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    • 4. 发明公开
    • PROCEDE DE REALISATION D'UNE PUCE DE DETECTION D'ELEMENTS BIOLOGIQUES
    • Verfahren zur Herstellung eines Mikrochips zur Detektion von biologischem材料
    • EP2189787A1
    • 2010-05-26
    • EP09176303.7
    • 2009-11-18
    • Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
    • Buckley, JulienBilloint, OlivierDelapierre, Guillaume
    • G01N27/414
    • G01N27/4145
    • Procédé de réalisation d'un dispositif microélectronique doté d'au moins un circuit de détection d'éléments biologiques comprenant des étapes de:
      a) réalisation, sur un substrat, d'une pluralité de transistors comprenant chacun au moins une grille (135,136) formée d'au moins une couche à base d'au moins un matériau (134) de grille sur au moins une couche de diélectrique (132) de grille, ladite grille reposant sur une zone (104a,104b) de canal,
      - dépôt d'au moins une couche à base d'au moins un matériau isolant (141) recouvrant lesdits transistors,
      - réalisation d'un ou plusieurs trous (143) dans ladite couche de matériau isolant (141), de manière à dévoiler la face supérieure de la grille (135) respective de transistors dits « d'un premier type » parmi lesdits transistors, tandis qu'un ou plusieurs autres transistors, dits >, parmi lesdits transistors, sont recouverts de matériau isolant (141),
      - remplissage des trous (143) à l'aide du matériau (134) de grille, choisi de manière à être gravé de manière sélective vis-à-vis du matériau isolant, le remplissage permettant de former des blocs (145) à base dudit matériau de grille (134) reposant respectivement sur la face supérieure des grilles (135) des transistors du premier type,
      b) retrait desdits blocs à base dudit matériau de grille et au moins partiellement de la grille (135) respective des transistors du premier type, tandis que la grille (136) respective d'un ou plusieurs autres transistors, dits >, parmi lesdits transistors, est protégée,
      c) fixation sur une surface (S) située en regard de la zone de canal des transistors du premier type, de récepteurs biologiques destinés à recevoir un ou plusieurs marqueurs biologiques (Mr,Mr1,Mr2,Mr3).
    • 该方法包括提供许多晶体管,每个晶体管包括在衬底上的栅极,部分地从第一类型的晶体管去除栅极,同时保护第二类型的晶体管的相应栅格,并将生物接收器(Mr)固定在相对于 到用于接收生物标志物(Mr,Mr1,MR2,MR3)的第一种晶体管的通道区域。 网格基于沟道区形成在介质栅格的层(132)上。 该方法还包括在晶体管上沉积由绝缘材料制成的层。 该方法包括提供许多晶体管,每个晶体管包括在衬底上的栅极,部分地从第一类型的晶体管去除栅极,同时保护第二类型的晶体管的相应栅格,并将生物接收器(Mr)固定在相对于 到用于接收生物标志物(Mr,Mr1,MR2,MR3)的第一种晶体管的通道区域。 网格基于沟道区形成在介质栅格的层(132)上。 该方法还包括在晶体管上沉积由绝缘材料制成的层,在绝缘材料层中制备孔以露出第一类型晶体管的相应栅格的顶部,使用给定材料填充孔,以选择性地刻蚀 绝缘材料,同时从网格中抽出给定的材料。 这些孔具有表面积大于第一类型晶体管的栅格的上侧表面的底部。 在填充孔之后,相对于第二类型晶体管形成一个或多个绝缘层和一个或多个互连金属电平(N1,N2,最高达Nm)。 在绝缘层中形成开口以暴露由栅格材料制成的块。 通过开口进行给定材料的去除和栅格材料的抽出。 生物受体通过有机性粘附层固定在第一类型的晶体管的沟道区或第一型晶体管的电介质层上。 将生物受体插入封装层。 使用用于进行生物元素检测的液体填充开口。 微电子器件包括独立权利要求。