GND) et la borne d'excitation (E). Une charge (5) capacitive est connectée entre la borne d'excitation (E) et la tension de référence (GND). Les signaux de détection contrôlent la conductivité du premier transistor (6).
摘要翻译：该装置具有电容型检测单元，其向连接到电机械谐振器（1）的激励输入端的反应回路提供检测信号。反应回路具有晶体管（6）和另一晶体管，其串联在参考电压（GND）和激励输入端之间。电容性负载即电容器（5）连接在激励输入和参考电压之间。检测信号控制前一晶体管的电导率。前一晶体管和检测单元由半导体或金属材料制成的纳米线形成。

4. 发明公开

EP2224588A1 Oscillateur à base de séries de quatre nanofils 有权
标题翻译： Oszillator auf Basis von Reihen aus vierNanodrähten
公开(公告)号：EP2224588A1
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：EP10154748.7
申请日：2010-02-25
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： Colinet, Eric , Duraffourg, Laurent
IPC分类号： H03B5/30
CPC分类号： H03B5/30
摘要： L'oscillateur comporte au moins une première série d'un multiple de quatre sous-ensembles (1) qui comportent chacun des bornes d'excitation (2) et de sortie (3). Les sous-ensembles (1) sont montés en série en boucle fermée. La borne de sortie (3) de chaque sous-ensemble (1) est connectée à la borne d'excitation (3) du sous-ensemble (1) suivant. La borne de sortie (3) d'un des sous-ensembles (1) constitue celle de l'oscillateur. Chaque sous-ensemble (1) comporte des moyens d'excitation (5) et un nanofil (4) qui constitue le résonateur électromécanique et les moyens de détection, de type piézorésistif, du mouvement du résonateur. Une première borne du nanofil (4) est connectée à une première tension d'alimentation (VDC1). La seconde borne du nanofil (4) constitue la borne de sortie (3) du sous-ensemble (1) qui est connectée à la masse par l'intermédiaire d'un circuit résistif (6) correspondant. Une borne d'entrée des moyens d'excitation (5) constitue la borne d'excitation (2) du sous-ensemble (1).
摘要翻译：振荡器具有串联安装成闭环的子组件（1a-1d）。每个子组件具有连接到以下子组件的激励端子（2）的输出端子（3）。子组件具有构成电动谐振器的纳米线（4）。非线性的端子连接到电源电压（VDC1），即直流电压，并且非线性的另一个端子构成输出端子。输出端子通过电阻（6）（即电阻）连接到地（GND）。

5. 发明授权

EP2256921B1 Dispositif résonant micrométrique ou nanométrique à transistors 失效
标题翻译：美光或带晶体管的纳米谐振器件
公开(公告)号：EP2256921B1
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：EP10154724.8
申请日：2010-02-25
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： Duraffourg, Laurent , Andreucci, Philippe , Colinet, Eric , Hentz, Sébastien , Ollier, Eric
IPC分类号： H03B5/30 , H03H9/00 , H03H9/46
CPC分类号： H03B5/323 , H03H9/02259

6. 发明公开

EP2711698A1 Capteur de flux thermique avec une membrane supportée par des nanofils 有权
标题翻译： Wärmeflusssensormit einer durchNanodrähteabgestütztenMembran
公开(公告)号：EP2711698A1
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：EP13184581.0
申请日：2013-09-16
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： Ruellan, Jérémie , Duraffourg, Laurent
IPC分类号： G01N27/18 , G01N30/66
CPC分类号： G01K17/06 , G01N27/18 , G01N30/66
摘要： Capteur de flux thermique comportant un support, au moins une membrane (4) suspendue par rapport au support par au moins quatre nanofils (12.1, 12.2, 14.1, 14.2), ladite membrane (4) étant réalisée en au moins un matériau conduisant le courant, et les nanofils (12.1, 12.2, 14.1, 14.2) étant réalisés en un matériau conduisant le courant, deux nanofils (12.1, 12.2) étant reliés à une source de courant pour former des moyens de polarisation entre deux bornes de la membrane (4) et de chauffage de ladite membrane (4), et deux nanofils (14.1, 14.2) étant reliés à un voltmètre pour former des moyens de mesure de la tension aux bornes de la membrane (4). Ledit capteur peut être employé en tant que capteur de gaz basé sur le principe de la mesure de conductivité thermique dudit gaz.
摘要翻译：传感器具有相对于由四个纳米线（12.1,12.2,14.1,14.2）支撑悬挂的膜（2）。膜由导电材料制成。纳米线由导电材料制成。两个纳米线连接到电流源以使两个端子之间的膜极化。提供加热器以加热膜。两个纳米线连接到一个器件，以测量膜末端的电压。纳米线由N或P掺杂的硅和锗制成。包括以下独立权利要求：（1）确定气体环境浓度的系统; 和（2）用于分析气体或气体混合的装置。

7. 发明授权

EP2256922B1 Dispositif résonant à caractéristiques améliorées 有权
标题翻译：耦合的谐振器，带通滤波器和振荡器的网络
公开(公告)号：EP2256922B1
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：EP10154740.4
申请日：2010-02-25
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： Duraffourg, Laurent , Andreucci, Philippe , Colinet, Eric , Hentz, Sébastien , Ollier, Eric
IPC分类号： H03B5/30
CPC分类号： H03B5/323

9. 发明授权

EP2711698B1 Capteur de flux thermique avec une membrane supportée par des nanofils 有权
标题翻译：热通量传感器通过纳米线被支撑膜
公开(公告)号：EP2711698B1
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：EP13184581.0
申请日：2013-09-16
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： Ruellan, Jérémie , Duraffourg, Laurent
IPC分类号： G01N27/18 , G01N30/66
CPC分类号： G01K17/06 , G01N27/18 , G01N30/66

10. 发明公开

EP2866000A1 Dispositif optomécanique d'actionnement et/ou de détection du déplacement d'un élément mécanique, notamment pour la détection gravimétrique 有权
标题翻译：用于机械元件的运动的致动和/或检测光机械设备，特别是用于检测重力
公开(公告)号：EP2866000A1
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：EP14189702.5
申请日：2014-10-21
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： Hentz, Sébastien , Duraffourg, Laurent , Jourdan, Guillaume
IPC分类号： G01D5/26 , G01D5/353 , G01N5/00 , G02B6/12 , G02B6/35
摘要： Dispositif optomécanique d'actionnement et/ou de détection du déplacement d'un élément mécanique, notamment pour la détection gravimétrique.
Il comprend un support (20) et, sur celui-ci, au moins un élément mécanique (26) qui est ancré au support et apte à se déplacer par rapport à ce dernier, et un dispositif d'actionnement de cet élément et/ou de détection du déplacement de l'élément ou de variations de fréquence du déplacement, au moins une partie du dispositif d'actionnement et/ou du dispositif de détection étant disposée sous tout ou partie de l'élément, entre ce dernier et le support. Selon l'invention, le dispositif d'actionnement et/ou de détection comprend un dispositif optique fixe (21) qui comporte au moins un guide d'onde optique (22), qui est disposé sous tout ou partie de l'élément, à une distance déterminée de celui-ci, et qui est prévu pour propager au moins une onde optique ayant une longueur d'onde donnée, apte à interagir avec l'élément. Et le guide d'onde optique est à une distance déterminée de l'élément mécanique pour que le champ évanescent du guide d'onde optique interagisse avec l'élément mécanique.

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