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61. 发明公开

EP0144572A2 Magnetronkatode zum Zerstäuben ferromagnetischer Targets 失效
标题翻译：用于溅射铁磁靶的磁控管阴极
公开(公告)号：EP0144572A2
公开(公告)日：1985-06-19
申请号：EP84110940.8
申请日：1984-09-13
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Aichert, Hans, Dr.-Ing. , Kukla, Reiner, Dipl.-Physiker , Kieser, Jörg, Dr. Phys.
IPC分类号： H01J37/34
CPC分类号： H01J37/3441 , H01J37/3408 , H01J37/3426 , H01J37/3497
摘要： @ Magnetronkatode zum Zerstäuben ferromagnetischer Targets (7). An einem Katodengrundkörper (1) ist ein Magnetsystem (2) angeordnet, das aus ineinanderliegenden Magnetpolen (3a, 3b) entgegengesetzter Polarität besteht. Zwischen aus Targetmaterial bestehenden Polschuhen (8,9) und dem Target (7) werden in Tiefenrichtung der Anordnung zwei umlaufende Luftspalte (12, 13) gebildet. Magnetpole (3a, 3b) und Target (7) überschneiden sich in einer Projektionsfläche nicht. Zum Zwecke einer Vergleichmäßigung der Targetabtragung bei gleichzeitig hoher Zerstäubungsrate sind erfindungsgemäß die Polschuhe (8, 9) durch je einen Abstand "S" von den Magnetpolen (3a, 4a) getrennt. Die Magnetpole liegen dabei in einem Bereich, der sich, ausgehend von einer durch die Zerstäubungsfläche (7a) gelegten Ebene in Tiefenrichtung der Anordnung erstreckt. Zwischen den Polschuhen (8,9) und dem Target (7) einerseits und den Magnetpolen (3a, 4a) andererseits ist ein wärmeleitender Metallkörper angeordnet, der mit mindestens einem Kühlmittelkanal in Verbindung steht und aus einem nicht ferromagnetischen Werkstoff besteht.
摘要翻译： @用于溅射铁磁体靶的磁控阴极（7）。在阴极主体（1）上布置磁体系统（2），该磁体系统（2）由极性相反的嵌套磁极（3a，3b）组成。在由靶材料制成的极靴（8.9）和靶（7）之间，在该装置的深度方向上形成两个周向气隙（12,13）。磁极（3a，3b）和靶（7）在投影面中不重叠。对于目标侵蚀的均匀化的目的用高溅射根据本发明的磁极片（8,9）分别由从所述磁极（3A，4A）的距离“S”分离。磁极位于从穿过溅射表面（7a）的平面开始沿装置的深度方向延伸的区域中。极靴（8,9）和在一方面目标（7）和所述磁极（3A，4A）在另一方面之间布置的导热金属体，其与至少一个冷却剂通道在连接进行通信，并且由非铁磁材料构成。

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